• 제목/요약/키워드: 질소분해율

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Phanerochaete chrysosporium PSBL-1 생물막을 이용한 오.폐수 처리 및 부착특성 (Treatment and Attachment Characteristics of Biofilm of Phanerochaete chrysosporium PSBL-1 in Wastewater)

  • 이순영;강기철;원찬희
    • 대한환경공학회지
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    • 제30권3호
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    • pp.271-277
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    • 2008
  • 난분해성물질 함유폐수에 대해 유지관리가 용이하며 저비용-저에너지 고효율적인 새로운 수 처리 방식인 대기노출형 백색부후균 생물막 공법을 적용하기 위한 기초실험을 실시하였다. 먼저 난분해성물질을 함유한 오 폐수 처리에 가장 효율적인 백색부후균 종을 선정하기 위해 백색부후균 3종 및 활성슬러지에 대한 처리특성을 조사하였으며, 선정된 백색부후균 P. chrysosporium PSBL-1에 대해서 HBC링 여재에 대한 부착 및 탈착특성을 조사하였다. 백색부후균 3종(P. chrysosporium PSBL-1, P. chrysosporium KCTC 6147, Trametes sp. KFCC 10941)의 pH에 따른 처리특성을 조사한 결과 NBDCOD 제거율은 P. chrysosporium PSBL-1과 P. chrysosporium 6147가 pH 3.5$\sim$5.5에서 각각 51$\sim$59.8%, 57.5$\sim$60.3%로 비슷한 결과를 나타냈으나, TN 제거율은 pH 4.5$\sim$11.5에서 각각 39.3$\sim$85.3%, 3.4$\sim$7.6%로 현저한 차이를 나타내고 있다. 유기물 및 질소 동시제거 특성을 고려하여 백색부후균 P. chrysosporium PSBL-1을 선정하였다. 백색부후균 P. chrysosporium PSBL-1은 부유상태의 초기농도 4,600 mg/L에서 HBC링 여재 부착시작 5분후 pH 4, 7, 10에서 각각 4,538 mg/L, 4,546 mg/L, 4,531 mg/L, 10분 후 4,575 mg/L, 4,573 mg/L, 4,568 mg/L로 5분 이후에는 미생물 부착이 거의 되지 않았다. HBC링 여재에 부착된 P. chrysosporium PSBL-1을 10일 동안 1일 간격으로 탈착량을 조사한 결과 탈착량은 거의 미미하였다.

숙성기간에 따른 까나리액젓의 성분변화 (Changes of Components in Salt-fermented Northern Sand Lance, Ammodytes personatus Sauce during Fermentation)

