• 제목/요약/키워드: 집적도

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리소그래피와 광학계 (Optical Systems in Lithography Tool)

  • 곽창수;정해빈
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2001년도 제12회 정기총회 및 01년도 동계학술발표회
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    • pp.76-77
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    • 2001
  • 리소그래피 공정은 반도체 공정에 있어서 그 선폭과 집적도를 결정짓는 핵심 공정이다 이러한 리소그래피 공정 중 만들고자 하는 패턴을 사진전사에 의해서 형성해주는 도구인 노광장비는 광학계, 스테이지계, 제어계로 구성되는 데, 여기에서는 이 중에서 광학계를 중심으로 노광장비를 설명한다. 노광장비의 기본적인 형태는 그 사용되는 광학계에 파라서 결정되는데, 크게 나누어서 밀착 노광 방식과 투영 노광 방식이 있다. (중략)

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GaAs DIC 기술동향

  • 김동구;박형무
    • 전자통신동향분석
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    • 제3권4호
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    • pp.114-130
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    • 1988
  • 본 고에서는 GaAs DIC (Digital Integrated Circuits)의 최근 연구경향을 공정기술을 중심으로 소개한다. GaAs DIC의 역사, 공정, 설계, 집적도에 대하여 살펴봄으로써 초고속 GaAs DIC 개발의 향후 방향을 모색하고자 한다. 본 고는 1987년 SPIE지에 게재된 일본 NTT연구소의 Hirayama와 Ikegami의 논문 내용을 중심으로 편역한 것이다.

반도체제조의 생산성 제고를 위한 반도체 공정 주변기술

  • 이용일;배남진
    • 전자통신동향분석
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    • 제3권1호
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    • pp.53-64
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    • 1988
  • 소자의 집적도가 향상됨에 따라 공정조건 제어의 중요성이 부각되고 있다. 따라서 제조환경의 엄격한 제어가 요구되고, 사용되는 화학약품 및 탈이온수의 순도가 중요해지고 있다. 즉, 반도체 제조공정의 주변기술에 대한 중요성이 높아지는 추세이다. 본고에서는 이러한 주변기술의 발전동향에 대해 간략하게 기술하였다.

시설원예와 연작 장해 (2) 병충해와 염류집적 예방대책 - 연작으로도 다수확할 수 있다 - 합리적 대책 바탕위에 적극적 실천따라야

  • 최주성
    • 농약과 식물보호
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    • 제13권2호통권107호
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    • pp.65-73
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    • 1992
  • 결론적으로 하우스의 연작장해 대책은 유기물 증시를 포함한 합리적인 비배관리를 바탕으로 논밭 돌려짓기등 윤작과 심경, 침수 등으로 염류 집적을 예방하는 동시에 적절한 수분관리와 석회시용, 접목재배 그리고 태양열소독, 약제소독등 보다 적극적인 토양소독 등의 근본적이고도 복합적인 병충해 방제대책을 수립, 실천하는 것이다.

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DRAM의 한계

  • 박영준
    • 전기의세계
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    • 제38권4호
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    • pp.36-45
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    • 1989
  • 보 소고에서는 1T cell을 이용한 DRAM 집적도의 향상에 따른 몇가지의 한계요인을 생각해 보았다. 특별한 물질의 획기적 방법이 없는한, Cell의 수직대 수평 Aspect Ratio가 2이상 되고, 스위칭 소자의 채널 도평이 5 * $10^{17}$/$cm^{3}$ 이상이 되는 64M DRAM에 필요한 최소 선폭은 0.3-0.4.mu.m정도로 예측되는데 실제로 최소 선폭에 관한한 한계는 이보다 훨씬 더 작아질 것이다.다.

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반도체 소자의 논리결함검출을 위한 pattern generator 회로설계에 관한 연구

  • 노영동;김준식
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 춘계학술대회 발표 논문집
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    • pp.55-58
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    • 2003
  • 반도체 소자의 집적도의 발전에 따라 생산과정에서의 기능적인 오류 검사 소요시간이 증가하게 되어 비용절감에 커다란 장애 요인이 되고 있다. 이러한 문제점을 효과적으로 처리하기 위하여 일괄적인 패턴과 어드레스를 발생시키는 pattern generator를 연구하였다.

