• Title/Summary/Keyword: 진공시스템

Search Result 799, Processing Time 0.029 seconds

Pressure Recovery in a Supersonic Ejector of a High Altitude Turbofan Engine Testing Chamber (터보팬 엔진의 고고도 성능의 초음속 이젝터의 압력회복에 관한 연구)

  • Omollo, Owino George;Kong, Chang-Duk
    • Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
    • /
    • v.14 no.6
    • /
    • pp.53-59
    • /
    • 2010
  • This research aims in finding a more optimal ejector size for evacuating engine exhaust gasses and 20% of the cell cooling air. The remaining 80% of cell cooling air pumped into the test chamber is separately exhausted from the test chamber via a discharge port fitted with flow control valves and vacuum pump. Unlike its predecessor this configuration utilizes a smaller capture area to improve pressure recovery. The modified ejector size has a diameter of 1100mm enough to evacuate 66kg/s jet engine exhaust in addition to about 20%, 24kg/s of the cell cooling air tapped from the sterling chamber. This configurations has an area ratio of the engine exit and ejector inlet of about 1.2. Simulation results of the proposed ejector configuration, indicates improved pressure recovery.

Design and Implementation on Frequency Synthesizer Qualification Model Level for SAR payload (위성 레이다용 QM급 주파수합성기 설계 및 제작)

  • Kim, Dongsik;Kim, Hyunchul;Heo, John;Kim, Wansik
    • The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
    • /
    • v.20 no.3
    • /
    • pp.9-14
    • /
    • 2020
  • In this paper, Qualification Model of frequency synthesizer is designed for X-band SAR system and performed electrical and environment test. Designed frequency synthesizer generate 13.65 GHz with very low phase noise performance. The integrated phase noise from 10Hz to 1MHz is -37.91 dBc. IRF performances are analyzed according to phase noise and jitter. Also, thermal and structure analysis are achieved for stable operation in space environment. Designed frequency synthesizer is consist of 2 modules of 6U size and generate L-band, C-band, Ku-band. The result of this study would enhance the design ability of RF module and help the frequency synthesizer design for SAR payload system.

Reclamation of High Purity Organic Solvents from Waste Photoresist Stripper (포토레지스트 스트리퍼 폐액으로부터 고순도 유기용제 회수)

  • Kim, Dae-Jin;Oh, Han-Sang;Kim, Jae-Kyeong;Park, Myeong-Jun;Lee, Moon-Yong;Koo, Kee-Kahb
    • Clean Technology
    • /
    • v.13 no.4
    • /
    • pp.257-265
    • /
    • 2007
  • As a basic study for the development of pilot-scale distillation process of waste photoresist strippers from semiconductor industry, lab-scale experiments for the recovery of NMP (N-methy1-pyrrolidione) and BDG (Butyldiglycol) from waste photoresist strippers have been made using a spinning band vacuum distillation column. Purities of NMP and BDG obtained from the present experiments were higher than 99.5%. Furthermore, water content was less than 1000 ppm, color grade(APHA) less than 50, most metal contents except sodium less than 1 ppb. Those results indicate that NMP and BDG reclamed by distillation satisfy the their specifications required for the formulation of new photoresist strippers. Recovery rate of NMP and BDG was 96 and 53%, respectively, for type A, and 93 and 57%, respectively, for type B waste PR stripper solution.

  • PDF

Properties of Diamond-like Carbon(DLC) Thin Films deposited by Negative Ion Beam Sputter (I) (Negative ion beam sputter 법으로 증착한 DLC 박막의 특성 (I))

  • Kim, Dae-Yeon;Gang, Gye-Won;Choe, Byeong-Ho
    • Korean Journal of Materials Research
    • /
    • v.10 no.7
    • /
    • pp.459-463
    • /
    • 2000
  • Direct use of negative ions for modification of materials has opened new research such as charging-free ion implantation and new materials syntheses by pure kinetic bonding reactions. For these purposes, a new solid-state ce-sium ion source has been developed in the laboratory scale. In this paper, diamond like carbon(DLC) films were prepared on silicon wafer by a negative cesium ion gun. This system does not need any gas in the chamber; deposition occurs under high vacuum. The ion source has good control of the C- beam energy(from 80 to 150eV). The result of Raman spectrophotometer shows that the degree of diamond-like character in the films, $sp^3$ fraction, increased as ion beam energy increases. The nanoindentation hardness of the films also increases from 7 to 14 GPa as a function of beam energy. DLC films showed ultra-smooth surface(Ra~1$\AA$)and an impurity-free quality.

