• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.209-209
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• 2011

플라즈마 공정에 있어 챔버 및 웨이퍼의 표면 상태변화는 공정 결과에 큰 영향을 끼치게 된다. 챔버 표면에 대한 연구는 많이 진행되어 있지만 대부분의 연구가 챔버 표면에서 일어나는 화학적 반응에 초점을 맞추고 있다. 본 연구에서는 플라즈마 상태 변화에 따른 챔버 표면물질의 전기적 특성 변화를 관찰하였다. 프로브 표면에 Al2O3로 코팅을 하고 플라즈마에 삽입 후 AC 하모닉법을 이용하여 실시간으로 표면의 축전용량을 측정하였다. 그 결과 표면의 축전용량은 플라즈마에 인가한 전력과 표면이 플라즈마에 노출된 시간에 따라 변하는 것이 관찰되었다. 플라즈마에 인가된 전력이 증가되면 처음에는 급격이 축전용량이 증가하였고, 그 후 시간이 지날수록 천천히 수렴되었다. 유전물질의 축전용량은 그 물질의 온도와 연관이 있다. 실험 결과로 미루어 보았을 때, 플라즈마에서의 표면의 축전용량의 변화는 플라즈마로부터 표면으로의 열전달에 의한 표면의 온도 변화에 의한 것으로 이해할 수 있다. 특히, 쉬스에서 가속되는 이온의 포격에 의해 표면 격자가 크게 진동하면서서 일반적인 온도 변화에 의한 축전용량의 변화보다 더 큰 변화가 일어난 것으로 추정된다. 공정에 사용되는 많은 챔버의 표면이나 전극의 표면은 유전체로 코팅되어 있다. 이 유전체의 특성이 온도에 의해 변하게 되면 챔버의 전기적인 특성이 변하게 되어 임피던스 매칭 조건에 변화를 가져온다. 그 결과 플라즈마의 특성도 바뀌게 되어 공정 결과에 영향을 미치게 된다. 그러므로 챔버 표면의 유전특성을 관찰하고 제어하는 것이 플라즈마의 특성을 유지시키는데 중요하다고 할 수 있다.

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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• 1996.05a
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• pp.419-424
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• 1996

안전등급 Ni-Cd 축전지는 품질수명이 15-25년으로 환경시험 등을 통하여 입증되었지만, 설치후 7년이 경과한 한국 원자력 연구소 방사성 폐기물 처리시설의 안전등급 Ni-Cd 축전지는 1992년에 실시한 최초의 용량시험 결과 기준용량에 미달하였다. 안전등급 Ni-Cd 축전지와 관련된 각종 유지보수 기술을 조사하고, 용량복구를 위한 증류수와 전해질 성분의 적절한 보충, 충전과 방전 특성의 적용, 활성제 보충, 전극의 청소를 통하여 매년 성능이 회복되어서 1995년도 용량시험시에는 기준용량을 초과하였으므로 안전등급 Ni-Cd 축전지의 용량 문제해결 사례로 소개한다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2002.11d
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• pp.297-299
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• 2002

본 논문에서는 태양광-풍력 복합발전시스템의 구성에 있어서 확률적으로 변화하는 시스템 발전량과 부하량을 고려한 적정 축전지 용량산정기법에 관하여 연구하였다. 서울지역에서의 전형적인 날의 시간대별 일사량과 풍속 데이터에 기초하여 태양광-풍력 복합발전시스템의 출력분포를 산정하였고 배전계통과 연계된 전형적인 일반 주택부하를 가정하여 시스템 발전량과 부하량이 서로 상응하도록 풍력발전기와 태양전지의 용량을 결정하였다. 태양광 풍력 복합발전시스템의 예상 발전량은 각각 Beta 분포와 Weibull 분포에 기초하여 산정하였고 수요부하량을 비교하여 잉여 발전량은 축전지에 충전하고 부족 발전량은 축전지에서 방전하여 가능한한 계통으로부터 인입전력을 공급받지 않기 위한 최소 축전지 용량을 산정하는 기법에 관하여 연구하였다.

• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2011.07a
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• pp.557-558
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• 2011

전기자동차의 축전지 관리 시스템(BMS : Battery Management System)의 잔존용량(SOC : State Of Charge)산정에는 Ah 측정법, 비중측정법, 전압측정법 등이 있다. 기존 전압 측정법의 경우 측정 전압을 프로세서에서 직접 처리하기 때문에 축전지의 미세한 전압 변화를 측정하지 못하여 잔존 용량 산정시 세밀한 계산에 어려움이 따른다. 본 논문에서는 축전지의 전압 측정 시 프로세서 전단에 전압의 부분 증폭회로를 추가하여 축전지의 미세한 전압변화를 증폭하여 측정하는 방법을 제안 하였다. 니켈수소전지를 대상으로 실험한 결과 충전 중 기존 전압측정법은 1.431V, 1.436V, 1.441V가 측정 되었을 때의 잔존 용량은 84%로 일정하였다. 같은 전압변화에서 부분증폭회로를 적용한 충전전압은 1.4297V, 1.4303V ~ 1.4352V, 1.4358V로 측정 되었으며, 그에 따른 잔존용량은 84% ~ 85%로 기존 전압 측정법 보다 약 9 ~ 10배 정도 세밀하게 측정 되었다. 제안한 방법을 통한 실험으로 제안된 방법이 기존 전압 측정법보다 세밀한 전압 측정 및 SOC산정이 가능함을 확인 하였다.