  • 조영제;임영선;이근우;김건배;최영준
    • 한국수산과학회지
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    • 제32권6호
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    • pp.693-698
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    • 1999
  • 재래식방법으로 까나리액젓 숙성 중에 성분변화를 실험하기 위하여 안면도산 까나리를 구입하여 일광(日光)하 ($25{\pm}5^{\circ}C$)에서 8개월 동안 숙성시키면서 2$\~$3개월 간격으로 성분변화를 조사하였다. 까나리육의 가수분해도는 숙성 6개월까지는 $71.5\%$로 큰 폭으로 증가하였으나, 그 이후에는 분해속도가 둔화되어 숙성 18개월 후의 가수분해도는 $83.2\%$이었다. 수분함량은 숙성기간에 따라서 약간씩 감소하는 반면, 조단백질함량과 VBN함량은 증가하였으며, 회분함량과 pH 및 염분함량은 숙성기간에 따라서 큰 변화가 없었다. 총질소함량은 숙성 8개월까지는 그 이후에는 증가속도 가둔화되어 후에는 숙성 18개월 후에는 1,825mg/100ml이었다. 아미노산성질소함량은 총질소함량보다 증가속도가 더 큰 것으로 나타났는데, 이것은 육의 단백질이 액화되어 액젓으로 이행되는 속도보다 저분자펩티드 및 아미노산이 생성되는 속도가 더 빠르기 때문으로 생각된다. 액젓 중의 ATP 관련물질은 ATP$\~$IMP는 극미량, HxR는 약간 검출되었고, 거의 대부분 ($83.1\~92.9\%$)이 Hx과 산이었다. ATP 관련물질 총량의 증가는 주로 요산량의 증가에 의한 것이며, 숙성기간에 따라서 일정하게 증가하였다. 숙성 8개월 전까지는 HxR+Hx 함량이 요산량보다 높았다가, 그 이후에는 요산량이 HxR+Hx 함량보다 높게 나타났으며, HxR+Hx 함량과 요산량이 교차하는 숙성 8개월 부근은 가수분해도 $74.7\%$, 가용화율 $86.4\%$로 나타나 높은 분해율을 보이는 지점이었고, 맛과 냄새면에서도 좋은 것으로 나타났다. 색도는 숙성기간에 따라서 a값, E값 및 분광광도계 453 nm에서 측정한 흡광도는 증가하였고, L값 및 b값은 감소하였다. 까나리육의 총아미노산함량은 19,741mg/100ml로 나타났으며, 조성은 cystine이 $15.50\%$로 가장 높았고, 다음이 Iysine ($10.23\%$), aspartic acid ($10.06\%$), valine ($8.75\%$), glutamic acid($7.34\%$), leucine($7.23\%$) 등의 순이었다. 18개월간 숙성시킨 까나리액젓의 유리아미노산 총량은 7,911.3mg/100ml로 원료육의 총아미노산함량의 약 $40\%$정도였으며, 조성비는 glutamic acid가 $15.23\%$로 가장 많았고, 다음이 alanine($12.61\%$), lysine ($10.11\%$), leucine ($7.90\%$), isoleucine ($7.18\%$ ), valine ($6.99\%$), aspartic acid($6.70\%$) 등의 순으로 나타나, 원료육의 아미노산 조성과 큰 차이를 보였다.

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한강기수역에서의 암모늄 제거율 변화 및 질산화의 잠재적 역할 (Variations in Ammonium Removal Rate with Tidal State in the Macrotidal Han River Estuary: Potential Role of Nitrification)

  • 현정호;정경호;박용철;최중기
    • 한국해양학회지:바다
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    • 제4권1호
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    • pp.33-39
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    • 1999
  • 부영양화된 한강기수역에서의 용존산소 및 $NH_4{^+}$ 제거에 있어 조석의 영향 및 질산화의 중요성을 이해하고자 1995년 7월에 강화도 남단에서 만조, 중조 및 소조 시에 해수시료를 채취하였다. 수온과 DO를 제외한 하계 한강기수역의 생물, 화학적 환경을 결정짓는 요인들이 담수의 유입과 수역 내의 심한 조석 변화에 의해 조절되는 것으로 나타났다. 조석상태에 따른 용존산소 및 $NH_4{^+}$ 의 제거율은 만조 시 각각 2.76 ${\mu}M\;O_2\;d^{-1}$ 및 1.76 ${\mu}M\;N\;d^{-1}$이며, 간조 시 각각 5.66 ${\mu}M\;O_2\;d^{-1}$ 및 3.36 ${\mu}M\;N\;d^{-1}$로 최대로 나타나 간조 시 담수와 함께 유입되는 다량의 각종 유기물 및 무기영양염에 대한 미생물의 분해 및 흡수가 활발히 진행되고 있음을 알 수 있다. $NH_4{^+}$-질산화는 간조 시 총 DO 소모량의 약 24%를 차지하며 $NH_4{^+}$-질산화에 의한 $NH_4{^+}$의 회전율도 0.18 $d^{-1}$로 만조 때에 비해 각각 3.7배 및 3배 높게 나타나, 담수성 $NH_4{^+}$-질산화 박테리아가 간조 시 한강기수역으로 유입되면서 DO 및 $NH_4{^+}$의 소모에 중요한 역할을 담당하고 있는 것으로 사료된다. 만조 시 $NH_4{^+}$ 감소율 및 $NH_4{^+}$-질산화가 낮은 것은 염분증가에 따른 담수성 $NH_4{^+}$-질산화 박테리아의 활성이 위축되어 나타난 결과로 보이며, 이상의 결과들은 한강기수역에서 $NH_4{^+}$의 효율적인 생물학적 제거를 위해서는 $NH_4{^+}$를 포함하는 각종 오 폐수가 기수역으로 유입되기 이전에 처리됨이 바람직함을 의미한다. 향후 한강기수역과 같은 대규모 담수의 유입이 일어나는 부영양화된 기수역에서 질소계 원소의 순환을 보다 잘 이해하기 위해서는 $NH_4{^+}$$N0_2{^-}$를 유일한 화학에너지원으로 이용하는 자가영양 질산화 박테리아에 대한 생태적 연구가 병행되어야 한다.

