• 제목/요약/키워드: 촛점심도

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초고집적 반도체의 미세선폭 가공기술

  • 최상수
    • ETRI Journal
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    • 제10권1호
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    • pp.96-108
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    • 1988
  • 반도체 소자의 집적도가 증가하고 최소선폭이 감소함에 따라 소자가공시 그것이 중간중첩 정도(overlay accuracy)에 미치는 요인을 파악하였고, 광학적 노광장치에서 오는 한계성을 촛점심도(depth of focus) 측면에서 고찰하였으며, 차세대 노광장치인 전자빔 및 X-선 노광장치에 대해 그 장단점을 파악하여 $0.5\mum$ 이하 선폭 가공시 적당한 노광장치에 대해 기술하였다. 또한 이상적인 패턴 전사를 위한 건식식각시의 여러 문제점을 나열하고 그 해결책을 논하였다.

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Excimer Laser를 이용한 노광기술-I. 광노광 기술의 추이 및 성능개선방안

  • 이종현;김보우
    • ETRI Journal
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    • 제11권4호
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    • pp.128-138
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    • 1989
  • 광을 이용한 축소투영 노광기술은 고 NA와 단파장화에 의하여 현재 $0.5\mum$의 패턴형성을 가능하게 하고 있으며, 향후 excimer laser를 이용한 stepper는 64M DRAM 제조를 위한 핵심 노광장비가 될 것이다. 본 논문에서는 광을 이용한 노광장비의 성능개선을 위하여 노광방식에 따라 장비를 분류하고 MTF, coherence 등 패턴형성에 있어서의 주요개념을 정리하였다. 그리고 광노광 장비의 성능변수인 해상도, 촛점심도, 노광영역 및 정렬에 영향을 미치는 요소를 분석한 후 그 성능에대한 개선방안을 도출하였다.

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Chemical Mechanical Polishing (CMP) 공정을 이용한 Mutilevel Metal 구조의 광역 평탄화에 관한 연구 (A Study for Global Planarization of Mutilevel Metal by CMP)

  • 김상용;서용진;김태형;이우선;김창일;장의구
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제11권12호
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    • pp.1084-1090
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    • 1998
  • As device sizes are scaled down to submicron dimensions, planarization technology becomes increasingly important for both device fabrication and formation of multilevel interconnects. Chemical mechanical polishing (CMP) has emerged recently as a new processing technique for achieving a high degree of planarization for submicron VLSI applications. The polishing process has many variables, and most of which are not well understood. The factors determine the planarization performance are slurry and pad type, insert material, conditioning technique, and choice of polishing tool. Circuit density, pattern size, and wiring layout also affect the performance of a CMP planarization process. This paper presents the results of studies on CMP process window characterization for 0.35 micron process with 5 metal layers.

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펄스형 Nd:YAG 레이저를 이용한 Al의 용접 특성연구 (A study on the pure Al weldability using a pulsed Nd : YAG laser)

  • 김덕현
    • Journal of Welding and Joining
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    • 제11권1호
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    • pp.52-61
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    • 1993
  • Laser welding of ASTM no. 1060 Al plate with a pulsed Nd: YAG laser of 200W average power was performed for end capping of KMRR nuclear fuel elements In this research, we performed basic welding experiments. Firstly, laser output parameters which affect laser welding parameters were studied by changing laser input parameters for effective welding of 1060 Al plates. We found that laser power density and pulse energy are important parameters for smooth bead shape. Secondly, welding parameters which affect weld width-to-depth ratio were studied by changing power density and pulse energy, shielding gas, and defocusing. We found that power density must be higher than 0.3 Mw/cm$^{2}$ pulse energy must be higer than 3 J. travel speed must not exceed 200mm/sec, laser focus must be existed beneath 2-3mm from plate surface and helium is proper shielding gas. Thirdly, we studied the weld defects of Al-1060 such as crack and porosity in lap-joint welding. We designed new welding geometry for crack free welding of Al-1060 plates, and obtained crack free weldment but with lack of fusion. However, with Ti, Zr grain refiner elements, we can weld Al plates without solidification hot crack. Finally, we studied the origin of porosity by changing shielding gas. And we found that porosity was resulted from entrapment of shielding gas by the collapsing keyhole.

