• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.40-40
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• 2011

반도체 소자의 미세화와 더불어 세정공정의 중요성이 차지하는 비중이 점점 커지고, 이에 따라 세정 기술 개발에 대한 요구가 증대되고 있다. 기존 세정 기술은 화학약품 위주의 습식 세정 방식으로 패턴 손상 및 대구경화에 따른 어려움이 있다. 따라서 건식세정 방식이 활발하게 도입되고 있으며 대표적인 것이 에어로졸 세정이다. 에어로졸 세정은 기체상의 작동기체를 이용하여 에어로졸을 형성하고 표면 오염물질과 직접 물리적 충돌을 함으로써 세정한다. 하지만 이 또한 생성되는 에어로졸 내 발생 입자로 인해 패턴 손상이 발생하며 이러한 문제점을 극복하기 위하여 대두되는 것이 가스클러스터 세정이다. 가스 클러스터란 작동기체의 분자가 수십에서 수백 개 뭉쳐 있는 형태를 뜻하며 이렇게 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 형성하게 된다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기까지 성장하게 된다. 에어로졸 세정과 다르게 클러스터가 성장할 환경과 시간을 형성하지 않음으로써 작은 클러스터를 형성하게 되며 이로 인해 패턴 손상 없이 오염입자를 제거하게 된다. 이러한 가스 클러스터 세정을 최적화하기 위해서는 설계 단계부터 노즐 내부 유동의 수치해석에 기반한 입자 크기 분포를 계산하여 반영하는 것이 필요하다. 따라서 본 연구에서는 상용 수치해석 프로그램을 이용하여 세정 환경을 조성하는 조건에서의 노즐 내부 유동을 해석하고, 이를 통해 얻어진 수치를 이용하여 aerosol general dynamic equation (GDE)를 계산하여 발생하는 클러스터의 크기 분포를 예측하였다. GDE 계산 시 입자의 크기 분포를 나타내기 위해서는 여러 가지 방법이 존재하나 본 연구에서는 각 입자 크기 노드별 개수 농도를 계산하였다. 노즐 출구에서의 가스 클러스터 크기를 예측하기 위하여 먼저, 노즐 내부 유속 및 온도 분포 변화를 해석하였다. 이를 통하여 온도가 급격하게 낮아져 생성된 클러스터의 효과적 가속 및 에너지 전달이 가능함을 확인할수 있었다. 이에 기반하여 GDE를 이용한 입자 크기를 예측한 결과 수 나노 크기의 초기 클러스터가 형성되어 온도가 낮아짐에 따라 성장하는 것을 확인할 수 있었으며, 최빈값의 분포가 실험적 측정값과 일치하는 경향을 가지는 것을 볼 수 있었다. 이는 향후 확장된 영역에서의 유동 해석과 증발 등 세부 요소를 고려한 계산을 통해 가스 클러스터 세정 공정의 최적화된 설계에 도움이 될 것이다.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• v.y2005m4
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• pp.208-211
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• 2005

In order to provide a useful data of combustion chamber design, a numerical analysis for spray combustion of fuel and oxidizer in combustion chamber has been conducted. As a spray model, the DSF model and the Euler-Lagrange scheme have been used. The change of droplet temperature has been calculated considering droplet heating. The coupling effects between and the gas phase the droplets, and between the gas phase and the evaporated vapor have been calculated using the PSIC model.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.10 no.3
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• pp.312-320
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• 2001

A Non-Evaporable Getter(NEG) pump was fabricated using Zr-V-Fe alloy modules to obtain $10^{-9}$ Pa range pressures. Pumping performances and activation characteristics were investigated and the pumping speeds for hydrogen, deuterium and carbon monoxide gases of the NEG pump were measured. And hydrogen desorption characteristics were examined during activation at $450^{\circ}C$. Futhermore the vacuum performance was compared with those of other high vacuum pumps as turbo-molecular pump, sputter-ion pump, and cryo pump by analyzing the residual gases of the system.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2006.05a
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• pp.253-256
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• 2006

A numerical study for spray flow of fuel and oxidizer droplets in the combustion chamber has been conducted prior to the analysis of spray combustion of the liquid rocket engine. As the spray combustion model, DSF model and Euler-Lagrange scheme have been used. While the coupling effects of the droplets between gas phase and evaporated vapor have been calculated using PSIC model, SIMPLER algorithm and QUICK scheme have been used as numerical schemes. As the results, the calculations have shown velocity and temperature distribution in combustion chamber as well as mole fraction of fuel and oxidizer.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2008.11a
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• pp.184-187
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• 2008