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마이크로버블과 환원제를 이용한 습식 NO 및 SO2의 동시제거 (Simultaneous Removal of NO and SO2 using Microbubble and Reducing Agent)

  • 송동훈;강조홍;박현식;송호준;정용철
    • 청정기술
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    • 제27권4호
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    • pp.341-349
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    • 2021
  • 연소시설에서는 화석연료에 포함된 질소와 황이 산소와 반응하여 대기 오염물질인 질소산화물(NOX)과 황산화물(SOX)을 발생시킨다. 인체에 유해하고 환경 오염을 야기하는 NOX, SOX를 저감하기 위해 전세계적으로 환경규제를 시행 중이며, 규제를 충족하기 위해 다양한 기술들을 적용하고 있다. 상용화된 NOX 및 SOX 저감방식들로 SCR (selective catalytic reduction), SNCR (selective non-catalytic reduction), WFGD (wet flue gas desulfurization) 등이 있으나 이 방식들의 단점들 때문에 NOX, SOX를 동시제거하는 연구가 근래 많이 수행되고 있다. 그러나 NOX, SOX 동시 제거 방식에서도 산화제 및 흡수제로 인한 폐수 발생에 대한 문제점, 특정 산화제를 활성화 하기 위한 촉매 및 전기분해 사용에 따른 비용 발생, 마지막으로 기체 산화제들 자체 유해성의 문제점을 가지고 있다. 따라서 본 연구에서는 NOX, SOX 동시처리 방식의 단점들을 보완하고자 고압분산기에서 생성된 마이크로버블과 환원제를 이용하여 비용절감 및 폐수처리 시 환경부하저감 가능성을 확인해 하고자 하였다. 분산기가 마이크로버블을 생성하는 것을 이미지 프로세싱과 ESR (electron spin resonance) 분석을 통해 확인하였으며, 마이크로버블만을 이용하여 온도에 따른 NOX, SOX 제거율 성능 테스트도 진행하였다. 뿐만 아니라 폐수를 저감하기 위해 환원제와 마이크로버블을 이용하여 습식으로 NOX 제거율 약 75%, SOX 제거율 99%를 달성하였다. 본 마이크로버블 시스템에 산화제를 함께 투여할 경우 NOX, SOX제거율 모두 99%이상을 달성 하였다. 이러한 연구 결과를 토대로 습식산화제거방식을 적용하는 시설의 단점이었던 비용 및 환경 문제를 해결함에 기여할 수 있을 것으로 기대 된다.

액화셀룰로오스의 제조 및 GC-MS에 의한 그 성분 분석 (Preparation of Liquefied Cellulose and Analysis of Its Components by GC-MS Spectrometry)