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Er : YAG 레이저 조사가 법랑질 표면 변화와 전단강도에 미치는 영향 (SEM EVALUATION AND SHEAR BOND STRENGTH OF ER : YAG LASER IRRADIATION ON ENAMEL SURFACE)

  • 임형수;이창섭;이상호
    • 대한소아치과학회지
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    • 제28권3호
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    • pp.374-382
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    • 2001
  • Er : YAG 레이저는 치아 경조직 삭제에 효과적인 파장을 지니고 있어 근래에 와동형성의 목적으로 많이 사용되고 있다. 본 연구의 목적은 법랑질에 대한 Er : YAG 조사가 전단강도에 있어 산부식법을 대체할 수 있는 표면처리 방법인지를 알아보고자 함이다. 복합 레진과 법랑질 사이의 접착력을 향상하기 위한 표면 처리 목적의 레이저 에너지를 측정하기 위해 24개의 법랑질 시편에 각각 정촛점과 탈촛점 방식으로 30mJ부터 150mJ까지 1Hz로 조사하였다. 4개의 시편은 37% 인산을 15초간 적용하고 세척, 건조하였다. 30개의 시편은 주사전자현미경으로 관찰하였다. 복합 레진과의 전단강도를 측정하기 위해 90개의 법랑질 시편을 3군으로 나누었다. 대조군은 37% 인산을 15초간 적용 후 세척하고 건조하였으며, 제 1군은 60mJ, 10Hz로 조사하였다. 제 2군은 먼저 60mJ, 10Hz로 조사한 후 37% 인산으로 15 초간 적용 후 세척하고 건조하였다. 실험결과는 다음과 같다. 1. 주사전자현미경 관찰결과, 정촛점, 탈촛점 모두 60mJ, 1Hz 이상으로 조사했을 경우 제 3형의 산부식 양상과 유사한 법랑질 표면을 얻을 수 있었다. 2. 정촛점과 탈촛점 방식 모두 에너지가 증가할수록 균열 양상이 더 심해졌다. 3. 가장 높은 평균 전단강도를 보인 군은 산부식군(Control)이었고 60mJ, 10Hz의 pulse로 조사한 후 산부식한 군(Group 2), 레이저만 조사한 군(Group 1)순으로 나타났으며 3 군간에 통계학적으로 유의한 차이를 보였다.(p<0.001)

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플라스틱 범퍼 설계를 위한 해석기법 (Analysis techniques for plastic bumper design)

  • 심재우
    • 오토저널
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    • 제13권3호
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    • pp.13-18
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    • 1991
  • 여기서는 자동차 분야중 Plastic이 가장 많이 적용되고 있는 Bumper의 초기 설계 가능성 확인(Feasibility study) 및 최적 설계를 위한 유동해석, 구조해석 그리고 Blow Molding Back-Beam 해석을 위한 PITA(Polymer Inflation and Thinning Analysis) 등의 기법들에 대한 내용 및 적용 방법 등에 대하여 서술하였다. 특히, Energy Absorbing 역할을 하는 Back-Beam은 Blow Molding에 의한 설계방법에 촛점을 맞추었다.

