• Proceedings of the Korean Institute of Industrial Safety Conference
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• 2000.06a
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• pp.84-89
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• 2000

생산 현장뿐만 아니라 일상생활의 여러 곳에서 환경을 악화시키는 유해물질이 배출되어, 그를 위한 대책이 초미의 관심사로 되어있다. 종래 다종다양한 유해물질 중에서 일부의 기체상의 물질에 대해서는 그 성질에 따라 연소나 촉매를 사용한 화학적 처리 활성탄 흡착 등의 물리적 처리가 실시되어 왔지만 근년 대기중에서의 방전현상에 수반하여 발생하는 플라스마에 의한 화학반응을 사용한 처리방식이 많은 연구기관에서 시도되고 그 중에는 종래 방식으로는 곤란했던 물질(예를 들면 프론가스)의 분해ㆍ무해화 처리로 실용화된 예도 있다. (중략)

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.220-220
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• 2010

펄스 직류 $BCl_3$ 플라즈마를 이용하여 GaAs와 AlGaAs의 건식식각을 연구하였다. 공정의 주요 변수는 펄스 직류 전압(350~550V), 펄스 직류 시간($0.4{\sim}1.2{\mu}sec$.), 펄스 직류 주파수(100~250kHz)이었다. 식각 실험 후 샘플의 식각률, 식각 선택도, 표면 형상을 비교, 분석하였다. 또한, 광학 발광 분석기(Optical Emission Spectroscopy)를 이용하여 식각하는 동안 플라즈마 방전 특성을 분석하였다. 표면 단차 측정기(Alpha-step IQ, Tencor)로 식각 깊이를 측정해 식각률을 계산하였다. 표면 거칠기 또한 단차 측정기의 표면 거칠기 프로그램을 이용하여 분석하였다. 식각 벽면과 표면 상태는 주사전자현미경(Field-emission scanning electron microscopy)을 이용하여 관찰하였다. 분석 결과는 1) 펄스 직류의 전압이 증가하면 전극에 걸리는 파워가 올라가고 GaAs와 AlGaAs의 식각률도 증가하였다. 2) 76 mTorr 공정 압력, $0.7{\mu}sec$. 펄스 직류 시간과 200 kHz 주파수 일 때 10 sccm $BCl_3$ 펄스 직류 플라즈마에서 GaAs와 AlGaAs 둘 다 약 $0.4{\mu}m/min$ 이상의 식각 속도를 보여주었다. 3) 식각 선택도는 펄스 직류의 전압이 높아지면 증가하였고, 펄스 직류 주파수의 증가도 공정 파워와 GaAs와 AlGaAs의 식각률을 증가시켰다. 4) 그러나 펄스 직류 주파수가 150kHz 이하일 때에는 GaAs와 AlGaAs가 거의 식각되지 않았다. 5) 표면 거칠기는 펄스 직류 주파수가 증가하면 미세하게 좋아졌고 플라즈마는 펄스 직류 주파수가 100~250kHz 일 때 생성되었다. 6) 펄스 직류 시간의 증가는 공정 파워, 식각률, 식각 선택도 모두의 증가를 가져왔다. 7) 광학발광분석기(OES) 데이타는 $BCl_3$ 플라즈마에서 넓은 범위(450~700nm)에서의 염소(Cl) 분자 피크를 나타내었다. 8) 전자 현미경 사진은 펄스 직류 전압이 400 V보다 550 V 일 때보다 더 이방성(Anisotropic)측면과 부드러운 표면을 나타냈지만, 조금의 홈(Trench)이 발견되었다. 결론적으로 펄스 직류 $BCl_3$ 플라즈마는 GaAs와 AlGaAs의 건식식각에서 우수한 결과를 나타냈었다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.16 no.5
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• pp.383-387
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• 2007

In this paper the design of the discharge cleaning system for KSTAR vacuum vessel is described. We first discuss about the parameters which are related the efficiency of discharge cleaning. The RG(RF-assisted Glow) discharge which has the ignition and sustain pressure lower than those in the case of DC discharge, thus has the higher efficiency of discharge cleaning. So we adopt the RG discharge, in practical design, for KSTAR discharge cleaning system. For uniformity of the cleaning effect, we plan to install two discharge cleaning systems in A- and I-port of the KSTAR vacuum vessel. The designed system will be adapted for the study of the fuel recycling and of the boronization as well as the discharge cleaning of the KSTAR vacuum vessel.

• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics T
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• v.35T no.1
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• pp.29-32
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• 1998

The low level leakage currents in silicon oxides were investigated. The low level leakage currents were composed of a transient component and a do component. The transient component was caused by the tunnel charging and discharging of the stress generated traps nearby two interfaces. The do component was caused by trap assisted tunneling completely through the oxide. The low level leakage current was proportional to the number of traps generated in the oxides. The low level leakage current may be a trap charging and discharging current. The low level leakage current will affect data retention in EEPROM.

• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2019.11a
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• pp.218-219
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• 2019

본 논문은 모드 유지 알고리즘이 적용된 직류 배전용 에너지 저장 장치(Energy Storage System, ESS)의 모듈형 운전 제어 기법에 관해 제안한다. 모드 유지 알고리즘은 설정된 방전 깊이(Depth of Discharge, DoD) 내에서 계통의 전력 수요 및 공급의 변화가 생긴 경우에 수시로 변화하는 충/방전 모드의 변경을 제한하는 알고리즘이다. 이를 통해 ESS의 가용 용량을 최대한 사용 가능하며, 계통의 전력 공급 및 부하 수요에 따라 계통의 동작 상태를 결정할 때 도움을 줄 수 있다. 제안한 알고리즘은 PSIM 시뮬레이션을 통해 검증하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2003.07b
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• pp.1259-1261
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• 2003

고정밀 와이어컷 방전가공기는 높은 정밀도를 갖는 금형제작에 사용되고 있는 공작기계로서 최근 나노단위의 가공기술이 요구되는 산업추세에 발맞추어 고속, 고정밀 가공특성을 갖추도록 전반적인 성능개선이 이루어지고 있다. 본 논문에서는 기존 Thyristor를 이용한 위상제어 방식보다 우수한 특성을 갖는 스위칭모드 방식의 10kW급 직류 전원장치의 개발에 대해 기술하고있다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2011.07a
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• pp.1628-1629
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• 2011

산업현장에서는 회전기기의 고체절연시스템(solid insulation system)의 열화정도를 평가하기 위하여 일정 진단주기에 맞춰 Off-line 상태에서 직류시험 및 교류시험을 통하여 효과적으로 절연물에 대한 상태평가를 시행하고 있다. 직류시험으로는 절연저항, 성극지수(PI) 시험 등이 있으며 교류시험으로는 교류전류시험(${\Delta}I$), 유전정접시험(${\Delta}tan{\delta}$), 부분방전(PD)시험이 있다. 여기서 부분방전은 절연체의 국부적인 열화현상을 추정할 수 있는 중요한 파라미터로, 부분방전시험(PD test)을 통하여 고정자권선(stator winding)에 대한 절연특성을 효과적으로 진단할 수 있다. 고압 전동기는 기동정지의 빈번함과 장기간 운전에 의해 열적, 전기적, 기계적 스트레스를 받게 되고, 이로 인해 과열, 진동, 절연파괴에 이르는 문제점이 발생되어 결국 시스템의 운전정지를 초래하는 심각한 사고로 이어질 수 있다. 따라서 고압 전동기의 절연상태를 주기적으로 감시하고 사고 징후를 검출하여 시스템을 안정적으로 운영하기 위한 고압 전동기 Off-line 절연진단에 대하여 기술하고 수차발전기에 대한 절연상태진단 결과를 바탕으로 절연시스템의 신뢰성 평가 방법에 대하여 고찰하고자 한다.

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.20 no.1
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• pp.19-26
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• 2006

The ccrf-discharge has in comparison with the hollow-cathode discharge and DC-discharge some advantages: Simple design of the tube and homogeneous plasma. The ccrf-discharge was researched with the goal, to use on the excitation of the gas laser. In this work a rf-exciting system was planned and developed. With it a homogeneous discharge was produced in the cw operation. To supply the rf-power with the frequency 13.56[MHz] effectively in the discharge, laser tube were used with inner diameter of 5[mm] and the specially developed rf-electrodes. A matching circuit was composed also. Thereby the impedance of the discharge tube was adjusted to the 50[$\Omega$] output resistance of the rf-source.

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.17 no.4
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• pp.74-80
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• 2003

Ionic wind is produced by a corona discharge when a DC high voltage is applied across the point-to-plane gap geometry. The corona discharge phenomena have been investigated in several beneficial application fields such as electrostatic cooling, ozone generation, electrostatic precipitation and electrostatic spraying. Recently ionic wind might be used in aerodynamic, for example, heat transfer, airflow modification, and etc. In this work, in order to analyze the control behavior of the velocity and amount of ionic wind produced by the positive DC corona discharges. The ionic wind velocity was measured as a function of the applied voltage, diameter of the punched hole on plate electrode and separation between the point-to-plate electrodes. As a results, the airflow is generated from the tip of needle to the plate electrode in the needle-to-punched-plate electrode systems. The ionic wind velocity is linearly increased with an increase in applied voltage and ranges from 1 to 3 m/sec at the locations of 100-200 mm from the punched-plate.

• Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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• 1997.10a
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• pp.63-66
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• 1997

본 논문은 초전도 및 극저온 케이블의 냉매와 전기절연으로 사용되고 있는 액체질소의 연면방전특성에 관하여 연구하였다. 기포효과를 고려하여 대기압하에서의 정극성 및 부극성 직류고전압을 사용하였고, 연면방전시 방사되는 방사전자파의 스펙트럼 분포 특성을 관측하였다.