• Title/Summary/Keyword: 측정 장비

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진공 공정장비부품의 평가 연구

  • Song, Je-Beom;Sin, Jae-Su;Gang, Sang-U;Kim, Jin-Tae;Sin, Yong-Hyeon;Yun, Ju-Yeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.33-33
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    • 2011
  • 반도체 산업기술이 발달함에 따라 고청정 공정 환경이 요구되고 있으며, 반도체 공정용 장비에 이용되는 부품 중 양극산화피막법(Anodizing)으로 피막을 성장시킨 anodic aluminum oxide (AAO)부품은 플라즈마에 의해 화학적, 물리적 침식이 발생하여 코팅막과 모재에 손상을 일으키며 코팅막이 깨지거나 박리되면서 다량의 Particle이 생성됨으로써 공정상의 여러 가지 문제를 야기 시킨다고 알려져 있다. 하지만 코팅막을 평가하는 방법은 거의 전무하며 기본물성 측정방법인 피막두께, 내전압, 임피던스, 내식성 측정방법을 통하여 여러 기본물성측정방법으로 부품의 평가기술을 연구하였다. 본 연구에서는 이러한 진공 부품의 하나인 anodic aluminum oxide (AAO)부품샘플을 누설전류 및 내전압 측정하여 샘플의 전기적 특성을 측정하였고, 표면 미세구조의 변화를 관찰하였다. 부식실험으로는 HCl 가스를 발생시켜 부식정도를 알아봤으며, 부식처리와 플라즈마 처리 모두 코팅 막의 손상과 전기적 특성의 감소를 보였다. 진공장비 전극 부품평가의 유익한 평가 항목으로서 플라즈마 데미지를 주는 도중에 실시간으로 부품평가에 따른 Particle을 측정함으로써 ISPM 장비를 이용하여 진공 장비용 코팅부품이 플라즈마공정에서 발생하는 오염입자를 측정할 수 있는 방법을 연구하였다. 이러한 결과를 이용하여 진공공정에서 사용되는 코팅부품이 플라즈마에 의한 손상정도를 정량화 하고 평가방법을 개발하여 진공장비용 공정 중 실시간으로 부품의 성능평가가 가능하고 코팅부품 신뢰성 향상이 가능할 것으로 본다.

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Performance Testing of Medical US Equipment Using US Phantom(ATS-539) (Focusing on Daegu Region) (초음파팬텀(ATS-539)을 이용한 의료용 초음파장비의 성능검사(대구지역을 중심으로))

  • Kim, Do-Hyung;Kwon, Deok-Moon
    • Journal of radiological science and technology
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    • v.37 no.4
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    • pp.295-305
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    • 2014
  • This study is to provide accurate information as medical imaging equipment to check for the presence of body disease US equipment. We investigated the status of medical US equipment performance in Daegu and criteria US phantom (ATS-539) for US equipment performance measurements. The results in this study, 1. US phantom measurement results: The test passed rate were 88.6% and the failed rate were 11.4%. 2. The difference between the group of mean and the pass/failed groups were statistically significant. Focal zone and 4 mm functional resolution in the two items that are not present the passing standard. 3. The difference was statistically significant number of years and used equipment and pass the failed equipment (4.13 vs 7.25 years). We investigated the performance status of US equipment used in the clinical area in Daegu. The basis for the two items are not present this proposed passing standard. Equipment performance was associated with the number of years of using US equipment. It is necessary to maintain the best performance of the equipment phantom measurements for performance testing of US equipment.

Development of the Image Stage Gauge using the Image Process Technique (영상처리기술을 이용한 영상수위계 개발)