본 논문에서는 유도가열방식을 이용한 과열증기 발생장치를 제안하였다. 발열방식은 외부의 가열코일로부터 특수 합금 발열체에 비접촉 상태로 전자유도 와전류를 구조체에 흐르게 하였다. 인버터는 스위칭주파수 20[kHz]대역에서 작동되는 풀-브릿지 고주파 직렬 부하 공진형이며, LC 공진 설계에서 부하자체를 L로 선정하여 효율을 최대화 하였다. 개발된 장치는 전자유도가열 발열체와 유체이동에 의한 새로운 열교환 방식으로 일체의 연소과정 없이 기체, 액체 및 증발체 등을 상온에서 500[$^{\circ}C$]이상의 고온에 이르기까지 고정도의 가열이 가능하여 작업환경 개선이 가능하다.

• Membrane Journal
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• v.3 no.2
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• pp.41-50
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• 1993

최근 산업의 고도화 및 다변화호 인한 고순도, 고품위의 제품이 요구됨에 따라 분리공정은 대단히 중요한 공정으로 인정되고 있어 화학공업, 식품공업, 약품공업 등의 공업분야뿐만 아니라 의료, 생화학 및 환경분야에 이르기까지 중요한 연구과제가 되고 있다. 분리공정은 열역학적 상평형 원리에 기인한 분리방법과 물질이동 즉, 이동속도 원리에 기인한 분리방법과 물질이도 즉, 이동속도 원리에 기인한 분리방법으로 구별할 수 있는데 이는 혼합물의 동적 성질, 특히 확산성이나 침투속도가 서로 다른 것을 이용한 것이다. 막을 이용한 분리공정은 막의형태, 조작원리 및 적용분야에 다라 정밀여과, 한외여과, 역삼투, 기체분리 및 투과증발 등으로 분류되며 이는 고분자막에 존재하는 Pore의 크기, 막의 균일성, 대칭성 및 막의 하전형태에 따라 구분한다.

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.20 no.6
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• pp.460-468
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• 1976

A theory of liquid water is developed by assuming that the molecules in the liquid state have solid-like and gas-like degrees of freedom. The spectroscopic data are used in assigning the vibrational frequencies of solid-like molecules. The calculated values of molar volume, vapor pressure, entropy, entropy of vaporization, expansion coefficient, compressibility, heat capacities at constant volume and at constant pressure, surface tension and critical point properties are all in excellent agreement with the observed data.

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 1998.04a
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• pp.93-94
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• 1998

1. 서론 : 폴리아크릴로니트릴(PAN)은 폴리술폰에 비해 친수성을 가지고 있어 분리막에 응용시, 오염이 덜 되는 장점을 갖고 있어 폐수처리, 중수도 처리 등의 응용에서 우수한 막재료로 알려져 있다. 또한 기체분리 및 투과증발 복합막 제조시의 지지체로서도 많이 사용되고 있다. PAN을 재료로 다공성 비대칭막을 제조할 때는 상 전환 법을 이용하게 되는데, 이때 막재료로 사용되는 고분자는 용매에 용해시켜 고분자 용액을 제조하여 지지체 위에서 casting한 후, 비용매에 침적시켜 막을 제조하게 된다. 이때 최종 생성되는 막의 형태는 고분자 용액의 농도, 용액내의 용제의 조성, 비용매의 조성등에 의해 영향을 받게 된다. 그러므로 막의 성능은 위의 요소의 조절에 따라 커다란 변화가 이루어진다.

• Journal of the Korean Institute of Gas
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• v.7 no.1 s.18
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• pp.41-46
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• 2003

The Phase and temperature changes of large clusters formed in a free jet expansion of acetylene in 14atm and 233K has been studied. The cluster has been treated as a sphere composed of many shells. A mean diameter of 4.88 microns was obtained by modeling the experimental cooling curve of clusters based on evaporation and heat conduction theory.

• Journal of the Korean Institute of Gas
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• v.14 no.1
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• pp.42-46
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• 2010

BOG(Boil Off Gas) is formed about 0.05 vol%/day from LNG(Liquefied Natural Gas) tanks of LNG receiving terminal. To recycle the BOG using direct contacting, Previously the quantities of LNG and BOG is mixed at the ratio of 11:1 by mass. However simple this process uses, there is the difficulty of processing operation resulted from decrease of using LNG in summer. To complement these shortcomings, Advantages of the process are investigated by comparison of cost and analysis of the indirect contact method using LNG cold energy. It was studied that principles and types of development using LNG cold energy which is abandoned in the carburettor and found how to contact each to find the appropriate cold energy development process. Therefore, in this research, the indirect contact method will be investigated the feasibility of a comparative analysis by using HYSYS.