유도결합 플라즈마를 이용한 $Na_{0.5}K_{0.5}NbO_2$ 박막의 식각 특성
(Etching properties of $Na_{0.5}K_{0.5}NbO_2$ thin film using inductively coupled plasma)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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- pp.116-116
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- 2007