  • 조국란;황병호;공영토;도금현
    • 임산에너지
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    • 제19권2호
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    • pp.86-92
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    • 2000
  • α-Cellulose를 페놀 및 황산과 1: 6.2 : 0.05(g/g㎖)의 비율로 혼합하여 질소기류 하에서 180℃에서 60분의 액화 처리한 후 변호된 셀룰로오스의 성분분석을 GC-MS에 의하여 실시한 결과는 다음과 같다. 셀룰로오스의 액화율이 98.8%로 높은 것으로 보아 상당히 저분자화 된 것을 알 수 있었다. 셀룰로오스 액화물 중의 13.6%인 페놀함유량은 용매로 투입된 페놀의 양보다 매우 적은데 이는 액화 생성된 화합물의 구조 중에 hydroxyphenly기나 phenyl기가 존재하는 것에서 셀룰로오스는 액화시 산 촉매에 의하여 C-C, C-O 결합의 일부 개열함과 동시에 페놀과 반응하기 때문이라 판단된다. 약 54%인 12개 셀룰로오스 액화물의 구조를 분석하였으며, 그 중 양적으로 많은 양이 검출된 물질은 phenol핵이 주종을 이루는 2,2\`-methylenebisphenol, 4,4\`-methylene-bisphenol, 3-methyl-4-hydroxyphenyl-2\`-hydroxyphenylmethane, 1-methoxy-4-(2-phenylethenyl) benzene, (e)-2,4\` dihydroxystilbene, 1-phenyl-1-(4\`-hydroxy) phenyl methanol, p-isopropylphenol 등이 검출되었다. 황산 촉매에 의하여 셀룰로오스는 액화과정에서 탈수반응 후 열분해 되어 셀룰로오스링이 끊어져 생성된 중간체들이 용매인 phenol과 치넌자 치환반응을 일으켜 phenol 화합물들을 많이 생성한다고 판단된다.

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주정오니를 활용한 수중의 카드뮴(Cd) 흡착 특성 (Adsorption Characteristics of Cadmium ions from Aqueous Solution using by-product of Brewing)

  • 김민수;함광준;옥용식;강선홍
    • 한국환경농학회지
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    • 제29권2호
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    • pp.152-158
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    • 2010
  • 본 연구는 맥주제조공장에서 발생하는 주정오니의 영양염류 용출특성 및 폐수중 존재하는 카드뮴(Cd)이온에 대한 흡착특성을 알아보고 이를 통하여 생물흡착제의 적용가능성을 알아보기 위하여 수행하였다. 흡착실험에 사용된 흡착제는 회화를 하지 않은 원시료(M-Raw)와 $300^{\circ}C$, $400^{\circ}C$, $500^{\circ}C$로 회화된 시료를 준비하여 증류수를 이용하여 용출실험을 하였으며 그 결과 원시료(M-Raw)의 경우 수중에 용출된 인 질소의 양은 $400^{\circ}C$로 회화시킨 시료(M-400)에 비해 각각 7배, 11배 이상의 용출량을 나타내었으며 이는 회화로 인하여 시료를 구성하고 있는 관능기가 대기중으로 방출되어 수중에 용출되는 양이 감소한 결과로 생각된다. TGA를 이용한 회화 실험결과 $260^{\circ}C\sim380^{\circ}C$범위에서는 급격한 무게감량이 일어 났으며, $380^{\circ}C$ 이후에는 완만한 무게감량이 일어나는 것을 볼 수 있는데 이는 생물흡착제를 구성하고 있는 성분들(cellulose, hemicellulose, lignin)의 서로 다른 분해온도로 인한 결과 로 생각된다. 또한, 회화 전 후의 표면변화를 관찰한 결과 회화를 거치지 않은 시료는 표면이 거칠고 불순물이 존재하는 반면, 회화를 끝낸 시료의 경우 표면의 불순물이 제거되고, 동시에 표면의 갈라짐을 관찰할 수 있었다. 회화 전 후의 생물흡착제 표면변화 및 특성을 알아보기 위하여 미세영상장비와 FT-IR을 사용한 결과, 회화온도가 올라갈수록 흡착제표면의 갈라짐이 관찰되었으며 관능기의 개수는 점차로 줄어드는 결과를 나타내었다. 회화 전 후 시료의 FT-IR 분석결과 회화전 시료의 경우 3300 $cm^{-1}$ 부근에서 hydroxyl group 이 나타났으며 1080~1730 $cm^{-1}$ 범위에서는 여려종류의 관능기를 관찰할 수 있었다. 회화 전 1600~1080 $cm^{-1}$ 부근에서 관찰된 primary amine, secondary amine, aliphatic nitro compounds, aromatic phosphate 등의 작용기는 회화 온도가 증가할수록 spectrum이 점차로 줄어드는 결과를 나타내었다. 중금속 흡착 실험결과 본 실험에서 사용된 생물흡착제의 카드뮴이온 제거율은 농도위 20 mg/L 이하에서 60~91%로 나타났으며, 흡착 평형을 이루는 시간은 3시간이 소요되었다. 실험결과를 Freundlich 및 Langmuir 모델에 적용시킨 결과 Langmuir 모델에 더 잘 부합되는 결과를 나타내었으며, 최대흡착량($Q_{max}$)은 회화를 시키지 않은 시료(M-Raw)의 경우 28.17 mg/g으로 매우 높은 수준을 나타내었다.

