• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.91-91
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• 2015

반도체 공정의 발전에 의해 최근 생산되는 메모리 등은 십 수 나노미터까지 좁아진 선 폭을 갖게 되었다. 이러한 이유로, 기존에는 큰 문제를 발생시키지 않던 나노미터 영역의 입자들이 박막 증착 공정과 같은 반도체 제조공정 수율을 저감시키게 되었다. 따라서 오염입자의 유입을 막거나 제어하기 위해 transmission electron microscopy (TEM)나 scanning electron microscopy (SEM)과 같은 전자현미경을 활용한 비 실시간 입자 측정 방법 및 광원을 이용하는 in-situ particle monitor (ISPM) 및 전기적 이동도를 이용한 scanning mobility particle sizer (SMPS) 등 다양한 원리를 이용한 실시간 입자 측정방법이 현재 사용중에 있다. 이 중 진공 내 입자의 수농도를 측정하기 위해 개발된 particle beam mass spectrometer (PBMS) 기술은 박막 증착 공정 등 chemical vapor deposition (CVD) 방법을 이용하는 진공공정에서 활용 가능하여 개발이 진행되어 왔다. 본 연구에서는 PBMS의 한계점인 입자 밀도, 형상 등의 특성분석이 용이하도록 PBMS와 scanning electron microscopy (SEM), 그리고 energy dispersive spectroscopy (EDS) 기술을 결합하여 입자의 직경별 개수농도, 각 입자의 형상 및 성분을 함께 측정 가능하도록 하였다. 협소한 반도체 제조공정 내부 공간에 적용 가능하도록 기존 PBMS 대비 크기 또한 소형화 하였다. 각 구성요소인 공기역학 집속렌즈, electron gun, 편향판, 그리고 패러데이 컵의 설치 및 물리적인 교정을 진행한 후 입자발생장치를 통해 발생시킨 sodium chloride 입자를 상압 입자 측정 및 분류장치인 SMPS 장치를 이용하여 크기별로 분류시켜 압력차를 통해 PBMS로 유입시켜 측정을 진행하였다. 나노입자의 입경분포, 형상 및 성분을 측정결과를 토대로 장치의 측정정확도를 교정하였다. 교정된 장치를 이용하여 실제 박막 증착공정 챔버의 배기라인에서 발생하는 입자의 수농도, 형상 및 성분의 복합특성 측정이 가능하였으며, 최종적으로 실제 공정에 적용가능하도록 장치 교정을 완료하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2003.07c
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• pp.1978-1980
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• 2003

본 논문에서는 광을 이용한 전류 측정 장치의 연구 내용에 대하여 기술하였다. 광을 이용한 전류 측정 장치의 가장 큰 문제점은 감도 저하를 주는 선형 복굴절 양이며, 이러한 선형 복굴절을 줄이는 방법은 광섬유를 비틀어서 선형 복굴절 양에 비해 원형 복굴절의 양을 크게 해주는 방법을 사용하였다. 광섬유를 비틀어서 측정한 결과는 측정 감도가 약 3배의 증가를 보였으며, 측정오차의 경우도 1 % 이내의 선형성을 나타내었다. 본 실험의 결과로 광섬유를 비트는 방법이 광을 이용한 전류 측정 장치의 선형 복굴절을 크게 감소시킴을 알 수 있었으며, 대전류 측정에 측정도를 높일 수 있다고 판단된다.

• The Transactions of the Korean Institute of Power Electronics
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• v.8 no.6
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• pp.569-575
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• 2003

This paper present a new fully-automated PC-based instrumental system that could quickly measure and analyze the efficiency of switching power supplies for the entire operating range. In the proposed system, we applied an Indirect method for high-voltage low-current measurements and a direct method for low-voltage high-current measurements, in order to obtain a high accuracy with minimum equipment requirement. Compared to the conventional methods, the newly proposed system offers more accurate and much faster real-time assessment of the efficiency with minimum measurement error. The performance and accuracy of the proposed system are verified using a 50 W switching power supply intended for telecommunication applications.

• The Proceedings of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.10 no.4
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• pp.53-61
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• 1996

A distribution photometer was constructed to measure the angular distribution of luminous intensity of light sources and the reflected luminance of retroreflectors. This system incorporates a goniometer to rotate test light source(360 degree in yaw rotation and $\pm$30 degree in pictch rotation), a photomultiplier tube as light detector, light projector for retroreflection measurements, and the control and display unit. The ranges of luminous Intensity measurements and observation angles are 0.01~199900 cd and 0.2~1.5 degree respectively. The uncertainty of luminous intensity measurements is $\pm$3%. This paper describes the construction of the distribution photometer and the performance characteristics.