  • Kim, Won;Kim, Chi-Young;Kim, Dong-Gu;Lee, Chan-Joo
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2006.05a
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    • pp.500-504
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    • 2006
  • 하천 수위 측정을 위해서 우물통을 기본으로 하는 부자식, 초음파식, 기포식, 압력식, 레이다식 등 다양한 장비가 사용되고 있다. 이와 같은 장비는 모두 간접적인 방법으로 수위를 측정하기 때문에 기준값을 바탕으로 보정이 필요하며, 장비의 특성에 따라 여러 가지 장단점을 지니고 있다. 부자식의 경우 오래 전부터 사용되어 안정적으로 수위를 측정할 수 있는 것으로 평가되고는 있으나 우물통 막힘 등으로 인해 오측 혹은 결측이 발생하는 경우가 있다. 최근에 많이 사용되고 있는 센서식 장비의 경우에는 센서에 대한 정기적인 보정이 필요하며, 일부 장비의 경우 온도에 따라 측정값이 변화하는 단점이 있다. 수위 측정 방식은 접촉식과 비접촉식으로 나누어 볼 수 있다. 접촉식의 경우 물속에 센서가 위치하고 있기 때문에 홍수시 센서 유실 및 고장의 우려가 있으며, 잦은 고장의 원인이 되기도 한다. 비접촉 방식인 초음파나 레이다 수위계의 경우 온도에 따라 보정이 필요하거나 수면과의 거리에 커지면 오차가 커지는 경향을 지니고 있다. 또한 이와 같은 간접방식에 의한 수위측정 방법은 수위가 많이 변화하는 경우 실제 수위와 측정되는 수위가 일치하는지를 확인하는 것이 불가능한 단점도 있다. 본 연구에서는 최근에 많이 일반화되고 있는 영상처리기술을 이용하여 자동적으로 수위를 측정하는 장비인 영상수위계를 개발하였다. 또한 개발한 영상수위계를 하천 현장에 적용하여 정확성을 평가하고 그 특징을 분석하였다. 영상수위계는 카메라에 의해서 수위표를 촬영하여 직접 수위값으로 변환하는 원리를 사용하고 있어서 기존 수위측정 시설과는 달리 수위표를 직접 눈으로 확인할 수 있는 장점이 있다. 이로 인해 수위표를 육안으로 확인할 수 있기 때문에 측정된 수위를 검증할 수 있어 수위측정의 정확성을 한층 높일 수 있다. 그리고 수위표 영상과 더불어 수위표 주변의 전체 영상을 동시에 촬영하여 실시간으로 전송하기 때문에 홍수시 하천 상황에 대한 모니터링 목적으로 사용될 수 있다. 영상수위계는 우물통 등을 이용하는 기존 방법과 비교하여 구조물이 필요 없어 설치 비용이 저렴하고, 영상에 의한 하천 모니터링 기능을 자체적으로 가지고 있기 때문에 효율적이라고 할 수 있다.

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Practical Application of Image Stage Gauge (영상수위계 실용화)

  • Kim, Won;Kim, Chi-Young;Lee, Chan-Joo;Kim, Dong-Gu
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2007.05a
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    • pp.560-564
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    • 2007
  • 하천 수위 측정을 위해서 우물통을 기본으로 하는 부자식, 초음파식, 기포식, 압력식, 레이다식 등 다양한 장비가 사용되고 있다. 이와 같은 장비는 모두 간접적인 방법으로 수위를 측정하기 때문에 기준값을 바탕으로 보정이 필요하며, 장비의 특성에 따라 여러 가지 장단점을 지니고 있다. 부자식의 경우 오래 전부터 사용되어 안정적으로 수위를 측정할 수 있는 것으로 평가되고는 있으나 우물통 막힘 등으로 인해 오측 혹은 결측이 발생하는 경우가 있다. 최근에 많이 사용되고 있는 센서식 장비의 경우에는 센서에 대한 정기적인 보정이 필요하며, 일부 장비의 경우 온도에 따라 측정값이 변화하는 단점이 있다. 수위 측정 방식은 접촉식과 비접촉식으로 나누어 볼 수 있다. 접촉식의 경우 물속에 센서가 위치하고 있기 때문에 홍수시 센서 유실 및 고장의 우려가 있으며, 잦은 고장의 원인이 되기도 한다. 비접촉 방식인 초음파나 레이다 수위계의 경우 온도에 따라 보정이 필요하거나 수면과의 거리에 커지면 오차가 커지는 경향을 지니고 있다. 또한 이와 같은 간접방식에 의한 수위측정 방법은 수위가 많이 변화하는 경우 실제 수위와 측정되는 수위가 일치하는지를 확인하는 것이 불가능한 단점도 있다. 본 연구에서는 최근에 많이 일반화되고 있는 영상처리 기술을 이용하여 자동적으로 수위를 측정하는 장비인 영상수위계를 개발하였다. 영상수위계는 카메라(CCTV 포함)에 의해서 수위표를 촬영하여 직접 수위값으로 변환하는 원리를 사용하고 있어서 기존 수위측정 시설과는 달리 수위표를 직접 눈으로 확인할 수 있는 장점이 있다. 이로 인해 수위표를 육안으로 확인할 수 있기 때문에 측정된 수위를 검증할 수 있어 수위측정의 정확성을 한층 높일 수 있다. 그리고 수위표 영상과 더불어 수위표 주변의 전체 영상을 동시에 촬영하여 실시간으로 전송하기 때문에 홍수시 하천 상황에 대한 모니터링 목적으로 사용될 수 있다. 본 연구에서 개발한 영상수위계는 한강홍수통제소 관할의 전류, 청담대교 등 4개소 낙동강 홍수통제소 2개소, 지자체 등에 적용되었으며, 적용 결과 비교적 안정적이면서 정확하게 수위를 측정하는 것으로 나타났다. 한편 기존 CCD 카메라 이외에 CCTV를 이용한 영상수위계를 개발하여 영상의 화질 개선뿐 아니라 하천화상 감시 기능을 강화하였다.

