• Title/Summary/Keyword: 최소저항

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DC 마그네트론 스퍼터법으로 Al 박막의 형성 시 실시간 전기저항 측정에 대한 연구

  • Gwon, Na-Hyeon;Ha, Sang-Hun;Park, Hyeon-Cheol;Jo, Yeong-Rae
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.238-238
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    • 2010
  • 최근 전자산업의 발전은 형상 면에서 경박 단소화로 급속하게 진행되고 있으며, 전자소자 내부에서의 배선재료로 사용되고 있는 알루미늄(Al) 박막의 두께 역시 얇아지고 있다. 두께가 20 nm 이하로 작은 극박막 범위에서 박막의 두께 증가에 따라 전기가 잘 흐르기 시작하는 박막의 최소두께로 정의 되는 유착두께를 실시간으로 측정하는 방법을 구현하고 임의의 금속박막과 기판의 조합에 있어서 각각의 재료에 대한 유착두께를 제공함으로써 향후 미세전자소자의 제작시 배선 재료의 선택에 대한 기초자료를 축적할 수 있다. 또한 금속박막의 증착공정 직전에 기판을 표면처리 하여 기판을 활성화시킬 때 표면처리가 박막의 유착두께에 미치는 영향에 대해 박막의 미세구조 변화 관점에서 연구함으로써 여러 가지 금속박막에 대한 유착두께를 줄일 수 있는 방법을 도출 할 수 있다. 본 연구에서는 유리 기판 위에 사진 식각 공정으로 패턴을 형성하고 패턴이 형성된 유리 기판은 스퍼터에 연결된 4 point probe에 구리 도선으로 연결한 후 DC 마그네트론 스퍼터법으로 Al을 증착하면서 실시간으로 시간에 따른 전기저항을 측정을 하였다. 이때 스퍼터 내부 진공도는 $4.6\;{\times}\;10^{-5}\;torr$ 까지 낮춰준 후 Al을 증착 할 때 진공도는 $1.1\;{\times}\;10^{-2}\;torr$로 맞춰주고 Ar 가스를 20 sccm 넣어준다. 1초 간격으로 전기저항을 측정한 결과 25초대에 전기저항이 급격히 감소하였으며 이때 Al 박막의 두께는 $120{\AA}$ 이고 이 두께에서부터 전류의 흐름이 좋은 것을 알 수 있다. 박막 두께에 따른 특성을 알기위해 UV 영역의 빛을 사용하는 광전자 분광기(Photoelectron Spectrometer)를 이용해 일함수를 측정하였다. Al 의 일반적인 일함수는 4.28 eV 이며, 두께가 $120{\AA}$일 때의 일함수는 4.2 eV로 거의 비슷한 값을 얻었다. 전류가 잘 흐르기 전인 12초대에서 두께가 $60{\AA}$일 때 일함수는 4.00 eV 이고 전류가 흐르기 시작한 후 50초대에서 Al 박막 두께가 $200{\AA}$ 일 때 일함수는 4.28 eV 로 일반적인 Al의 일함수와 같은 값을 얻을 수 있었다. 광전자 분광기술은 전자소자에서 중요한 전자의 성능예측에 도움을 줄 수 있으며 물질의 표면에서 더욱 다양한 정보를 얻을 수 있다. 또한 실시간 전기저항 측정을 통한 금속박막의 전기전도 특성과 미세구조에 대한 기초 자료를 제공함으로써 신기술 발전에 공헌할 것이다.

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고속파 전자가열을 시도한 KSTAR 토카막 원형 플라즈마에서의 ICRF 고주파 부하 저항