• 전기의세계
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• v.39 no.10
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• pp.28-36
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• 1990

태양광발전 시스템에서 축전지는 일조시간에 태양 전지에 의해 충전된 전력을 일몰 후와 같이 태양전지로 부터의 출력이 없을때나 흐린날, 우천시와 같이 태양 전지의 출력이 부족할 때 방전하여 부하에 전력을 공급하게 된다. 이와같이 축전지는 태양 광발전 시스템이라는 특별한 용도에 사용되기 때문에 일반적인 용도와는 달리 매우 가혹한 사용 조건하에서 가동된다. 즉, 축전지의 충전량은 기후 변화에 의해서 좌우되므로 과충전, 부족충전, 과방전이 진행되면 축전지의 노화 즉, 용량 감소는 급격히 일어나게 된다. 물론 최적의 충전 상태를 유지하기 위해서 충전기를 개량하거나, 부조일을 감안하면 축전지의 용량을 설계하거나, 디젤 보조발전기를 사용하여 일사량이 적은 경우에 충전 전기량을 보충하는 등 여러가지 개선책이 있지만, 불규칙적이며 가혹한 사용조건은 자연 현상에 의한 것이므로 근본적인 해결책은 될 수가 없다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.7 no.11
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• pp.991-998
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• 1997

중성과 산성의 전해질내에서 여러 탄소전극의 전기화학적 특성과 전극재료의 중요함수인 이중층 축전용량에 대하여 조사 하였다. 이를 위해 임피던스 스펙트로스코피를 이용하였으며, 0.5M $K_{2}$SO$_{4}$용액과 0.1M H$_{2}$SO$_{4}$용액내에서 electrographite와 박판상 흑연의 경우 이중층 축전용량은 다른 두 전극재료에 비하여 높게 나타났으며, 0.1M H$_{2}$SO$_{4}$용액에서 탄소재료의 전하이동저항 R$_{1}$은 유리상 탄소와 PVDF graphite의 경우 140 ㏀과 31.9㏀로 나타났으며 electropraphite와 박판상 흑연의 경우 2.0㏀과 5.7㏀의 적은 값을 나타냈다. 이는 재료의 표면이나 내부의 기공에 의해 생기는 커다란 비 표면적 때문이며, 이것에 의해 재료의 상경계에서 측정된 임피던스량은 저주파영역에서 낮게 나타났다. 특히 electrographite는 전극계면에서 흡착의 영향이 현저하게 나타났으며, 4종류 전극재료의 전기화학적 특성과 이중층 축전용량은 전극표면 조직에 의해 차이가 나타났다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2011.07a
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• pp.1173-1174
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• 2011

원자력발전소에 사용되는 직류전원계통은 발전소 운전제어에 필요한 전원을 공급한다. 축전지는 교류전원 상실시 전원이 회복될 때까지 발전소의 계통상태를 감시할 수 있는 계측제어설비의 전원공급과 발전소의 안전정지 등에 대비한 비상전원을 공급하는 설비이다. 발전소 직류전원계통용 축전지에 대한 설계 및 유지보수에 사용되는 국내 외 기술기준과 축전지 용량 및 동작책무 그리고 안전등급 축전지가 공급하는 부하, 축전지의 점검 및 성능시험에 대해서 살펴보았다. 현재 전기자동차에 사용될 축전지와 신재생에너지의 출력변동 보상용 축전지에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 향후 축전지의 연구개발로 축전지 형식이 납축전지에서 기타 다른 우수한 방식의 축전지로 변경하기 위해서는 사용될 축전지의 특성, 배터리관리시스템, 축전지에 대한 원자력발전소용 기술기준의 개발에 관한 연구들이 진행되어야 할 것이다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2010.11a
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• pp.299-300
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• 2010

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.24 no.12
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• pp.42-49
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• 2007

When micro holes are machined by EDM, machining characteristics of machined holes are changed according to the machining conditions. Typical machining conditions are the kind of dielectric fluids, capacitance and ultrasonic vibrations. They influence electrode wear, machining time, radial clearance and taper angle. In this paper, machined holes whose depths are 300, 500, $1000\;{\mu}m$ are observed for each machining conditions. Using deionized water as a dielectric fluid makes electrode wear small, machining time short, radial clearance large and taper angle small. High capacitance makes electrode wear high. Ultrasonic vibrations make electrode wear large, machining time short, radial clearance small and taper angle small. From the results of experiments, the optimal machining conditions were obtained to machine highly qualified micro holes.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2009.04b
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• pp.279-280
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• 2009

축전지는 전기자동차, 독립형 태양광시스템 등 여러 산업분야에서 광범위하게 사용되고 있다. 본 논문에서는 이러한 축전지의 단자 전압을 감지하는 회로를 단순연산 처리하여 가격절감 효과를 가져왔으며 잔류용량 표시장치를 통해 그 값을 간단히 표기하여 별도의 장비 없이 축전지의 충전상태를 확인하고, 이상여부를 간단히 알 수 있는 시스템을 제안한다. 제안된 회로는 납축전지를 사용하였고 충방전시 전압을 측정하여 회로의 동작을 검증하였다.