• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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• 1996.11b
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• pp.647-654
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• 1996

아스팔트포장에서 아스팔트함량은 도로의 내구성 및 안정도 등의 도로성질을 결정하는데 중요한 역할을 한다. 아스팔트함량을 측정하는 기존의 방법은 검사시간이 많이 걸릴뿐 아니라 오차도 상당히 커서 측정결과에 대한 신뢰도가 떨어진다. 선진국에서는 아스팔트함량을 측정하기 위해 방사성동위원소(Radioisotope, 이하 RI)를 사용한 측정기를 1950년대 초부터 개발, 사용하고 있으나 국내에서는 거의 적용된 예가 없다. 이에 높은 정밀도와 정확도를 가지며 실시간 측정이 가능한 아스팔트함량측정기에 대해 우리나라에서 생산된 골재와 아스팔트를 사용하여 측정성능을 평가하였다.

• Journal of the KSME
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• v.32 no.5
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• pp.410-419
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• 1992

이 글에서는 길이의 정밀 측정에 널리 사용되고 있는 여러 종류의 레이저 간섭계에 대하여 그 작동 원리 및 응용 예를 간략하게 살펴보았다. 아울러, 나노 영역에서의 길이 및 각도를 높은 정확도로 측정할 수 있는 X-선 간섭계의 원리 및 응용에 대하여도 간략히 기술하였는데, 이러한 X-선 간섭계를 이용한 정밀 측정기술은 앞으로도 개발의 여지가 많은 새로운 분야이며, 따라서 그 응용 범위도 점차 널리 확대되리라 예상된다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.21 no.10
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• pp.14-19
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• 2004

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.18 no.3
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• pp.10-17
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• 2001

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1993.04b
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• pp.192-197
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• 1993

반도체 기억소자의 급격한 발전추세에 대응하기 위해서는 노광(exposure) 장비의 증첩정밀도 (overlay accuracy)가 같이 개선되어야 한다. 본 연구에서는 64M ERAM 제조를 목적으로개발된 스텝 퍼(stepper) 시스템의 성능평가 항목 중에서 증첩정밀도에대한 측정방법 및 현재까지의 연구결과를 기술하였다. 제작된 웨이퍼 정렬계는 off-axis 및 TTL 광학계와 이들 정렬신호에 따라 움직이는 웨이 퍼 구동계로 구성되어 있다. off-axis 광학계는 화상처리와 회절의 두 가지 방식이 가능하도록 설계 제작되었으며, TTL 광학계는 dual beam interferometric method를 이용하였다. 본 실험의 결과는 웨이퍼 정렬계의 특성을 평가한 것으로서, 현재까지 off-axis 정렬 방법만으로 얻은 증첩정밀도는 0.26-0.29$\mu$m (m+3 $\sigma$ )이다. 따라서 여기에 이미 제작되어 있는 TLL 정렬광학계를 추가로 사용하면 0.1 $\mu$m 이하의 정밀도에 이를 것으로 예측된다.

• 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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• 1992.10a
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• pp.95-99
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• 1992

본 논문은 삼차원 거리영상화 장비중 고속으로 거리영상을 잡을 수 있는 거리영상화 소자를 IC로 시험 제작하여 그 결과를 보였다. 제작된 IC에 대한 실험은 각 부분의 성능과 센서 자체의 정밀도 측정에 중점을 두었다. 각 부분의 성능에 대해서는 빛 감지부분의 신호의 크기, 소자들의 동작성, 정보 저장부분의 입력 전압에 대한 출력 전압의 변형등을 다룬다. 센서 자체의 정밀도는 각 부분에서 발생하는 오차를 측정하였다. 제작된 센서는 아나로그방식으로 정밀도에 제한을 받는 단점이 있어 구조를 달리하여 디지탈 방식으로 접근한 센서를 제안한다. 아나로그 방식에 비해 셀 면적을 줄일 수 있을 뿐 아니라, 정밀도도 높고, 속도도 떨어지지 않아 아나로그 방식 IC 센서의 단점을 극복한다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.14 no.7
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• pp.15-21
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• 1997

This paper presented a linear motion accuracy by using two-dimensional probe with the master block and the square for NC machine tools. This measuring system could be measured motion error due to numerical control system. The results of measurement and simulation for motion error were similar, and so, this system had enough accuracy to measure a linear motion accuracy for NC machine tools. The experimental results are as follows. 1. This measuring system could be measured motion error due to mumerical control system. 2. The results of measurement and simulation for motion error were similar. 3. This measuring system had enough accuracy to measure a linear motion accuracy for NC machine tools.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2003.02a
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• pp.88-89
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• 2003

산업이 고도로 발달함에 따라 생산 부품의 소형화와 정밀도가 크게 요구되고 있다. 특히 최첨단 제품인 반도체와 광통신 부품, 그리고 광학 부품 등에 있어 이러한 추세가 두드러지게 나타나고 있다. 이에 따라 이들 부품들에 대한 제조 공정 못지 않게 초정밀 측정에 대한 관심도 꾸준히 늘고 있다. 뿐만아니라 요즘 새롭게 부각되고 있는 생명 공학 기술(Bio-Technology)과 나노기술(Nano-Technology)을 이용한 바이오센서나 칩, 그리고 타소 나노 튜브 등을 제작하거나 검사를 할 때도 초정밀 측정을 필요로 하게 된다. (중략)

• The Optical Journal
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• s.111
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• pp.29-31
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• 2007

한국기초과학지원연구원(www.kbsi.re.kr/upel) 초정밀가공팀(팀장.김건희)에서는 2005년부터 기존의 측정분석위주의 단순지원에서 국가적 수요에 대응하는 대형첨단연구장비의 국산화를 위한 기술개발에 역점을 두고 있다. 이를 위한 기반기술로써 초정밀 가공 및 측정 장비의 설치운영을 통한 첨단연구장비의 핵심부품을 개발하고 있다. 특히 천문관측용 적외선(IR) 광학계의 초정밀가공기술 개발을 통한 항공우주용광학계의 국산화 기술 향상에 기여하고 있다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2003.10a
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• pp.117-117
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• 2003