• 제목/요약/키워드: 초기 진공도

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3D Plasma simulation을 이용한 Cylindrical Rotating Magnetron Sputtering Cathode 개발

  • 천용환;오지영
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.179.1-179.1
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    • 2013
  • Cylindrical Rotating Magnetron Sputtering Cathode (이하 Rotary Cathode)는 기존에 사용 되던 rectangular type 보다 Target 사용 효율이 높다는 큰 이점을 가지고 있다. 높은 Target 사용 효율은 비용 절감 효과와 직접적으로 관련 된다. 이번 연구는 3D Plasma simulation(PIC-MCC)을 통한 Target 사용 효율 80% 이상의 Rotary Cathode 개발을 목적으로 한다. Plasma simulation에 External Magnetic fields를 접목하여 Electron의 이동 궤적을 제어하였고, 생성된 Ion (Ar+)의 밀도 및 속도로 Plasma의 안정성과 Erosion 계산 구간을 선정 하였다. Target Erosion Profile은 Sputtering yield Data와 Target에 충돌한 Ion 정보를 사용하여 산출 하였으며, Sputtered Particles의 Deposition Profile은 계산된 Target Erosion Profile과 The cosine law of emission을 이용하여 계산 하였다. 실험 조건은 Plasma simulation의 초기조건 바탕으로 하여 2G size의 ITO Target을 대상으로 실험 하였다. 비 Erosion 영역 최소화하기 위해 Magnet Length를 변경하여 제작 적용 하였다. Simulation 계산 시간의 제약으로 인하여 simulation에서 생성된 최대 이온 밀도는 일반적으로 알려진 값 보다 적게 계산 되었지만, Simulation으로 예측한 Erosion Profile 및 Deposition Profile은 실험 값과 유사한 형태를 나타났으며, 실험 결과는 Target 사용 효율 80%이상의 결과를 보였다.

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양전자 이용 물질의 표면 및 계면 연구

  • 김재홍
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.68-68
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    • 2010
  • 최근에 양전자의 고유 성질을 이용하여 반도체 및 도체의 표면, 계면 그리고 박막의 특성을 분석하는 기술로 소개되고 있다. 양전자는 양의 전하를 갖으며, 반물질인 전자와 쌍소멸하면서 감마선과 Auger 전자를 방출하는 특성을 이용하여 원소의 화학적 분석을 처음으로 증명하였다 (1987, UTA). 이후 도체 및 반도체의 표면 및 박막성장의 초기 성장 양상을 EAES, LEED와 상호보완적으로 활용하여 다양한 결과를 보고한 바 있다. 최근에는 기존의 양전자 이용 Auger전자 분광기의 단점을 극복하고 Time-Of-Flight(TOF) 시스템을 활용하여 향상된 성능과 Cu(100) 표면에서 얻은 전자 스펙트럼의 연구 결과를 소개하고자 한다. UTA의 TOF PAES 시스템을 이용하여 Si(100)표면에 Se 원자의 열적 안정성을 연구하였다. 1ML의 Se을 Si(100)위에 성장한 후 가열하면서 PAES의 스펙트럼을 반복적으로 취하였다. $800^{\circ}C$ 이상의 온도로 가열하는 경우 Se MVV Auger 피크는 약해지고 Si LVV 피크가 나타나기 시작했다. MgO(100) 표면과 Cu2O/ITO 시스템의 온도 안정성 결과를 보고하고 PAES의 향상된 표면 선택도 등 장점이 표면 분석 기술로서 적합함을 보고하고자 한다.

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연성 Well Point를 적용한 개별진공 침투압밀공법에 관한 해석적 연구 (The Numerical Study on Individual Vacuum Seepage Consolidation Method with Flexible Well Point)

