Si 기판 위에 증착된 Al 박막을 질소 ECR 플라즈마에 노출시켜 시료를 제작하고 분광타원해석법으로 분석한 결과 Al박막에 질화층이 형성되었음을 확인하였다. 사용한 질소 ECR 플라즈마의 전자온도와 전자밀도는 챔버내의 위치에 따라 각각 10~20eV, 0.9~1.2$\times$1011/㎤의 값을 보였다. 질소 ECR 플라즈마에 노출된 기판은 급격한 온도상승을 보였으며 노출시킨 뒤 5~6분이 지나면 $500^{\circ}C$ 근처에서 포화상태를 이루었다. 분광타원해석상수인 $\Delta$와 Ψ를 분석한 결과 증착된 Al의 두께는 시료에 따라 $140~160AA$이었고 표면에 형성된 AIN 층의 두께는 질소 ECR 플라즈마에 노출된 시간이 길수록 그리고 시료의 위치가 공명지점에 가까울수록 증가하였다. AlN층의 두께가 노출시간의 제곱근에 비례하는 것으로부터 AlN층은 Al의 표면에 흡착된 질소가 Al속으로 확산하여 이루어진 것으로 설명하였다.
Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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1996.05c
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pp.59-64
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1996
316L강에 질소를 첨가한 경우의 동적변형시효의 영향을 조사하기 위하여 질소량을 0.011~0.151%까지 변화시킨 시편을 1$\times$$10^{-2}$/sec, 2$\times$$10^{-3}$/sec, 2$\times$$10^{-4}$/sec의 변형속도로 상온~1023 K의 범위에서 인장시험을 수행하였다. 질소를 첨가하면 동적변형시효가 발생되는 구간이 고온쪽으로 이동하였다. 변형속도가 2$\times$$10^{-3}$/sec일때 동적변형시효가 발생되는 임계변형은 773 K에서는 질소량에 따라서 증가하는 경향을 나타내었다. 873 K에서는 임계변형은 질소량에 따라 거의 일정한 값을 나타내었지만 B형태에서 A형태로 전이되는 변형량은 질소량이 0.1%까지는 증가하다가 그 이후로는 거의 일정하게 되었다. 동적변형시효를 위한 활성화에너지를 구해본 결과 저온영역에서는 23.4~26.24 kcal/mol이고 고온영역에서는 65~76.6 kcal/mol이었다. 이 값을 여러 연구자들의 결과와 비교해 볼때 동적변형시효를 일으키는 원소는 공공과 Cr이고, 질소를 첨가하면 질소가 Cr과 상호작용을 하여 Cr의 이동을 느리게 함으로써 동적변형시효를 지연시켰다.
질소비료 3수준(0,350,700kg N-ha-1year-1) 및 예초간격 3수준( 10,20,30일 간격)하에서 이 요인들이 식물체 각부위(엽, 엽초를 포함한 차, 포복경 및 근)내, N,P,k,Ca,Mg 및 가용성 탄수화물함량에 여하히 영행을 미치는가게 대해서 1983년 6월부터 10일 까지 대전 배재대학실험포장에서 조성한지 3년 지난 한국잔디를 대상으로 실험하였던 바 결과는 다음과 같다. 1. 질소 증시한 결과 식물체 각부위내 N함량은 증가하였다. 특히 N성분은 엽부위에 다량으로 집적 되어 있어 저장양분으로서의 역할을 하지못하는 것으로 사료되었다. 2. 질소비료에 대한 P성분의 반응은 식물체부위에 따라 변화가 심하게 나타났는데 엽부위로서는 P함량이 감소한 반면, 경 및 포복경에서는 예초간격이 30일에서 10일로 단축되었을 때 한하여 증가하는 양상 을 보였다. 3. K 함량은 질소를 증랭시용할때 엽과 경부위에 특히 많이 축적되었으며 근부위에서는 질소시용이 오히려 K함량을 감소시키는 요인으로 작용하였다. 그러나 N과 K함량간에는 지상부위와 포복경에서 정의 상관관계가 인정되었다. 4. Ca 함량은 엽과 경부위에서 예초간격을 짧게 하였을때 질소시용에 따른 부의 반응을 보였다.5. Mg 함량은 질소나 예초간격에 거의 영향을 받지 않았다. 6. 가용성 탄수화물함량은 질소시용량이 증가함에 따라 비례적으로 감소하였다. 그러나 예초간격의 영향은 경부위를 제외한 각부위에서 나타나지 않았다. 7. 영양성분에 대한 예초간격의 효과는 질소만큼 크지 않았으나 질소시용과 함께 나타난 유의적 변화는 부위별로 각각 다르게 표현되었다. 즉 N함량은 예초간격을 단축하였을 때 엽 및 경부위에서만 증가되었고 Ca 함량은 30일간격으로 연장할때만 증가되는 경향이었다. 한편 K 및 Mg함량은 예초간격에 의해 영향을 받지 않거나 변동이 심한 상황으로 나타났다.