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정신과 응급환자의 위기 해결로서의 간호치료에 관한 실험적 연구 (An Experimental Study on the Nursing Therapy as a Emotional Crisis Intervention of the Psychiatric Emergency Patient)

  • Kim, Chung-In
    • 대한간호학회지
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    • 제5권1호
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    • pp.48-58
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    • 1975
  • 대부분의 정신과적 위기 (자살시도.도주 공격적 파괴적행동.싸움 등)는 노여움이 원인이 되는데 심한 불안. 초초나 또는 규칙등을 위반하였을 때에. 고지식한 병원직원들의 마구 다툼에 의해서 자신의 권리나 존엄성을 모욕 받았다고 생각될 때 그것에 대한 반응으로 일어나게 된다. 이러한 환자들의 흥분및 공격적 파괴적 행동들에 대해서 우리 간호원들은 과연 겁내야 하며 곧 진정제를 투여하거나 강박의를 입혀야 하는가 하는 것이 이 연구의 촛점이다. 본인은 이러한 환자들의 위기상황에 성급한 행동들이 주어지기에 앞서 과학적이고 체계적인 간호적 이해가 따른다면 환자들의 태도는 휠씬 달라질 수 있을 것이라는 가정하에 국립정신 병원에서 1973년 6월 1일부터 9월30일까지 실험군 10명. 통제군 10명의 환자에게 관찰기 (5일). 간호기(5일). 후반기 (5일)로 나누어 실험군에는 간호기에 유효적절한 과학적 체계적 간호를 실시하고. 통제군에는 실시하지 않음으로써 그 효과도를 검증하였다. 환자의 치료에는 간호적 치료이외에도 약물요법, 정신치료. 충격요법 등 관계 요인이 많으므로. 이러한 기간동안의 환자의 행동변화가 간호적 치료 (Nursing Therapy)에 의해 변화된 것인가를 확인하기 위해 검증하였다. 그 결과는 다음과 같다. (P<.01) 표6. 7에서 관찰기. 간호기. 후반기 동안의 정신과 응급 행동의 빈도는, 실험군에서는 15.4. 7.0. 2.9 로 감소되어 p <.01의 수준에서 의미 있는 변화임이 밝혀졌고, 통제군에서는 10.6. 6.9. 6.6으로 행동빈도가 감소되었으나 p >.05의 수준에서 의미 있는 변화가 아님을 보이고 있다. 위의 결과들로 미루어 본 연구는 다음과 같은 결론을 내릴 수 있을 것이라고 생각한다. \circled1환자의 위기 행동에 관한 사전의 이해없이 무조건의 안정제 투여와 강박의 사용은 금해야 할 것이다. \circled2유효 적절한 자학적 체계적 간호치료 (Scientific & Systematic Nursing Therapy 로서 정신과적 위기는 해 결될 수 있을 것이다. \circled3간호원은 치료적 요원의 역할을 담당할 수 있을 것이다. 본 논문을 시종 지도하여 주신 이부영선생님과 조언을 주신 이은옥 선생님. 이귀향 선생님. 그리고 국립정신병원의 김종해선생님, 보건대학원의 이영환 선생님께 진심으로 감사를 드리며. 아울러, 실험에 협력하여 주신 모든 분들께도 감사를 드립니다.

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주식수익률(株式收益率)의 조건부(條件附) 분산(分散)에 대한 요일효과(曜日效果) 분석(分析)