  • 김병일;홍강한;김영선;한상재
    • 한국지반신소재학회논문집
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    • 제21권1호
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    • pp.11-21
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    • 2022
  • 본 연구에서는 개별진공압밀공법과 침투압밀공법의 단점을 보완하여 새로운 연약지반 개량공법인 개별진공 침투압밀공법을 개발하여 수치해석을 통해 지반 공학적 거동을 예측하였다. 개별진공 침투압밀공법을 적용할 경우, 대수층이 개량 대상층 중간 또는 하단에 위치하여 피압 대수층인 경우 침하 촉진 및 발생 침하량 증대 효과가 높았다. 대수층에서의 양수량은 일정 수준 이상 되면 침하 거동에 영향을 미치지 않는 것으로 나타났다. 성토체 내측이나 외측 등 다양한 위치에서 진공 양수정을 설치하여도 침하 및 수평 변위 차이는 미미하였다. 개별진공압밀과 병행하는 경우, 진공압이 적용되는 초기 침하는 진공압의 크기에 영향을 받았지만, 최종 침하량은 진공압의 영향이 미미한 것으로 예측되었다. 또한, 두 공법을 동시에 진행하는 것이 침하속도가 가장 빠르고, 내향 변위도 큰 것으로 예측하였다. 본 연구에서 개발한 공법은 매우 빠른 시점에 목표 침하량에 도달할 수 있으므로 연직배수재 배치 간격을 늘릴 수 있어 경제성을 확보할 수 있는 것으로 확인되었다.

비정질실리콘 태양전지에 대한 장시간 성능예측: 확장지수함수 모형 및 컴퓨터 모의실험 (Long-Term Performance of Amorphous Silicon Solar Cells with Stretched Exponential Defect Kinetics and AMPS-1D Simulation)

  • 박상현;유종훈
    • 한국진공학회지
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    • 제21권4호
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    • pp.219-224
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    • 2012
  • 태양광에 노출되어있는 동안 비정질실리콘 태양전지에서 일어나는 장시간 성능변화에 대해서 연구하였다. 그리고 결함밀도의 운동학 모형을 통해서 태양광으로 인한 태양전지 성능변화를 예측하였다. 특히, 전하운반자 수명이 결함밀도에 의해서 크게 영향을 받기 때문에 비정질실리콘 태양전지의 광유도 성능감소(light-induced degradation)가 확장지수함수 완화법칙(stretched-exponential relaxation)을 따르는 결함밀도에 의해서 물리적으로 설명된다. 그리고 확장지수함수 완화법칙과AMPS-1D 컴퓨터 프로그램의 모의실험에 의해서 비정질실리콘 태양전지의 광유도 성능감소를 계산했고, 모의실험의 결과를 옥외에 설치한 태양전지의 측정데이터에 비교하였다. 본 연구는 상온에서 다음과 같은 특성을 갖는 전형적인 비정질실리콘pin 태양전지에 대해서 모의실험을 진행했다: 두께${\approx}$300 nm, 내부전위${\approx}$1.05 V, 초기 결함밀도${\approx}5{\times}10^{15}cm^{-3}$, 초기 단락전류${\approx}15.8mA/cm^2$, 초기 채우기비율${\approx}0.691$, 초기 개방전압${\approx}0.865V$, 초기 변환효율${\approx}9.50%$.

축양품종 염절임 가지의 저장중의 성분 변화 (Changes in Components of Salted Eggplants (Chukyang) during Storage)

  • 남학식;김남우;신승렬
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제34권1호
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    • pp.120-125
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    • 2005
  • 본 연구는 수출용으로 재배되고 있는 축양 품종의 가지에 대하여 반응표면 분석을 통하여 최적조건으로 염절임한 축양 품종의 가지를 저장기간 및 저장방법에 따른 품질의 변화를 조사하였다. 총당 함량과 환원당 함량은 저장방법에 관계없이 저장기간이 길어질수록 조금씩 감소하였고, 침지 저장한 것보다는 진공포장하여 저장한 것이 변화가 적었다. 신선한 가지에서 분리 정량된 유기산은 acetic acid, citric acid, lactic acid, malic acid 그리고 succinic acid 총 5종이었으며 acetic acid와 malic acid의 함량이 가장 높았으며, 저장기간이 길어질수록 저장 초기에 비해 acetic acid의 함량은 증가하였는데 반해 malic acid의 함량은 감소하였다 가지의 주요한 구성아미노산은 valine, aspartic acid, glutamic acid, glycine, alanine등이었으며, 총아미노산 함량은 진공포장하여 저장한 경우에는 저장 20일째 1488.14 mg/100 g으로 생 가지보다도 증가하였는데 반해 침지하여 저장한 경우에는 총 아미노산 함량이 745.42 mg/100 g으로서 저장 초기에 비해 감소함을 나타내었다. 유리아미노산은 aspartic acid, alanine, cystine과 proline 등의 함량이 높았고, 저장 기간이 길어질수록 저장초기에 비해 유리아미노산의 함량이 증가하였는데, 특히 진공 포장하여 저장한 가지에 비해 침지 저장한 가지에서 그 함량이 높았다. 또한 아미노산 유도체의 함량주 phosphoserine, taurine, ${\gamma}$ -arnjnoisobutyric acid 및 hydroxyproline의 함량이 높았고, 저장중에 phosphoserine의 함량은 감소하였는데 반해 ${\gamma}$ -arnjnoisobutyric acid는 증가하였다.