  • PDF

Coating of $TiO_2$ Thin Films on Glass Substrate using Photo-assisted Atomic Layer Deposition (광원자층증착법에 의한 glass 기판에 $TiO_2$ 박막 코팅)

  • Kim, Hyug-Jong;Kim, Hee-Gyu;Kim, Doe-Hyoung;Kang, In-Gu;Choi, Byung-Ho
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
    • /
    • 2009.11a
    • /
    • pp.382-382
    • /
    • 2009
  • 염료감응형 태양전지의 구성체 중 전극으로 연구 되어 지고 있는 $TiO_2$는 기존에 대량 생산이 가능한 spin coating법, screen printing법, spray법의 연구가 이루어져 왔으나 고 효율 태양전지에 쓰이는 전극 시스템에 비해 고 분산성을 지닌 $TiO_2$페이스트를 제조 하는데 어려움이 있다. 그리고 플렉시블 디스플레이 소자의 응용을 위해서는 소자 공정 온도인 $250^{\circ}C$ 이하의 공정 온도가 요구 되어 지므로 고온공정인 CVD법은 이에 적합하지 않다. 이에 본 연구는 진공 증착 방법인 광원자층증착법을 이용하여 $150^{\circ}C$이하의 저온공정온도에서도 적용이 가능한 $TiO_2$ 박막을 185nm의 UV light를 조사하여 glass 기판위에 제조 하고 그에 따른 박막의 물성 분석을 하였다. Mo source로는 titanium tetraisopropoxide(TTIP)와 reactant gas 로는 $H_2O$를 사용하였으며 불활성 기체인 Ar 가스는 purge 가스로 각각 사용하였다. $100^{\circ}C{\sim}250^{\circ}C$ 공정온도를 변수로 $TiO_2$ 박막을 제조 하였으며 제조된 $TiO_2$ 박막의 물성 분석을 위해 FESEM, TEM을 이용하여 표면 및 두께를 분석하였다. 또한 $100^{\circ}C$ 400 cycles에서 약 12nm 막 두께를 관찰 할 수 있었으며 그 결과 박막의 성장률이 $0.3{\AA}$/cycle 임을 확인 할 수 있었다. 그리고 UV-VIS을 이용하여 박막의 좌외선에 대한 흡수도 및 투과도 분석을 하였다. 또한 XPS 성분 분석을 통하여 $100^{\circ}C$의 저온 공정에서 형성된 박막이 $TiO_2$임을 확인 하였다. 이러한 결과에서 185nm의 UV light에 의한 광원자층 증착법으로 $100^{\circ}C$의 저온에서도 $TiO_2$ 박막이 증착 되는 것을 확인 할 수 있었다.

  • PDF

Failure analysis of a turbo molecular pump in semiconductor equipments (반도체 장비에서 터보 분자 펌프의 파손 사례 연구)