수산물 가공부산물의 이용에 관한 연구 I -가다랭이 내장 발효 silage 제조를 위한 유산균주의 배양특성 (Studies on the Utilization of Wastes from Fish Processing I - Characteristics of Lactic Acid Bacteria for Preparing Skipjack Tuna Viscera Silage)

  • 윤호동;이두석;지청일;서상복
    • 한국수산과학회지
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    • 제30권1호
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    • pp.1-7
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    • 1997
  • 가다랭이 통조림을 제조할 때 대량 폐기되는 내장을 유효하게 이용할 목적으로 어류 내장 silage 제조를 위한 유산균주의 배양특성 및 저장기간에 따른 원료의 성상변화를 조사한 결과, MRS 배지에서 배양한 L. bulgaricus 및 L. plantarum 균주는 $pH\;5.5\~6.5$, 배양온도 $35^{\circ}C$ 부근에서 산생성 및 증식이 양호하였으며, 가다랭이 내장 자숙액에 사용된 당질원인 당밀 dextrose의 적정 첨가농도는 가다랭이 내장 중량 당 각각 $10\%$$7\%$ 정도인 것으로 나타났다. 저장기간에 따라 산첨가 silage의 pH는 초기 4.0에서 저장 42일째 pH 4.5로 다소 증가하였으며, 유산균 발효 silage는 초기 pH 5.9에서 점차 감소하여 pH 약 4.0까지 저하되었다. silage의 초기 VBN 함량은 약 $62\~65\;mg/100g$에서 저장기간에 따라 점차 증가하여 저장 42일후 산첨가 silage는 112.6\;mg/100g이었고, L. bulgarius 및 L. plantarum 발효 silage는 각각 139.9 mg/100g와 155.0 mg/100g 이었다. L. plantarum 발효 silage의 저장중 경시별 아미노질소 함량은 저장 4일째 1391.3 mg/100g으로서 약 $81\%$의 가수분해율을 나타내었다. 또한 L. plantarum을 이용하여 제조한 발효 silage의 초기 생균수는 $2.7\times10^8/g$에서 저장 35일째는 $2.3\times10^7/g$으로 나타났다.

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Bacillus subtilis HJ18-9 이용하여 제조한 품종별 청국장의 품질특성과 isoflavone 함량의 변화 (Bioactive compounds of Cheonggukjang prepared by different soybean cultivars with Bacillus subtilis HJ18-9)