진공 건조법에 의해 제조된 BCNU/PLGA웨이퍼의 BCNU 방출거동 (BCNU Release Behaviour from BCNU/PLGA Wafer Prepared by Vacuum Drying Method)

  • 박정수;신준현;이두희;이종문;김문석;이해방;강길선
    • 폴리머
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    • 제31권3호
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    • pp.201-205
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    • 2007
  • 폴리락타이드, 폴리글리콜라이드, 및 글리콜라이드-락타이드 공중합체(PLGA)와 같은 생분해성 고분자들은 쉬운 약물방출량 조절과 부산물독성이 없이 지지체의 완벽한 분해과 좋은 생체적합성을 갖고 있다. 그러나 PLGA는 in vitro 실험에서의 괴상침식, 과도한 초기방출 후의 방출량이 감소하는 단점을 갖고 있다. 본 연구에서 PLGA 재결정 분말은 진공건조법을 이용하여 제조하였으며 1,3-bis(2-chloroethyl)-1-nitro-sourea(BCNU, carmustine)가 함유된 PLGA 웨이퍼의 방출거동을 알아보았으며 동시에 수용성 첨가제를 넣어 약물의 방출거동을 알아보고자 하였다. 진공건조법으로 재결정한 PLGA 웨이퍼가 일반방법으로 제조한 PLGA 웨이퍼보다 수분흡수율 감소와 웨이퍼 자체 초기의 분해 속도 감소로 인하여 초기 방출량이 감소하고 지속적 방출거동을 가지는 것을 확인하였다.

Giant Magellan Telescope Fast Steering Mirror Prototype의 반사경 Cell 초기설계 및 해석

  • 박귀종;김영수;조명규;김호상;고주헌;장정균;박병곤;경재만;천무영
    • 한국우주과학회:학술대회논문집(한국우주과학회보)
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    • 한국우주과학회 2011년도 한국우주과학회보 제20권1호
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    • pp.30.3-30.3
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    • 2011
  • 한국천문연구원은 Giant Magellan Telescope Fast Steering Mirror prototype을 개발 중이고, 반사경 제작과 tip-tilt 시스템 제작을 목표로 하고 있다. 반사경은 직경이 1.06m, 두께가 약 140mm, 질량이 약 100kg인 meniscus 타입인 비축 비구면 반사경이다. Tip-tilt 시스템은 바람에 의한 반사경의 진동과 망원경의 tracking jitter를 보정하기 위한 장치로써 tip-tilt 각도가 ${\pm}20"$ 범위 내에서 약 30Hz로 작동하는 시스템이다. 반사경 cell은 반사경 뒷면에 조립되어 반사경 cell 내부에 주입되는 진공과 함께 반사경의 무게를 지지하고, tip-tilt 시스템을 작동시키는 액츄에이터가 장착되는 base structure 역할을 한다. 이 논문에서는 반사경 cell의 초기설계와 반사경 cell에 발생할 수 있는 하중 조건에 따른 응력과 변위, 반사경 cell의 두께에 따른 고유진동수를 해석한 결과들에 대해 논한다.