  • 정범석
    • 재무관리연구
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    • 제11권1호
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    • pp.233-262
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    • 1994
  • 본 연구는 주식시장(株式市場)의 이상현상(異狀現象)중의 하나인 요일효과(曜日效果)(day of the week effect)를 전통적인 회귀분석(回歸分析)이 아닌 ARCH 또는 GARCH 모형을 사용하여 조건부(條件附) 평균수익률(기대수익률)(平均收益率(期待收益率)) 뿐만아니라 조건부(條件附) 분산(分散)에도 나타나는지에 대하여 분석하였으며, 규모별(規模別)에 따라 요일효과(曜日效果)에 어떠한 차이가 나타나는지를 분석하였다. 본 연구의 추정결과를 요약하면, 조건부(條件附) 평균수익률(기대수익률)(平均收益率(期待收益率)) 및 조건부(條件附) 분산(分散) 모두에 있어 요일효과(曜日效果)가 뚜렷하게 존재하는 것으로 나타났다. 즉, 조건부(條件附) 평균수익률(平均收益率)에 대해서는 월요일(月曜日)은 부(負)의 효과, 토요일(土曜日)은 정(正)의 효과가 나타났으며, 조건부(條件附) 분산(分散)에 대해서는 월요일(月曜日)은 정(正)의 효과가, 토요일(土曜日)은 부(負)의 효과가 발견되었다. 그러나 한국(韓國)의 주식시장의 본격적인 성장기이면서 주식가격의 등락이 심했던 $86\sim92$년(年)간의 표본기간 동안에는 조건부(條件附) 분산(分散)에 대한 요일효과(曜日效果)는 존재하였으나, 조건부(條件附) 평균수익률(平均收益率)에 대한 요일효과(曜日效果)는 존재하지 않는 것으로 나타났다. 그리고 소형지수(小型指數)가 중(中) 대형지수(大型指數)와는 다른 주가행태를 보이는 것으로 나타났으며, 다음과 같은 몇 가지의 규모별(規模別) 차이(差異)를 보였다. 첫째, 조건부(條件附) 평균수익률(平均收益率)에 대한 분석에서 중(中) 대형지수수익률(大型指數收益率)을 사용하였을 경우에는 요일효과(曜日效果)가 나타난 반면에, 소형(小型) 지수수익률(指數收益率)의 경우에는 화요효과(火曜效果)가 존재하는 것으로 나타났다. 둘째, 조건부(條件附) 분산(分散)에 대한 분석에서 정(正)의 공휴일효과(公休日效果)가 다른 규모별 지수수익률(指數收益率)의 경우에는 나타나지 많았지만 소형(小型) 지수수익률(指數收益率)의 경우에는 존재하는 것으로 나타났다. 세째, 소형(小型) 지수수익률(指數收益率)의 경우 모형 추정후의 정규잔차(定規殘差)(normalized residuals) 및 정규자승잔차(定規自乘殘差)(normalized squared residuals)에 대한 시계열상관(時系列相關) 검정결과 모형의 부적합성(不適合性)이 나타났다. 본 연구는 기존의 기대수익률(期待收益率) 위주의 요일효과(曜日效果) 분석에서 주식수익률(株式收益率)의 분산(分散) 즉, 변동성(變動性)에 촛점을 두어 분석하였으며, 이는 투자자의 정확한 위험측정(危險測定)수단의 제공이라는 면에서 의의(意義)가 있을 것으로 생각된다.

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간호사의 환경적 요소와 개인적 특성이 직무스트레스와 윤리적 의사결정에 미치는 영향 (Effects Of Environmental Factors And Individual Traits On Work Stress And Ethical Decision Making)