  • Wang, Seon-Jeong;Kim, Seon-Ho;Gwak, Jong-Gu
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.297-297
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    • 2010
  • KSTAR 토카막의 두번째 실험 캠페인 동안 고속파 전자가열 (FWEH)을 위한 ICRF 고주파입사 실험을 실시하였다. 토로이달 자기장은 2 T, 플라즈마 전류는 200-300 kA, 주반경은 1.8 m, 부반경은 0.5 m의 원형 플라즈마가 가열 대상이 되었으며, 네개의 ICRF 안테나 전류띠 가운데 중심부의 두개의 전류띠를 최대 300 kW로 구동하기 위한 운전 주파수는 44.2 MHz가 선택 되었다. 이 주파수는 플라즈마의 모든 영역에서 이온 사이클로트론 공명을 일으키지 않으므로 플라즈마에 흡수되는 대부분의 출력은 전자에게 전달될 것으로 기대되었다. 낮은 고주파-플라즈마 결합으로 인하여 전송선의 최대 고주파 전압이 허용치를 초과하기 때문에 비교적 낮은 최대 출력만이 허용 되었으나, ECE에 의해 관측된 전자의 온도는 국지적으로 최대 150 % 까지 증가하는 것을 확인 할 수 있었다. 낮은 고주파-플라즈마 결합의 첫번째 원인은 FWEH의 효율이 이온을 가열할 때 보다 상대적으로 낮기 때문이다. 플라즈마 내에 이온 사이클로트론 공명층이 형성되면 높은 효율로 고주파를 입사 할 수 있다는 것은 잘 알려진 사실이다. 또다른 원인은 D 형상의 플라즈마에 맞도록 만들어진 안테나와, 원형 플라즈마간의 부조화로 인하여 고속파 차단층이 (Fast Wave Cutt-off Layer) 평균적으로 넓게 형성되기 때문이다. 플라즈마 외곽에 반드시 존재하는 낮은 플라즈마 밀도의 고속파 차단층 내부에서, 중심부로 향하는 고주파의 진폭은 지수함수로 감쇠하므로 가능하면 플라즈마 밀도를 높여 차단층 자체의 폭을 줄이거나, 안테나 전류띠를 플라즈마에 바짝 접근시켜야만 한다. 고주파 진단 장치로는 송출기의 출력과 반사파 측정 장치, 공명루프의 전압 측정 장치가 있는데, 이것들을 이용하여 안테나에 전달되는 출력 및 고주파-플라즈마 결합 효율을 나타내는 플라즈마에 대한 고주파 부하 저항을 구할 수 있다. 측정 결과, 부하 저항의 최소값은 진공시 또는 ICRF만의 방전시의 값 0.25 Ohm 보다 큰 0.5 Ohm을 나타냈으며, 최대값은 플라즈마의 상태에 따라 1 Ohm에서 2 Ohm 사이에서 매우 빠르게 요동하는 것을 확인했다. Mm 파 반사계의 측정에 의하면 플라즈마 언저리의 위치가 약 3 cm 정도의 크기로 요동하는 것으로 나타났는데, 부하 저항과 언저리 위치의 파형이 정확하게 일치하지 않지만 유사한 경향성을 가진 것으로 보인다. 따라서 플라즈마 언저리 위치의 제어를 통하여 가열 효율을 높게 유지할 수 있음을 알 수 있다. 본 발표에서는 실험의 소개와 함께 부하 저항의 관점에서 가열 효율을 높일 방안을 토론하도록 한다.

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Investigation of Drop Test Method for Simulation of Low Gravity Environment (저중력 환경 모사를 위한 낙하 시험 방법 연구)

  • Baek, Seungwhan;Yu, Isang;Shin, Jaehyun;Park, Kwangkun;Jung, Youngsuk;Cho, Kiejoo;Oh, Seunghyub
    • Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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    • v.25 no.4
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    • pp.78-87
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    • 2021
  • Understanding the liquid propellant transport phenomena in low gravity is essential for developing Korea Space Launch Vehicle (KSLV) upper-stage for the diversity of space missions. A low-gravity environment can be simulated via the free-fall method on the ground; however, the air drag is inevitable. To reduce air resistance during free fall, air-drag shield is usually adopted. In this study, the free-fall method was performed with an air-drag shield from a 7-m height tower. The acceleration of a falling object was measured and analyzed. Low gravity below 0.01 g was achieved during 1.2-s free fall with the air-drag shield. The minimum gravitational acceleration value at 1.2-s after free fall was ±0.005 g, which is comparable to the value obtained from Bremen drop tower experiments, ±0.002 g. A prolonged free-fall duration may enhance the low-gravity quality during the drop tower experiments.