  • 송진;이경하;최혜선;황경아
    • 한국식품저장유통학회지
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    • 제22권4호
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    • pp.535-544
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    • 2015
  • 본 연구에서는 $\beta$-glucosidase활성이 있는 B. subtilis HJ18-9균을 접종하여 품종별로 청국장을 제조하여, 품종별 청국장의 품질특성과 isoflavone 함량 변화를 측정한 결과이다. 청국장의 단백질 분해 특유의 구수한 맛 성분을 유리하는 효소인 protease활성은 발효 전에는 새단백 청국장이 가장 높은 활성을 나타냈으며, 발효 후에는 우람 청국장이 가장 높은 protease활성을 나타냈다. 이는 구수한 맛 성분의 지표성분인 아미노태 질소함량과 같은 경향을 나타냈다. 환원당을 유리하는데 관여하는 a-amylase 활성은 새단백으로 제조한 청국장이 다른 품종에 비해 유의적으로 높은 함량을 나타냈으며 다섯가지 품종 모두 발효 후에 증가하는 경향을 나타냈다. 발효 후에 총 균수가 높아지는 경향을 나타냈으며 발효 초에는 우람 청국장이 유의적으로 높은 균수를 나타냈으나, 발효 후에는 품종 간에 유의적인 차이는 나타내지 않았다. 품종별 청국장의 isoflavone 함량은 발효초기에는 대풍, 우람 품종으로 제조한 청국장의 aglycone함량이 가장 높았으며, 48시간 발효 후에도 두 가지 품종이 각각 $1249.04{\pm}9.14ug/g$, $589.32{\pm}14.08ug/g$로 가장 높은 aglycone 전환율 나타냈다. 이는 발효 초 aglycone함량에 비해 5.31, 1.94배 증가시켰다.

말쥐치 농축단백질(濃縮蛋白質)의 제조(製造) 및 이용(利用)에 관(關)한 연구(硏究) -제 2 보 : 제조방법(製造方法)에 의한 기능성(機能性)의 변화(變化)- (Studies on the Preparation and Utilization of Filefish Protein Concentrate (FPC) -II. The Effect of Processing Conditions on the Functional Properties-)

  • 양한철;임승택;손흥수
    • 한국식품과학회지
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    • 제15권3호
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    • pp.252-261
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    • 1983
  • 매년 200,000톤 이상이 어획되고 있으나 주로 단순한 어포로서만 이용되고 있는 말쥐치를 원료로 하여, isopropyl alcohol에 의해 지방이 제거된 filefish protein conceutrate(FPC)과, NaOH용액에 의한 가수분해에 이어 lactic acid용액으로 단백질을 침전시켜 얻은 filefish profein isolate(FPI)를 식품에 첨가이용하기 위하여, 제조공정 및 건조조건에 따른 기능성의 변화를 비교 검토하였다. 영양적인 면에서 보면 FPI의 pepsin소화율은 FPC의 경우보다 높았으나, lysine, leucine, alanine 등의 몇몇 아미노산 함량의 손실이 있었다. FPC의 단백질 분자조성은 어육의 경우와 비슷하였으나 FPI의 단백질은 대부분 degradation되었다. FPC의 수용액상에서의 질소 용해도는 용액의 pH변화에 따라 큰 차이가 없었으나 FPI의 경우는 크게 변하였으며 pH7.0에서는 FPI가 FPC보다 높은 용해도를 나타냈다. 냉동 건조된 FPC와 FPI는 진공 또는 강풍건조로 제조한 것보다 용해도가 낮았다. 용해도, 보수력, 분산력, 유화 형성 능력, 보유력(保油力)등의 기능성을 비교해 본 결과, FPI가 FPC보다 대부분의 기능성이 우수하게 나타났으나 기포 형성 능력과 emulsion의 점도는 FPC가 우수하였다. FPC와 FPI의 Emulsion의 형태는 커다란 차이를 보였으며, FPC emulsion의 지방구는 FPI emulsion의 경우보다 훨씬 크고, 그 표면에 녹지 않은 단백질 입자를 포집하고 급속히, 유화에 관여하지 않은 수용액과 분리되는 현상을 나타냈다. 제조시 건조온도를 증가시킬수록, 변성에 의해 대부분의 기능성이 낮아지고 있으나, 보수력은 단백질 구조상의 변화에 의해 높아지는 경향을 보였다.