  • Kim, Sang Mi L.;Shake ketefian
    • 대한간호학회지
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    • 제23권3호
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    • pp.417-430
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    • 1993
  • 이 연구는 환경적 요소(간호사의 자율성, 조직의 표준화)와 개인의 특성(통제위, 나이, 경험. 간호역할개념, 도덕성), 직무 스트레스, 윤리적 의사결정 사이의 관계를 이론적 틀을 구성하여 테스트함으로써 그 인과관계를 탐구하였다. 본 연구를 위해 개발된 모형은 1) Katz와 Kahn의 조직에 대한 개방체계 이론(open systems theory of organization) ; 2) Kahn. Wolfe, Quinn, Snoek의 스트레스 이론 (theory of stress) : 3) Kohlberg의 도덕발달 이론(theory of moral develop-ment): 그리고 4) 여러 문헌고찰을 기초로 하였다. 본 연구의 모형은 2가지의 주요 종속변수(직무 스트레스, 윤리적 간호행위), 2가지 매개변수(간호 역할개념, 도덕성 발달정도) 그리고 여러 독립변수들(조직의 표준화, 자율성, 통제위, 교육, 나이, 경험 등)로 구성되었다. 간단히 말해, 간호사의 스트레스와 윤리적 간호행위 를 개인 자신과 환경이라는 두 요소의 결과로 간주한 것이다. 미국(2개주)의 여러 건강관리기관에 근무하는 224명의 정규 간호사를 대상으로 하였고. 가설 검증을 위하여 1) 변수간의 인과관계를 조사하기 위한 Linear Structural Relationships(LISREL)기법과 2) 나이, 경험, 교육이 변수간의 관계에 미치는 중간역할을 알아보기 위해 상관분석을 이용하였다. LISREL결과를 보면 제시된 모델이 각 내재 변수에 상당한 설명력을 가지면서 자료에 잘 맞는 것으로 나타났다. 이 연구에서 가장 뚜렷한 점으로 나타난 것은 개인의 특성보다 환경적 요소로서의 자율성이 직무스트레스와 윤리적 의사결정을 예견하는데 훨씬 중요한 변수로 부각되었다는 점이다. 또한 간호사의 전문적 역할개념과 봉사적 역할개념이 간호사의 윤리적 의사결정을 예견하는 가장 중요한 요소로 나타났다. 중간영향(moderation effect)을 보면, 젊고 경험이 적은 간호사일수록 나이가 많고 경험있는 간호사보다 환경적 요소(자율성)에 더 큰 영향을 받는다는 것을 암시하고 있다. 또한 4년제 대학 이상을 졸업한 간호사의 윤리 적 간호행 위 는 2, 3년제 를 졸업 한 간호사 보다 환경적 요소에 의해 덜 영향을 받는 것으로 나타났다. 한편 자율성의 부족은 2, 3년제 졸업 간호사보다 4년제 졸업 간호사에게 더 심한 스트레스가 되고 있음을 시사하였다. 이 연구의 결과로부터 적어도 다음과 같은 두 가지 실제적인 제언을 도출할 수 있다. 첫째, 이 연구는 환경적요소로서의 자율성이 다른 어떤 개인적인 요소보다 직무 스트레스를 예견하는 데 중요한 요소라는 것을 제시하였다. 이것은 간호행정가들에게, 간호사의 직무 스트레스를 감소시키기 위해선 “자율성”이 아주 중요히 다루어져야 한다는 것을 의미한다. 만일 간호사들의 직무스트레스가 그 개인의 복지에 큰 해가 되고 환자를 간호하는 데 직접적으로 관계된다면, 간호행정가는 그 조직의 직무체계를 다시 평가해서 일에 대한 새로운 설계가 필요한지를 파악해야 한다. 또한 이 연구는 직무를 다시 설계할 경우, 누구에게 먼저 촛점을 두고 시작해야 하는지를 밝혀주고 있다. 즉, 젊고 경험이 미숙한 간호사들에게 촛점을 두고 시작해야 하며, 작업환경의 가장 중요한 차원중의 하나인 사회적 지원(social support)을 조심스럽게 고려해 보아야 한다. 둘째, 간호사의 윤리적 간호행위를 높히기 위해 전문적 역할개념과 봉사적 역할개념이 재강조될 필요가 있다. 이 두 역할개념 들을 교육을 통하여 효과적으로 가르칠 필요가 있다고 본다. 이 두 개념들이 간호사의 바람직한 간호행 위에 영향을 미치는 가장 중요한 요소로 나타났기 때문이다. 또한, 본 연구결과에 따르면, 경험이 많을수록 일에 싫증을 느껴 바람직한 윤리적 간호행위가 감소되는 경향이 있었다. 따라서, 건강관리체제 (health care system) 안에서의 간호사의 역할이-전문직으로서의, 그리고 환자를 위한 옹호자로서의-학교와 임상에서 효과적으로 교육되어져야 한다고 본다. 간호사들의 역할에 대한 계속적인 교육이 학생은 물론 임상 간호사들에게도 실시되어져야 할 것이다. 미래연구의 방향을 제시해 보면 첫째로 연구의 일반화를 높히기 위해 더 많은 대상자를 포함시켜야 한다. 이는 여러 종류의 표본을 반드시 한번에 전부 포함시켜야 한다는 것을 의미하는 것이 아니고, 특정한 여러 표본들을 연속적으로 연구함으로서 이 목표를 성취할 수 있다고 생각한다. 둘째는 여러 construct들(윤리적 간호행위, 직무 스트레스, 간호 역할개념 등)에 대한 적절한 측정도구를 개발해야 한다. 측정도구를 개발하기 위해서는 풍부하고 세세한 통찰력을 제공하는 질적인 정보를 얻는 것이 선행되어야 한다. 셋째, 윤리적 간호행위와 직무 스트레스에 관한 연구를 증진시키기 위해 실험설계 및 종단적 연구(expel-imental, longitudinal design)가 시도될 필요가 있다. 마지막으로, 윤리적 간호행위와 직무 스트레스를 예견할 수 있는 이론적 탐구(theoretical exploration), 즉 이론정립을 위하여, 환경적 요소와 개인의 특성에 대한 자세한 정보를 제공해 줄 수 있는 질적 연구들이 요구된다.