Characteristic mode analysis of EM radiation by 3-dimensianl object (특성 모드를 이용한 3차원 구조 전파방사 해석)

  • Son, Seung-han;Ahn, Chang-hoi
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2015.07a
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    • pp.1256-1256
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    • 2015
  • 방열판과 같이 전류나 전압원에 연결된 도체의 구조물은 유기된 전류에 의해 전파를 방사하게 된다. 이때의 전류 분포는 도체 구조물의 형상과 주파수에 따른 전류 분포를 갖게 되는데, 이는 모드의 특성 해석을 통하여 분석할 수 있다. 원치 않는 전파의 방사를 이 특성 모드 해석을 통하여 분석하고, 이를 통해서 효율적인 접지 위치를 선정 후 최적의 저항을 사용하여 원치 않는 전파의 방사가 최소가 되도록 한다.

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Margin Design

  • O, Nam-Sik
    • The Journal of the Korean dental association
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    • v.41 no.8 s.411
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    • pp.552-557
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    • 2003
  • 치아 삭제의 원리 중 변연과 관련된 조건들과 다양한 보철물 마무리에 따른 특성을 살펴보고 완전 도재관의 변연 각도에 따른 적합도와 응력분포에 대한 실험 결과를 참고해 적절한 변연 디자인 선택시에 도움이 되고자 한다. 성공적인 보철물 변연은 마무리선에 정확히 맞아야하는 fitness(cement의 노출 최소), 환자와 술자의 입장에서 청결 가능한 부위에 위치되어야 하는 location, 그리고 교합력에 충분히 저항할 수 있는 stress를 만족할 수 있어야 할 것이다.

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Study on SOH estimation and extraction of degradation parameter based on principal component analysis for high energy battery pack (주성분분석(PCA)기반 고용량 배터리팩의 열화 인자 추출 방법 및 SOH 추정 기법 연구)

  • Lee, Pyeong-Yeon;Lee, Seong-Jun;Song, Hyeon-Cheol;Kim, Jonghoon
    • Proceedings of the KIPE Conference
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    • 2019.07a
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    • pp.59-61
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    • 2019
  • 고용량 어플리케이션의 높은 신뢰성을 만족하기 위해 배터리 열화에 영향을 미치는 다양한 변수가 고려되어야 하며, 24S1P의 배터리팩을 사용하여 전기적 노화를 수행하였다. 주성분 분석을 통해 열화에 상관성이 있는 변수인 용량, 내부 저항, 셀간 전압 편차, 최대 온도, 만방에서의 최소 전압 등을 설명하는 새로운 열화의 변수를 추출하였다. 열화 변수를 사용하여 설계한 SOH 추정 기법을 비교 및 검증한다.

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Effects of Crack Velocity on Fracture Resistance of Concrete (콘크리트의 파괴저항에 대한 균열속도의 영향)

  • Yon, Jung-Heum
    • Journal of the Korea Concrete Institute
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    • v.15 no.1
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    • pp.52-59
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    • 2003
  • Tests of concrete CLWL-DCB specimens had been conducted with displacement-controlled dynamic loading. The crack velocities for 381mm crack extension were 0.80 mm/sec ~ 215m/sec. The external work and the kinetic and strain energies were derived from the measured external load and load-point displacement. The fracture resistance of a running crack was calculated from the fitted curves of the fracture energy required for the tests. The standard error of the fracture energy was less than 3.2%. The increasing rate of the fracture resistance for 28 mm initial crack extension or micro-cracking was relatively small, and then the slope of the fracture resistance increased to the maximum value at 90∼145 mm crack extension depending on crack velocity. The maximum fracture resistance remained for 185 mm crack extension, and then the faster crack velocity showed the faster decreasing rate of the maximum fracture resistance. The maximum fracture resistance increased proportionally to the logarithm of the crack velocity from 142 N/m to 217 N/m when the crack velocity was faster than 0.273 m/sec. The maximum fracture resistance of the fastest tests was similar to the average fracture energy density of 215 N/m. To measure the fracture resistance of concrete, the stable crack extension should be larger than 90∼145 mm depending on crack velocity.

