• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.43-43
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• 2000

당사는 (주)포스콘 진공 사업 부분이 분사하여 1999년 1월 진공 장비 및 제어계측 분야 독립 법인체를 설립하였으며 당사의 주력 제품은 초고진공용 Ion pump 및 controller로서 국산화 개발하여 생산 판매하고 있다. Ion pump 와 controller는 10-4 ~ 10-10 Torr 범위의 초고진공으로 진공 시스템을 배기할 수 있는 장비로서 무소음, 무진동, 저전력의 특성을 가진 초정밀, 초청정 진공 실험에 없어서는 안 될 펌프이다. 현재 당사는 과학기술부의 특정연구개발 과제를 극고진공(XHV)용 Ion Pump를 개발하고 있는 중이다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2008.02a
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• pp.368-368
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• 2008

• JOURNAL OF ELECTRICAL WORLD
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• no.7 s.43
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• pp.20-23
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• 1980

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.1 no.2
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• pp.302-313
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• 1992

10-9Torr 정도의 압력에서 작동하는 반도체 공정 도구들을 펌프하기 위해 주로 사용되는 기술들을 살펴보고, 이 분야에서 진공을 만드는 기술적 방향에 대해 언급한다. 특히, Roots, Claw, Roots/claw 펌프의 작동원리와 자기 부양식 turbomolecular 펌프를 다루었다.

• 월간 기계설비
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• s.58
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• pp.48-52
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• 1995

문화적인 생활의 대명사로서 하수도의 정비가 거론되는 생활대국 5개년계획에서, 대체로 2000년의 하수도관 보급률을 70$\%$까지 끌어 올리는 계획이 세워져 있다. 이 계획을 실현하는 수법의 하나로서 대체하수도의 채용이 1988년부터 건설성토목연구소가 중심이 되어 검토되었고, 1990년의 압력식 하수도시스템에 이어서 1991년에는 진공식 하수도시스템의 기술지침(안)이 발표되었다. 본고에서는 진공식 하수도시스템의 메카니즘과 그 적용에 관해서 최근의 기술개발을 소개코저 한다.

• 기계와재료
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• v.12 no.2 s.44
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• pp.61-69
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• 2000

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2005.02a
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• pp.73-73
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• 2005

• Vacuum Magazine
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• v.2 no.1
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• pp.35-37
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• 2015

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2009.08a
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• pp.62-62
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• 2009

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2009.08a
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• pp.64-64
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• 2009