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수용성염이 석조문화재 표면 박리현상에 미치는 영향 (Influence of the Soluble Salt on the Exfoliation of the Stone Monument)

  • 도진영;임권웅
    • 보존과학회지
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    • 제22권
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    • pp.121-134
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    • 2008
  • 석조문화재에서 나타나는 박리현상의 발생메커니즘과 염수용액에 의한 화학적 풍화와 관련된 그 원인을 연구하였다. 박리편에 대하여 화학적, 광물학적, 물리적 분석을 수행하여 함유하고 있는 대표적인 염이 석고임을 밝혔다. 염의 작용을 이해하기 위하여 석고와 더불어 용해도가 상이한 황산나트륨을 공극율이 다른 응회암과 화강암에 처리하였다. $Na_2SO_4$ 처리와 인공풍화를 거친 암석시료들의 모세관물흡수율은 약간 증가하였는데 이는 이 염에 의해 암석의 표면가까이에만 변화가 있었음을 의미한다. Na2SO4는 암석의 표면공극내에서 결정화가 일어나 수화압과 결정압을 발생하여 얇은 박리를 형성하는 것으로 보인다. $CaSO_4{\cdot}2H_2O$는 상대적으로 암석의 내부로 깊이까지 들어가서 집적되므로 집적되는 양이 $Na_2SO_4$ 보다 더 많고, 표면에 집적되는 양보다 내부에 집적되는 양이 많아 물흡수량이 증가하는 결과를 보이는 것이며, 이러한 성질로 인하여 암석에 두꺼운 박리가 야기될 것으로 판단된다. 암석종에 따른 변화에서는 응회암의 경우, 큰 공극율과 높은 모세관물흡수율로 인하여 암석 내부의 깊이까지 들어가서 염이 집적하게 되므로 화강암에 비해 염집적율이 더 크고, 이에 따른 물흡수율이 커서 화강암에 비해 두꺼운 박리현상이 나타날 것으로 보인다. 이에 비해 공극율과 모세관물흡수율이 낮은 화강암에서는 표면부위에서 집중적으로 염의 집적이 일어나서 얇은 박리가 발생하는 것으로 판단된다.

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집적 영상 시스템을 위한 향상된 이미지 매핑 방법 (Enhanced Image Mapping Method for Computer-Generated Integral Imaging System)

  • 이빛나라;조용주;박경신;민성욱
    • 정보처리학회논문지B
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    • 제13B권3호
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    • pp.295-300
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    • 2006
  • 집적 영상(Integral Imaging) 시스템은 사용자가 특수 안경을 착용하지 않고 3차원 입체영상을 볼 수 있도록 해주는 무안경식 양안시차 디스플레이 방식 중 한가지이다. 집적 영상 시스템은 3차원 정보를 조금씩 다른 방향에서 제한된 크기로 촬영된 이미지인 기초영상(Elemental Image)의 형태로 저장한다. 그리고 이런 이미지들을 다시 렌즈 어레이를 통해서 보여주어 사용자들로 하여금 3차원 정보를 얻을 수 있도록 한다. 이런 기초영상은 컴퓨터 그래픽을 이용해서 만들어낼 수도 있는데 이런 집적 영상 방식을 CG(Computer Generated) 집적 영상 시스템이라고 한다. 그리고 컴퓨터를 이용해 기초영상을 만드는 과정을 이미지 매핑(Image Mapping)이라고 한다. 이제까지 제안된 이미지 매핑 방식에는 PRR(Point Retracing Rendering), MVR(Multi-Viewpoint Rendering), PGR(Parallel Group Rendering) 등이 있다. 그러나 이런 방식들은 계산양이 많거나 렌즈 어레이 개수의 증가에 의해 생성 속도에 영향을 받는 단점이 있어, 아직 가상현실 같은 실시간 CG(Computer Graphics) 응용 분야에서 사용하기 어려운 문제가 있다. 따라서 본 논문에서는 기존의 방법에 비해 속도 향상을 이룬 VVR(Viewpoint Vector Rendering)이라는 향상된 이미지 매핑 방법을 제안한다. 먼저 VVR 개념을 설명한 후 VVR을 사용한 집적 영상 시스템을 구현하여 MVR 방법과 비교 분석한 실험결과와 추후 개선되어야 할 방향을 제시한다.