Characterization of an Animal Carcass Disposal Site using Electrical Resistivity Survey (전기비저항 탐사를 이용한 가축사체 매몰지 특성 분석)

  • Ko, Jin-Suk;Kim, Bong-Ju;Choi, Nag-Choul;Kim, Song-Bae;Park, Jeong-Ann;Park, Cheon-Young
    • The Journal of Engineering Geology
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    • v.22 no.4
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    • pp.409-416
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    • 2012
  • In this study, an electrical resistivity survey and a drilling investigation were conducted at an animal carcass disposal site. Chemical analysis of leachate collected from the site was also performed (sampling times: May 2011 and June 2012). Five lines of dipole-dipole electrical resistivity surveys were carried out, along with drilling investigations at 3 points within the disposal areas and 11 points near the disposal site. Two-dimensional inverse modeling of the collected resistivity data was performed to evaluate the properties (size, depth, and form) of the disposal site. Leachate analysis showed that pH of leachate decreased from 7.4 to 6.7, while Eh changed from -358 mV to -48 mV over time. In addition, dissolved ions increased due to the progression of carcass decomposition. Results of the electrical resistivity survey indicated that low resistivity zones (minimum value, $0.64{\Omega}m$) existed at a depth of 8 m from the surface. Considering the bedrock location and carcass disposal depth, there was no evidence of bedrock contamination by leachate. The results of the electrical resistivity survey are consistent with those of the drilling investigation, which indicates that electrical resistivity effectively depicted the properties of the disposal site. This study demonstrates that electrical resistivity survey is a suitable technique for investigation of animal carcass disposal sites.

Computational Approach for the Trade-Off Study between the Total Cost and the Member Connections in Steel Frames (강 뼈대구조물의 총 경비와 부재연결과의 상반관계에 관한 연구)

  • Choi, Byoung Han;Lim, Jung Hwan
    • Journal of Korean Society of Steel Construction
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    • v.19 no.1
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    • pp.15-27
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    • 2007
  • Over the past decade, labor costs have increased relative to the cost of material hardware according to analysts in the construction industry. Therefore, the minimum weight design, which has been widely adopted in the literature for the optimal design of steel structures, is no longer the most economical construction approach. Presently, although connection- related costs is crucial in determining the most cost-effective steel structures, most studies on this subject focused on minimum-weight design or engaged in higher analysis. Therefore, in this study, we proposed a fabrication scheme for the most cost-effective moment-resisting steel frame structures that resist lateral loads without compromising overall stability. The proposed approach considers the cost of steel products, fabrication, and connections within the design process. The optimal design considered construction realities, with the optimal trade-off between the number of moment connections and total cost was achieved by reducing the number of moment connections and rearranging them using the combination of analysis that includes shear, displacement and interaction value based on the LRFD code and optimization scheme based on genetic algorithms. In this study, we have shown the applicability and efficiency in the examples that considered actual loading conditions.

A Study on the Safety Characterization Grounding Design of the Inner Photovoltaic System (태양광 발전단지 내부 그리드의 안전 특성화 접지 설계에 관한 연구)

  • Kim, Hong-Yong;Yoon, Suk-Ho
    • Journal of the Society of Disaster Information
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    • v.14 no.2
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    • pp.130-140
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    • 2018
  • Purpose: In this paper, we propose a design technique for the safety characterization grounding in the construction of the photovoltaic power generation complex which can be useful and useful as an alternative power energy source in our society. In other words, we will introduce the application of safety grounding for each application, which can improve and optimize the reliability of the internal grid from the cell module to the electric room in the photovoltaic power generation complex. Method: We analyze the earth resistivity of the soil in the solar power plant and use the computer program (CDEGS) to analyze the contact voltage and stratospheric voltage causing the electric shock, and propose the calculation and calculation method of the safety ground. In addition, we will discuss the importance of semi-permanent ground electrode selection in consideration of soil environment. Results: We could obtain the maximum and minimum value of ground resistivity for each of the three areas of the data measured by the Wenner 4 - electrode method. The measured data was substituted into the basic equation and calculated with a MATLAB computer program. That is, it can be determined that the thickness of the minimum resistance value is the most favorable soil environment for installing the ground electrode. Conclusion: Through this study, we propose a grounding system design method that can suppress the potential rise on the ground surface in the inner grid of solar power plant according to each case. However, the development of smart devices capable of accumulating big data and a monitoring system capable of real-time monitoring of seismic changes in earth resistances and grounding systems should be further studied.