Vibration test and analysis of the nano-imprinting stage by using laser-vibrometer and MSC/NASTRAN (레이져 바이브로 미터와 MSC/NASTRAN을 이용한 나노 임프린팅 스테이지의 진동 실험 및 해석)
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- Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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- 2009.10a
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- pp.433-434
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- 2009