• Progress in Medical Physics
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• v.23 no.3
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• pp.162-168
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• 2012

In proton therapy, in vivo dose verification is one of the most important parts to fully utilize characteristics of proton dose distribution concentrating high dose with steep gradient and guarantee the patient safety. Currently, in order to image the proton dose distribution, a prompt gamma distribution detection system, which consists of an array of multiple CsI(Tl) scintillation detectors in the vertical direction, a collimator, and a multi-channel DAQ system is under development. In the present study, the optimal design of prompt gamma distribution detection system was studied by Monte Carlo simulations using the MCNPX code. For effective measurement of high-energy prompt gammas with enough imaging resolution, the dimensions of the CsI(Tl) scintillator was determined to be $6{\times}6{\times}50mm^3$. In order to maximize the detection efficiency for prompt gammas while minimizing the contribution of background gammas generated by neutron captures, the hole size and the length of the collimator were optimized as $6{\times}6mm^2$ and 150 mm, respectively. Finally, the performance of the detection system optimized in the present study was predicted by Monte Carlo simulations for a 150 MeV proton beam. Our result shows that the detection system in the optimal dimensions can effectively measure the 2D prompt gamma distribution and determine the beam range within 1 mm errors for 150 MeV proton beam.

• The Optical Journal
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• v.5 no.2 s.24
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• pp.32-37
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• 1993

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2003.04a
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• pp.355-358
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• 2003

본 연구에서는 차세대 초전도 핵융합장치(KSTAR)의 가열장치인 중성입자입사장치(NBI : Neutral Beam Injection) 시스템 중 휨 전자석(Bending magnet)의 중요한 파라메타인 전류에 따른 온도상승값과 B-field의 측정을 행하고 그 결과를 나타내었다. 휨 전자석(Bending magnet)은 중성입자입사장치(NBI) 시스템 중 중성화장치(Neutralizer) 후단에 설치되어, 미처 중성화되지 못한 이온들의 케도를 변경시켜 중성입자와 분리되도록 한 후 이온덤프에서 이들 이온들의 에너지가 흡수될 수 있도록 하는 역할을 한다. 사용전원은 15[V], 1200[A]의 가변전원을 사용하였고 전류값 변화에따른 온도상승값은 thermo couple 신호선을 이용하여 측정하였으며, B-field는 3차원 Gaussmeter를 이용하여 측정을 행하였다. 측정된 결과들은 설계시의 값과 비교분석을 행하여 오차를 줄여나가고자 하였고 향후 NBI 주 진공용기에 장착하여 중성입자입사장치의 개발 수행을 행하게 될 것이다.

• Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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• 1996.11a
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• pp.26-33
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• 1996

광원에 대하여 서로 다른 여러개의 각도방향에서 광원을 바라볼 때 관측되는 광도분포 및 재귀반사성능을 측정하기 위해 광도분포 측정장치(배광측정기)를 제작하였다. 이 장치는 광원을 좌우로 360도, 상하로 $\pm$30도 회전시킬 수 있는 광원회전장치, 광검출기로 광전자중배관(PM Tube)을 쓰는 수광부 및 재귀반사성능 측정용 투광기와 제어 및 표시부로 구성되어 있다. 광도 측정범위는 0.01-199900 cd , 관측각범위은 0.2-1.5도 이고 광도의 측정오차는 $\pm$3% 이다. 제작된 장치의 구조와 성능평가결과가 제시되었다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.6 no.4
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• pp.359-364
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• 1995

A wavelength measurement system has been made using a monochromator and computer interfacing. The spectra of several light emitting diodes and the wavelength characteristics of Fabry-Perot LD and DFB LD have been measured with this system. The results show that this system can be practicalIy used in analyzing the lasing mode and the wavelength characteristics of the semiconductor lasers. asers.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2007.07a
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• pp.1708-1710
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• 2007

댐 및 저수지 운영에 필수 요소인 수위 데이터의 신뢰성을 높일 수 있도록 수위측정에 가장 많이 사용되고 있는 부자식, 초음파식, 레이다식 수위계의 특성시험이 가능한 표준시험장치와 표준시험장치에 대한 운영의 일관성을 확보하기 위한 표준시험절차를 개발하였다. 또한, 표준시험장치의 최고측정능력을 산출하여 수위계 시험에 따른 불확도를 산출할 수 있도록 수위 측정 모델식을 제시하여 합성불확도1.408 mm와 확장불확도 3 mm를 각각 얻었다. 본 연구에서 제시된 최고측정능력은 수위데이터의 신뢰성 있는 자료 확보와 일관성 있는 자료관리가 가능하도록 품질관리 기반을 구축하였다.