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항산화제로서 비타민 C가 적출된 쥐심장에서 허혈 및 재관류후 좌심실 기능회복에 미치는 영향 (Effects of vitamin C as antioxidant on recovery of left ventricular function after ischemia and reperfusion in isolated rat heart)

  • 류한영;이철주
    • Journal of Chest Surgery
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    • 제29권6호
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    • pp.593-598
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    • 1996
  • 과거에 심근보호에 대한 많은 조사는 저온의 고칼릅 심정지액 및 국소적 냉각에 의한 방법으로는한 계가 있다는 지적이 있었다. 따라서 최근의 실험들은 재관류의 방법에 따른 허혈 후 심근회복에 대하여 촛점이 맞춰 지고 있다. 재관류 시 산소에 의한 심근손상이 밝혀 짐으로써 oxygen free radical scavenger에 대한 관심이 높아지고 있다. 따라서 본 교실에서는 쥐에게 항산화제로서 비타민 C를 먹인 후 Langendorf'r system을 이용하여 허혈 및 재관류 시 좌심실 기능의 변화를 관찰하였다 대상은 체중 190-))Og의 Sprague-Dawley쥐를 암수 구별없이 사용하였다. 편의상 비타민을 먹이지 않 은 대조군을 Group A (n=10)라 하였고 200mg의 비타민을 먹인 실험군을 Group R (n=10)라 하였다. 실 험군의 경우는 비타민 C 200mg을 경구투여한 후 24시간에 시행하였다. 방법은 언저 복강을 통해 헤파 린과 펜토탈을 주입한 후 심장을 적출하여 Langendorff system에 거치하고 비운동성 역관류를 시켰다. 관류액은 변형된 Krebs-Henseleit solution을 사용하였다. 좌심실내에 풍선을 삽입하여 polygraph를 통해 좌심실의 혈역학적 기능을 관찰하였다. 먼저 20분간 심 揚\ulcorner안정될 때까지 기다린 다음 51. Thomas심 정 지액으로 심정 지를 시킨후 30분간 허 혈시키고 다시 20분간 재관류시켰다. 각 Group에서 허혈전후의 좌심실압의 비, dp/dt의 비,박동수의 비, 재관류 후 첫 박동 및 안정될 때 까지의 시간을Group간에 비 교하였다. 좌심실압의 비는 Group A가 평균 88.9%, Group B가 114%로 실험군이 의의있게 높았으며 역시 dp/dt도 Group A가 89.6%, Group B가 1)2.9%로 실험군이 의의 있게 높았다 그러나 박동수의 비, 재관류 후 첫 박동 및 안정될 때 까지의 시간의 비교는 통계 학적 의의가 없었다. 결론적으로 항산화제로서 비타민 C는 허혈 및 재관류 시 좌심실 기능회복에 도움이 되었다. 그러나 향후 임상적 적용을 위해서는 더욱 자세하고 많은 실험 이 요구된다.

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