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수소처리와 후성장층의 특성이 다이아몬드 박막의 전계방출 특성에 미치는 영향

  • 심재엽;송기문;이세종;백홍구
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.96-96
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    • 2000
  • 화학증착법으로 증착된 다이아몬드 박막은 우수한 전기적 특성과 뛰어난 화학적, 열적 안정성 때문에 전계방출소재로 많은 관심을 불러 일으키고 있다. 다이아몬드 박막의 전계방출은 저전계에서 일어나는 것으로 알려져 있으며, 저전계방출의 원인을 규명하려는 많은 연구가 진행되어 왔다. 한편, 다이아몬드 박막의 전계방출전류는 금속기판의 사용에 의한 기판/다이아몬드 접촉의 개선, 다이아몬드 박막내의 흑연성분의 조절에 의한 구조변화, 보론이나 인 (P), 질소의 도핑, 수소 플라즈마나 cesium 등의 금속을 이용한 표면처리 등의 여러 방법에 의하여 향상된다는 것이 입증되었다. 그 외에 메탄과 대기 분위기 처리, 암모니아 분위기에서의 레이저 조사도 전계방출특성을 향상시키는 것으로 보고되었다. 그러나, 다이아몬드 박막의 성장후 구조적 특성이 다른 박막의 후성장이나 열분해된 운자수소 처리가 다이아몬드 박막의 전계방출특성에 미치는 영향에 관한 연구는 지금까지 이루어지지 않았다. 본 연구에서는 수소처리와 후성장이 다이아몬드 박막의 전계방출특성에 미치는 영향을 고찰하고 이로부터 그 원인을 규명하고자 하였다. 다이아몬드 박막은 hot-filament 화학증착법을 이용하여 증착하였다. 후성장한 다잉아몬드 박막내의 흑연성분과 박막의 두께를 체계적으로 조절하여 후성장 박막의 구조적 특성과 그 두께의 영향을 확인할 수 있었다. 후성장층내의 흑연성분과 두께가 증가할수록 전계방출특성은 향상되다가 저하되었다. 한편, 다이아몬드 박막을 성장시킨 후 수소분위기 처리를 함에 따라 전계방출특성은 향상되었지만 수소처리시간이 5분 이상으로 증가함에 따라 그 특성은 저하되었다. 본 연구에서는 수소처리와 후성장시 나타나는 전계방출특성의 변화 원인을 규명하고자 한다.기판위에서 polymer-like Carbon 구조는 향상되는 경향을 보였다.0 mm인 백금 망을 마스크로 사용하여 실제 3차원 미세구조를 제작하여 보았다. 그림 1에서 제작된 구조물의 SEM 사진을 보여주었으며, 식각된 면의 조도가 매우 뛰어나며 모서리의 직각성도 우수함을 확인할 수 있다. 이와 같이 도출된 시험 조건을 기초로 하여 리소그래피 후에 전기 도금을 이용한 금속 몰드 제작 및 이온빔 리소그래피 장점을 최대한 살릴수 있는 미세구조 제작에 대한 연구를 계속 추진할 계획이다. 비정질 Si1-xCx 박막을 증착하여 특성을 분석한 결과 성장된 박막의 성장률은 Carbonfid의 증가에 따라 다른 성장특성을 보였고, Silcne(SiH4) 가스량의 감소와 함께 박막의 성장률이 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 줄어들어 성장률이 Silane가스량에 의해 지배됨을 볼 수 있다. UV-VIS spectrophotometer에 의한 비정질 SiC 박막의 투과도와 파장과의 관계에 있어 유리를 기판으로 사용했으므로 유리의투과도를 감안했으며, 유리에 대한 상대적인 비율 관계로 투과도를 나타냈었다. 또한 비저질 SiC 박막의 흡수계수는 Ellipsometry에 의해 측정된 Δ과 Ψ값을 이용하여 시뮬레이션한 결과로 비정질 SiC 박막의 두께를 이용하여 구하였다. 또한 Tauc Plot을 통해 박막의 optical band gap을 2.6~3.7eV로 조절할 수 있었다. 20$0^{\circ}C$이상으로 증가시켜도 광투과율은 큰 변화를 나타내지 않았다.부터

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