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Calibration Interval Analysis Method Based on F-test and Performance Index of Measurement Reliability Model Using Maintenance Data in Military Weapon Systems (군 무기체계에서 정비 데이터를 이용한 측정신뢰도 모델의 F-검정 및 성능지수 기반 교정주기 분석 기법)

  • Cha, Yun-bae;Kim, Boo-il
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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    • v.21 no.11
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    • pp.2191-2198
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    • 2017
  • The PME(precision measurement equipment) used in the measurement to check the performance of the equipment in military weapon system is periodically calibrated to maintain measurement reliability during the life cycle. Previous studies suggest that reliability models are determined by considering sample size and characteristics of equipment. However, it may not be fit well to apply a single model assuming the same characteristic distribution for the maintenance date of many kinds of PMEs. This paper proposes that the most suitable calibration interval for maintenance data is selected through the F-test and the performance index evaluation among the calibration intervals estimated from the measurement reliability models assuming the characteristic of the bath-tub curve during the life cycle of various PMEs. The research results show that the reliabilities of various types of equipment are maintained during calibration intervals.

박막형 열전 소재의 두께 방향 열전도도 측정 장비 개발

  • Kim, Yeong-Seok;Ha, Su-Hyeon;Gang, Sang-U;Song, Jae-Yong;Park, Seon-Hwa;Hyeon, Seung-Min
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.112-112
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    • 2016
  • 열전 발전은 버려지는 폐열을 재사용 가능한 에너지로 전환할 수 있다는 점에서 차세대 청정 에너지원으로 분류되며, 19세기 초 발견된 이래 꾸준히 연구되어온 연구 분야이다. 특히 1990년대 열전소재로의 나노 기술의 접목에 따라 열전성능(figure of merit, ZT)이 2 배 이상 증가 되면서, 고성능의 열전 소재 개발을 위해 나노구조화 연구가 활발히 진행되고 있다. 하지만, 기존의 열전 특성 측정용 상용 장비의 경우, 벌크형 소재를 대상으로 설계되어 연구실 수준에서 개발되고 있는 마이크로미터 스케일의 두께를 가지는 박막형 열전 소재의 두께 방향 (cross-plane)의 열전 특성을 평가하는데 정밀성이 떨어져서 적합하지 않다. 이러한 표준화된 측정 기술의 부재로 인하여 최근 연구되고 있는 나노소재들의 열전 특성 측정 결과를 정확하게 측정하지 못하고 있다 [1] 본 연구에서는 박막형 열전 소재의 열전성능을 평가하는데 가장 중요한 요소인 열전도도를 측정하기 위해 장비를 설계하고, 장비의 측정 능력에 대해 평가하였다. 특히, 측정 포인트 간 큰 온도 차가 발생하여 비교적 쉽게 측정이 가능한 너비 방향 (in-plane) 이 아닌, 온도 차가 작은 박막의 두께 방향의 열전도도를 측정하였다. 그리고 센서의 측정 능력을 평가하기 위해, 폴리이미드를 대상으로 $-10-70^{\circ}C$ 온도 범위에서 측정한 결과와 벌크형 소재 대상으로 신뢰성이 확보된 보호열판법을 이용해 측정한 결과를 비교하였다.

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환경기술코너-방류수 수징 원격감시체계(TMS) 시범운영

  • Lee, Gyeong-Jin;Jo, Jae-Won;Hyeon, Mun-Sik;Gwon, Bong-Gyeong;Choe, Jun-Chang
    • Bulletin of Korea Environmental Preservation Association
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    • v.29 s.367
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    • pp.42-46
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    • 2007
  • 최근 수질환경보전법의 개정법률(안)에 의거하여 폐.하수종말처리장에 수온, pH, 생물학적산소요구량(BOD), 화학적산소요구량(COD), 총질소(TN), 총인(TP) 및 부유물질(SS)의 자동으로 측정할 수 있는 수질자동측정기의 부착이 의무화될 예정에 있다. 그러나, 현재 전국적으로 화학적산소요구량 측정장비와 같이 일부 항목에 대한 자동측정장치는 설치.운영 중인 곳이 많이 있으나, 수질 TMS 설치 규정에 나와 있는 전 항목을 측정할 수 있는 장비가 설치되어 운영하는 곳은 극히 일부에 불과한 실정이다. 따라서, 수온, pH, 화학적산소요구량(COD), 총질소(TN), 총인(TP), 부유물질(SS) 자동측정 장치를 설치하고, 무선통신(CDMA) 방식을 이용하여 '방류수 수질 원격감시체계(TMS) 시범 운영'을 통하여, 측정 장비들에 대한 자료의 정확성, 신뢰성을 파악하여 설치될 장비들에 대한 성능을 사전에 평가하고, 수질 TMS 시스템에 대한 현장 적응 능력 및 안정성을 파악하여 실질적으로 운영되는 시점에 좀 더 정확하고 실용적인 시스템을 적용하고자 한다.