  • Jeong, Jin-Yong;Ju, Jeong-Hun;O, Sam-Gyun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
    • /
    • 2018.06a
    • /
    • pp.120-120
    • /
    • 2018
  • 반도체 소자나 디스플레이 패널 제조 공정에 가장 많이 사용되는 진공 펌프인 터보 분자 펌프는 오일을 사용하지 않고, 설치 방향이 자유로우며 넓은 작동 압력 영역을 가지고 있어서 고가임에도 불구하고 점점 더 사용 영역을 넓혀 가고 있다. 상하의 두 곳에 회전축을 지지하는 베어링이 필요한데, 기계식 금속 베어링을 채용하는 경우에는 반드시 윤활유를 공급해 주어야 하고, 고온, 부식성 또는 산화성 가스의 배기 시에는 퍼지 가스로 비활성인 질소나 알곤등을 이용하여 보호를 해주어야 한다. 반면, 자기 베어링을 채택한 모델은 윤활의 걱정에서 자유로울 수 있기 때문에 채용이 늘어나고 있다. 동일극의 반발력이나 반대극의 인상력을 이용한 구조를 갖게 되는데 갑작스러운 입구 쪽 압력의 증가 시에는 자석 끼리 부딪치는 일이 발생하고 이로 인해서 로터 모듈 전체에 큰 손상을 갖게 되므로 한 곳 정도에 비상용 터치 다운 베어링을 기계식으로 윤활제 없이 설치하기도 한다. 기본적으로 자기 베어링 방식은 로터 모듈의 부상과 제어를 위해서 3축 또는 5축 제어를 하게 되는데 여기에는 전자석의 전류를 미세하게 조정하여 피드백 하는 시스템을 활용하기 때문에 외부에서의 자기장이 일정값 이상 침투하게 되면 제어 회로의 기능에 문제를 일으키게 된다. 또한 축 방향에 수직인 자기장의 강도가 높아지면 고속으로 회전하는 금속 블레이드가 자속을 자르게 되므로 표면에 와전류가 발생하여 문제가 된다. 터보 분자 펌프는 회전자와 고정자 간격이 1 mm 이내로 작아서 약간의 진동이라도 발생하면 회전자와 고정자 간에 충돌이 일어나고 이는 곧 파손으로 이어진다. 그림 1에는 파손 원인 분석을 위한 회전자 모듈의 수치 해석용 모델의 일부를 나타내었고, 그림 2에는 실제로 외부 자기장에 의한 파손이 발생한 사례의 자기 베어링 모듈의 사진을 나타내었다. 본 발표에서는 외부 자기장의 형태에 따라 제어 자기장에 미치는 영향을 CFD-ACE+(ESI corp)를 활용하여 해석하였다.

  • PDF

EPICS Based Vacuum Monitoring System for PAL Storage Ring (EPICS를 이용한 가속기 진공장치 감시 시스템 개발)

  • Yoon, J.C.;Lee, J.W.;Hang, J.Y.;Nam, S.Y.
    • Proceedings of the KIEE Conference
    • /
    • 2002.07d
    • /
    • pp.2344-2346
    • /
    • 2002
  • A vacuum control system has been developed for using Ethernet Multi Serial Device Severs (EMSDS) for the Pohang Accelerator Laboratory (PAL) storage ring. There are 124 vacuum ion pumps at the storage ring. It was a very important problem to solve the problem how to control such a big number of vacuum pumps distributed around the ring. After discussions, we decided to develop a serial to ethernet interrace device sever that will be mounted in the control system rack. It has a 32-bits microprocessor embedded Linux, 12 ports RS485 (or RS232) slave interface. one channel 10/100BaseTx ethernet host port, one channel UART host port, and 16 Mbytes large memory buffer. These vacuum pumps are connected to Ion-Pump serial controllers, which chop the AC current so as to control the current in the pumps. The EMSDS connect either 100BaseTx or 10BaseT ethernet networks to asynchronous serial ports for communication with serial device. It can simultaneously control up to 12 ion-pump serial controllers. 12 EMSDS are connected to a personal computer (PC) through the network. The PC can automatically control the EMSDS by sending a set of commands through the TCP/IP network. Upon receiving a command from a PC running under Windows2000 through the network, the EMSDS communicate through the stave serial interrace ports to ion-pump controller. We added some software components on the top of EPICS (Experimental Physics and Industrial Control System) toolkit.

  • PDF

Fabrication and Characterization of Yellow OLED using GDI602:Rubrene(10%) Material (GDI 602/Rubrene을 이용한 황색 OLED의 제작과 특성 분석)

  • Jang, Ji-Geun;Kim, Hee-Won
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
    • /
    • v.13 no.4
    • /
    • pp.71-75
    • /
    • 2006
  • The yellow emitting OLED using GDI602:Rubrene(10%) material has been fabricated and characterized. In the device fabrication, 2-TNATA [4,4',4'-tris(2-naphthylphenyl-phenylamino)-triphenyl-amine] as a hole injection material and NPB[N,N'-bis(1-naphthyl)-N,N'-diphenyl-1,1'-biphenyl -4,4'-diamine] as a hole transport material were deposited on the ITO(indium thin oxide)/glass substrate by vacuum evaporation. And then, yellow emission material was deposited using GDI602 as a host material and Rubrene(10%) as a dopant. Finally, small molecular OLED with the structure of $ITO/2-TNATA/NPB/GDI602:Rubrene(10%)/Alq_{3}/LiF/Al$ was obtained by in-situ successive deposition of $Alq_{3}$, LiF and Al as the electron transport material, electron injection material and cathode. The yellow OLED fabricated in our experiments showed the color coordinate of CIE(0.50, 0.49), the luminance of $2300\;Cd/m^{2}$ and the power efficiency of 0.7 lm/W at 10 V with the peak emission wavelength of 562 nm.