Anaerobic digester supernatant including high concentrations of nitrogen is recycled to water treatment line and make pollutant load increase in municipal wastewater treatment plant(MWTP). To treat nitrogen in anaerobic digester supernatant is suggested the method of MWTP retrofit. In this study, the lab scale reactor was operated about 200 days using supernatant of anaerobic digester. The results could draw operation condition that ammonium nitrogen removal efficiency more than 90% and nitrite conversion efficiency over 70%. Correlation between operation efficiency and operation factors was analyzed based on the operation results. Ammonium nitrogen remove efficiency and nitrite conversion efficiency were related to solid retention time (SRT), ammonium nitrogen load and ammonium nitrogen loading per unit mixed liquer suspended solid (MLSS). Results of this study can be used effective data on nitritation of supernatant of anaerobic digester, and be expected to increase availability of nitritation.
Proceedings of the Korean Society of Soil and Groundwater Environment Conference
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2004.04a
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pp.434-437
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2004
본 반층벽체 적용지역의 경우, 침출수의 영향으로 암모니아성 질소의 농도가 최대 29.12mg/L까지 검출되고 있으며 반응물질은 암모니아성 질소제거에 적합한 제올라이트를 선정하였다. 투수성 및 다짐강도를 고려하여 왕사와 50:50의 비율로 혼합, 적용하였으며 지하수 평균유속은 0.0864m/d이고 평균지하수위는 원지반 기준 - 4.0m의 분포를 나타내었다. 지질조사 결과, 적용구간의 지질구조는 매립층, 풍화토, 풍차암, 연암의 순서로 분포하고 있으며, 반응벽체의 설계깊이는 현장 시추조사 결과를 바탕으로 지하수의 Under-pass를 방지하기 위하여 연암층 50cm까지 관입시키도록 설계하였다. 최종적으로 선정된 반응벽체의 규모는 35m(길이) $\times$ 1.2m(두께) $\times$ 8.5 ~ 9.42m(구간별 깊이)로 설계에 반영되었다. 현재, 지하수감시정을 이용한 모니터링 결과, 상부지하수 감시정에서의 오염원은 우기의 영향으로 간헐적으로 발생하고 있으나 하부 지하수 감시정에서의 암모니아성 질소농도는 불검출 되거나 0.5 mg/L 이하로 유지되고 있다.
게이트 산화막의 breakdown 전압을 나추기 위해 질소 주입을 하는 과정은 실리콘층에 패드 산화막을 성장시킨 후 실리콘과 패드 산화막 층사이에 질소 이온을 주입하였다. 이온 주입 후 패드 산화막 층을 제거하고 그 위에 게이트 산화막 층을 성장시키는 방법을 사용하였다. 이러한 방법을 질소 이온의 농도를 변화시키면서 여러번 반복하였다 그래서 질소 이온 농도의 변화에 따른 게이트 산화막 두께의 변화를 측정하였다. 그 결과 질소 농도이 따른 게이트 산화막 성장비율을 알아 보았다. 그리고 질소 농도의 변화에 따른 Breakdown 전압과 누설 전류의 변화를 측정하였다. 또한 앞에서 말한 질소 주입 공정이 들어가면서 추가적으로 발생하는 과정에 대해 고찰하였다.