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방류수 수질 원격감시체계'TMS' 시범 운영

  • Lee, Gyeong-Jin;Jo, Jae-Won;Gwon, Bong-Gyeong;Choe, Jun-Chang
    • Environmental engineer
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    • v.23 s.244
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    • pp.56-60
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    • 2006
  • 최근 수질환경보전법의 개정법률(안)에 의거하여 폐 · 하수종말처리장에 수온, pH, 생물학적산소요구량(BOD), 화학적산소요구량(COD), 총질소(TN), 총인(TP) 및 부유물질(SS)의 자동으로 측정할 수 있는 수질 자동측정기의 부착이 의무화될 예정에 있다. 그러나, 현재 전국적으로 화학적산소요구량 측정장비와 같이 일부 항목에 대한 자동측정장치는 설치 · 운영 중인 곳이 많이 있으나, 수질 TMS 설치 규정에 나와 있는 전 항목을 측정할 수 있는 장비가 설치되어 운영하는 곳은 극히 일부에 불과한 실정이다. 따라서, 수온, ph, 화학적 산소요구량(COD), 총질소(TN), 총인(TP), 부유물질(SS) 자동측정 장치를 설치하고, 무선통신(CDMA)방식을 이용하여 ‘방류수 수질 원격감시체계(TMS) 시범 운영'을 통하여, 측정 장비들에 대한 자료의 정확성, 신뢰성을 파악하여 설치된 장비들에 대한 성능을 사전에 평가하고, 수질 TMS 시스템에 대한 현장 적응 능력 및 안정성을 파악하여 실질적으로 운영되는 시점에 좀 더 정확하고 실용적인 시스템의 적용하고자 한다.

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저궤도위성에 장착된 장비들에 대한 위치정렬 해석 및 측정

  • Lee, Won-Beom;Kim, Hong-Bae
    • The Bulletin of The Korean Astronomical Society
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    • v.37 no.2
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    • pp.191.1-191.1
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    • 2012
  • 저궤도 위성은 대구경 광학 탑재체를 장착한 지구관측 위성으로 자세제어 센서, 탑재 데이터 전송 안테나 및 탑재체가 정밀하게 장착되어야 한다. 이를 위해 정밀한 장착을 설계과정에서 검토 및 해석을 하기 위한 요구조건을 설정하고, 요구조건을 분석하는 과정을 거치게 된다. 분석이 수행되면 이 결과를 근거로 능동적인 정열오차 교정이 필요한지, 또는 단순히 위치 정열에 대한 측정만이 필요한지를 결정한다. 그리고 측정장비의 시야각 검증 및 위치정열 측정 방안을 검토 한 후 장비들의 위치 정렬 측정 시험을 통해 정확한 위치를 확인하고, 요구조건과 비교하여 만족하는지 확인하게 된다. 다시 말해서, 위성체에 장치된 각종 장비들이 설계된 위치에 정확히 위치하고 있는지 확인하는 과정이다. 본 논문에서는 저궤도위성의 정렬 요구조건 분석 및 측정 시험을 수행한 내용을 기술하고자 한다.

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O-ring Size Measurement Based on a Small Machine Vision Inspection Equipment (소형 머신 비전 검사 장비에 기반한 O링 치수 측정)

  • Jung, YouSoo;Park, Kil-Houm
    • Journal of Korea Society of Industrial Information Systems
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    • v.19 no.4
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    • pp.41-52
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    • 2014
  • In this paper, O-ring size measurement algorithm based on a small machine vision inspection equipment which can replace a expensive and large machine vision inspection equipment is presented. The small machine vision inspection equipment acquires a image from a CCD camera shooting a measurement plane which located on a back light and the proposed size measurement algorithm is apply to the image. For improvement of size measurement accuracy, camera lens distortion correction and perspective distortion correction are conducted by software technique. Consider O-ring's shape, ellipse fitting model is applied. In order to increase the reliability of ellipse fitting, RANSAC algorithm is applied.