  • PDF

The Study on In-situ Measurement of Hydrogen Permeability through Polymer Electrolyte Membranes for Fuel Cells (연료전지용 고분자전해질막의 실시간 수소 투과도 측정법 연구)

  • Lim, Yoon Jae;Lee, Chang Hyun
    • Membrane Journal
    • /
    • v.26 no.2
    • /
    • pp.141-145
    • /
    • 2016
  • Polymer electrolyte membranes (PEMs) are key components to determine electrochemical fuel cell performances, in addition to electrode materials. The PEMs need to satisfy selective transport behaviors to small molecules including gases and protons; the PEMs have to transport protons as fast as possible, while they should act as hydrogen barriers, since the permeated gas induces the thermal degradation of cathode catalyst, resulting in rapid electrochemical reduction. To date, limited tools have been used to measure how fast hydrogen gas permeates through PEMs (e.g., Constant volume/variable Pressure (time-lag) method). However, most of the measurements are conducted under vacuum where PEMs are fully dried. Otherwise, the obtained hydrogen permeance is easily changeable, which causes the measurement errors to be large. In this study, hydrogen permeation properties through Nafion212 used as a standard PEM are evaluated using an in-situ measurement system in which both temperature and humidity are controlled at the same time.

극소형 MEMS 우주망원경 탑재체 개발 및 탑재

  • Lee, Jik;Kim, Ji-Eun;Na, Go-Un;Nam, Sin-U;Nam, Ji-U;Park, Il-Heung;Seo, Jeong-Eun;Lee, Hye-Yeong;Jeon, Jin-A;Jeong, Su-Min;Jeong, Ae-Ra;Park, Jae-Hyeong;Lee, Chang-Hwan;Park, Yong-Seon;Yu, Hyeong-Jun;Kim, Min-Su;Kim, Yong-Gwon;Yu, Byeong-Uk;Lee, Gyeong-Geon;Jin, Ju-Yeong;G., Garipov;B., Khrenov;P., Klimov
    • Bulletin of the Korean Space Science Society
    • /
    • 2009.10a
    • /
    • pp.47.4-47.4
    • /
    • 2009
  • 초소형전기기계시스템(MEMS: Micro-Electro-Mechanical Systems) 기술로 제작된 마이크로미러 어레이를 장착한 MEMS 우주망원경은 특유의 광시야각 감시, 목표 확인, 확대 및 고속 추적 기능을 가지며 고층대기에서의 초대형 방전현상과 같이 넓은 영역에서 드물게 임의로 일어나는 섬광현상을 관측하기에 최적이다. 러시아 과학위성 Tatiana-2의 주 탑재체로 선정된 극소형 MEMS 우주망원경 MTEL(MEMS Telescope for Extreme Lightning)은 광시야각 감시와 목표 확인을 위한 트리거망원경, 목표 확대와 고속추적을 위한 확대망원경 및 섬광현상의 분광측정을 위한 분광계로 구성되어 있다. 1년간의 개발 및 성능 검증 후 MTEL은 위성탑재를 위한 모든 우주인증 시험을 성공적으로 마쳤다. 현재 MTEL은 Tatiana-2 위성에 탑재되어 있으며, 9월 18일에 우주로 발사되어 1-3년간 800km 궤도를 비행하며 지구 대기에서 발생하는 섬광현상을 관측할 예정이다. 이 발표에서는 MTEL 탑재체의 설계, 제작, 성능 측정 및 calibration 결과를 보고하고, 위성탑재를 위한 진동 및 충격, 열, 진공 및 전자기파 적합성 등의 우주인증 시험 결과 또한 보고한다. 또한 발사 후 과학위성 및 MTEL의 이 발표 때까지의 우주에서의 상황을 보고한다.

  • PDF