Choe, Yeong-Cheol;Han, Yeong-Jae;Jeon, Ho-Jin;Kim, Min
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2016.02a
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pp.316.1-316.1
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2016
지구 온난화로 인한 기후변화 현상이 점차 가시화 되고 있는 가운데 탄산가스를 비롯한 온실가스의 배출을 저감하기 위한 연구개발 노력과 관심이 고조되고 있다. 지구 대기층이 가지는 이러한 온실효과는 산업화 경향이 두드러지면서 화석에너지의 사용 증대 등 인위적 요인들에 의해 많이 증가하게 되었다. 온실가스 중에서 산화이질소(N2O)는 이산화탄소(CO2)와 메탄(CH4) 다음으로 많이 배출되는 성분이며 지구온난화 효과는 이산화탄소 분자의 310배에 달한다. 본 연구에서는 반도체 미세 패터닝(Pattering)에 게이트 산화막의 두께가 점차 얇아짐에 따라 발생하는 문제점을 해결하고 특성을 향상시키기 위해 사용되는 질화산화막(SiON)을 증착 시, 기존 산화이질소(N2O) 대신 산화질소(NO)를 사용하여 대체 가능 여부를 평가하고자 하였다. 본 연구에서는 산화질소(NO) 사용량의 변화를 통하여 FT-IR 및 Refractive Index 측정하면서 기존 산화이질소(N2O)를 이용하여 구현된 질화산화막 막질과 결과를 비교하였고, 질화산화막 증착율 및 파티클 발생 수준을 비교하였다.
Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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v.33
no.2
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pp.103-112
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2011
The main objective of this research was to estimate Nitrogen budget of South Korea in 2008. Input-output budgets for nitrogen fluxes were categorized into three sections: cities, agricultural area, and forest. Chemical and biological fixation, dry and wet deposition, imported food and feed were used as the nitrogen input. Crop uptake, volatilization, denitrification, leaching, runoff, and forest consumption were used as the nitrogen outputs. Annual total nitrogen input was 1,294,155 ton/yr, and output was 632,228 ton/yr. Comparison with a previous research in 2005 indicates that nitrogen input was decreased by 1.9% due to the decrease in nitrogen fertilizer while nitrogen output was decreased by 6.3%. Non-point source (NPS) pollution was also estimated by mass balance approach, which increased by 22% than the previous research in 2005. The emission of nitrous oxide ($N_2O$) caused by denitrification was newly examined in this research. About 8,289 ton/yr of $N_2O$ was released from agriculture area and domestic wastewater treatment plant.
The purpose of this study is to improve the system for biological nitrogen oxidizing process in sewage and wastewater. A bacterium having high abilities to oxidize of nitrogen was one of the possessed on Lab. The strain was identified to Bacillus sp. A8-8, based on the physiological and biochemical properties. And the strain has ability degradation crude oil. In comparison with oxidizing rates with changing initial pH and temperature, the strain Bacillus sp. A8-8 was nitrogen oxidizing ability and growth rate on the various of pH, temperature. oxidizing rates of the strain in sewage and wastewater were about 48% and 62%, respectively. The nitrogen oxidizing rate was increased in proportion to the initial concentration of glucose. The microorganism, Bacillus sp. A8-8, immobilized in ceramic carrier were evaluated for the oxidation of ammonia in culture media.
Abstract: In order to improve the system for biological nitrogen oxidizing process in sewage and wastewater, a bacterium having high abilities to oxidize of nitrogen was isolated from wastewater and polluted soils. The strain was identified to Bacillus sp. CH-N, based on the physiological and biochemical properties. Characteristics and oxidizing ability of both ammonia and nitrite were examined for the strain, Bacillus sp. CH-N. The strain showed the oxidizing rate about 80% to 90% on the sewage and wastewater after 48 h culture. The nitrogen oxidizing rate was increased in proportion to the initial concentration of glucose. The microorganism, Bacillus sp. CH-N cell immobilized on ceramic carrier were evaluated for the oxidation of ammonia in culture media.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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