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포장방법이 냉장 쇠고기의 이화학적 성질 변화에 미치는 영향 (Effects of Packaging Method on Physico-chemical Properties of Korean Beef)

  • 김대곤;이신호;김수민;석영수;성삼경
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제25권6호
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    • pp.944-950
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    • 1996
  • 본 연구는 외국산 냉장쇠고기의 국내 수입에 따른 한우쇠고기의 경쟁력 제고와 저장성 증진을 위하여 한우 암소 1등급의 등심을 재료로 포장방법에 따른 냉장저장 중 이화학적 성질 변화를 조사하였다. 시료는 진공포장(포장재: polyamide/polyethylene, $50ml/\m^2.24h.$ atm)과 일반포장(포장재: polyvinylchloride, $80~320ml/\m^2.24h.atm)을$ 하였으며, 포장된 각군은 다시 형광등 조사군과 암실 보존군으로 나누었다. pH 변화는 저장 21일 동안 진공포장군의 경우 형광등 조사 여부에 관계없이 점차 감소하는 경향이었으나, 일반포장군은 점차 상승하는 경향을 보였다. VBN값은 진공포장군과 일반포장군 모두 저장기간에 따라 증가하는 경향을 나타내었으며, 진공포장군이 일반포장군에 비하여 저장 15일째 이후부터 유의하게 낮았다. TBA 값은 저장 초기에 비하여 저장 전기간 동안 진공포장군이 일반포장군에 비하여 낮게 유지되었다. 적색도에서는 진공포장군과 일반포장군 모두 저장기간에 따라 점차 감소하는 경향이었으며, 진공포장군은 일반포장군에 비하여 전저장기간 동안 높은 값을 나타내었다. 지방산 조성변화를 보면, 저장기간에 따라 포화지방산의 함량은 점차 증가하는 반면, 불포화지방산의 함량은 감소하였는데, 그 변화정도는 진공포장군이 일반포장군에 비하여 크게 낮았다. 본 연구에서 형광등 조사군과 암실 보존군간에는 이화학적 성질의 차이가 뚜렷하지 않았다.

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밀러 유리 실험 설계 및 재연 (Revival of Miller-Urey Experiment)

  • 송인옥;황기욱;김승수;이정원
    • 천문학회보
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    • 제43권2호
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    • pp.47.4-48
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    • 2018
  • 밀러-유리 실험은 1950년대 처음으로 초기 지구의 대기 방전 실험으로 아미노산을 합성한 실험이다. 생명의 기원에 대한 내용이 교과서나 책에 실릴 때마다 빠지지 않고 등장하는 실험으로, 학생들의 탐구 활동 연구주제로 실험을 설계하여 진행하였다. 실험실 설계부터 시작하여 실험 과정인 유리기구 세척, 진공 만들기, 기체주입과 방전실험을 소개한다. 실험 장치가 완성 된 후, 실험 시간 23시간 중 약 4시간 동안 방전하여 갈색 용액을 얻는데 성공하였다. 아민기와 반응하는 ninhydrin 반응에서 양성반응을 보여 아미노산 수용액임을 확인하였다.

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진공(眞空) 아크 용해(溶解)에 의한 몰리브덴 스크랩의 재활용(再活用) 및 정련(精鍊) (Recyling and refining of molybdenum scraps by vacuum arc melting)

  • 이백규;오정민;이승원;김상배;임재원
    • 자원리싸이클링
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    • 제20권5호
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    • pp.40-45
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    • 2011
  • 본 연구는 전자산업용 몰리브덴 스크랩의 재활용을 위하여 수소 첨가 아르곤(Ar-H$_2$) 분위기의 진공 아크 용해(VAM)에 의한 정련 효과를 조사하였고 정련된 몰리브덴의 극미량 불순물은 글로방전 질량분석기(GDMS)를 이용하여 분석하였다. 텅스텐을 제외한 몰리브덴 내 대부분의 불순물은 Ar-H$_2$ VAM의 의하여 수 ppm 수준으로 제거되어 초기 몰리브덴 스크랩의 순도인 3N(99.95%)급에서 4N(99.995%)급으로 향상되었다. 또한 몰리브덴 내 가스 불순물인 C, N, O의 경우 초기 1290 ppm에서 Ar-H$_2$ VAM에 의해 132 ppm으로 감소함을 확인하였다. 따라서 본 연구는 플라즈마 및 전자빔 용해에 비해 경제적인 용해법인 진공 아크 용해에 의해 몰리브덴 스크랩의 재활용 가능성 및 정련효과를 확인할 수 있었다.