• Title/Summary/Keyword: 중성수

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수소 중성입자빔을 이용한 실리콘 에칭

  • Kim, Dae-Cheol;Hong, Seung-Pyo;Kim, Jong-Sik;Park, Jong-Bae;O, Gyeong-Suk;Kim, Yeong-U;Yun, Jeong-Sik;Lee, Bong-Ju;Yu, Seok-Jae
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.278-278
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    • 2011
  • 수소 중성입자빔을 이용한 silicon etching은 기존의 silicon etching 공정 가스(Fluorine이나 Chlorine 계열의 가스) 사용 시 배출되는 유해 가스로 인한 지구 온난화 방지 및 폐기물 처리에 추가적인 비용이 발생하지 않는 친환경 etching 공정이다. 본 연구에 사용된 수소 중성입자빔을 발생시키기 위한 플라즈마 소스는 낮은 압력에서 높은 플라즈마 밀도를 발생시킬 수 있는 ECR 플라즈마 소스를 사용하였으며 중성입자빔의 에너지를 조절할 수 있는 중성화판과 플라즈마로부터의 전하손상을 방지할 수 있어 charge free 공정을 가능하게 하는 Limiter로 구성되어 있다. 본 연구에서는 플라즈마 밀도, 공정 압력 그리고, 중성입자빔의 에너지를 조절하여 수소 중성입자빔을 이용한 poly-crystal silicon과 a-Si:H 간의 etch rate와 etching selectivity를 관찰하였다.

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제어봉 낙하 반응도 측정에서 중성자원, 감마, 중성자 분포 함수의 복합적인 영향 분석

  • 전병진;박상준;이지복
    • Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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    • 1997.10a
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    • pp.251-258
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    • 1997
  • 임계 근처에서 반응도 미터로 계단식 반응도 변화를 측정할 때는 중성자원과 감마의 영향 하에서도 정확한 반응도를 결정할 수 있으며, 중성자원과 감마를 측정할 수도 있다. 중성자원과 감마의 영향은 없으나 중성자 분포 함수만 변하는 경우에는 계산으로 예측한 분포 함수의 변화로 측정된 중성자 신호를 보정하여 반응도를 예측할 수 있다. 그러나 중성자원, 감마, 분포 함수가 복합적으로 작용하는 경우에 대하여는 이러한 방법을 적용할 수 없다. 이 매 중성자원과 감마의 영향만 있는 경우에 적용하는 방법을 쓰면 분포 함수의 변화가 측정 결과에 어떤 영향을 미치는지 분석하였다. 그 결과 분포 함수의 변화도 어느 정도 측정이 가능하며, 계산으로 예측하는 분포 함수의 변화로 측정 결과를 단순 보정하여 실제 반응도를 예측할 수 있는 것으로 나타났다.

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천상열차분야지도의 을해중성기 연구

  • An, Sang-Hyeon;Kim, Dong-Bin;Song, Du-Jong
    • Bulletin of the Korean Space Science Society
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    • 2010.04a
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    • pp.33.1-33.1
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    • 2010
  • 천상열차분야지도에는 유방택이 계산하여 작성한 중성기가 실려 있다. 중성기란 24절기일 각각에 대해 혼각과 효각에 자오선이위치하는 하늘의 입수도를 표로 만들어 놓은 것이다. 우리는 유방택이 사용할 수 있었던 역법이 선명력과 수시력이라고 생각하고, 우선 수시력에 의한 중성 계산법으로 을해중성기를 계산해 보았다. 이때 적도수도 값에 따라 중성기가 달라질 수 있는데, 유방택이 사용가능한 28수의 적도수도는 천상열차분야지도에 수록되어 있는 것, 수시력에서 사용한 것, 선명력에서 사용한 것이 있었을 것이다. 우리는 여기에 몇 가지 다른 적도수도들의 경우를 더하여 유방택이 어떤 계산 방법으로 중성기를 작성했는지 알아보았다. 그 결과, 베이징 기준의 수시력과 선명력의 적도수도의 조합이 을해중성기와 가장 가까운 결과를 주었으며, 천상열차분야지도의 적도수도와 수시력의 적도수도도 비교적 을해중성기에 가까운 결과를 주었다. 우리는 유방택이 선명력의 중성 계산 방법과 선명력의 적도수도를 사용하여 을해중성기를 작성한 것이 아닌가 추측하고 추후 연구를 계속하려고 한다.

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Estimating the DC Link Neutral Point Voltage to Improve Quality of Reactive Current for the 3-Level NPC topology (3-Level NPC 토폴로지의 무효전류 품질 향상을 위한 DC-Link 중성점 리플전압 예측 기법)

  • Lee, Yoon-min;Do, Won-Seok;Seo, Jungwon;Jung, Moon kwun;Kim, Hee jung;Kim, Young geun
    • Proceedings of the KIPE Conference
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    • 2019.07a
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    • pp.324-325
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    • 2019
  • 본 논문에서는 3-Level Neutral-Point-Clamped (NPC) 인버터의 중성점 리플 전압 예측 기법을 제안한다. 산업용 계통 연계형 인버터의 경우, 계통 규정을 만족하기 위하여 전압 강하와 같은 계통 사고 발생 시 계통에 협조할 수 있도록 무효전류 보상이 요구된다. NPC 인버터는 두 개의 커패시터가 직렬로 이루어진 구조로 무효전류 출력 시 상단과 하단의 커패시터 전압에 3차 중성점 리플 전류로 인해 중성점 리플 전압이 발생한다. 따라서 중성점 리플 전압을 고려하여 출력 전류에 보상하지 않으면 무효전류의 품질에 악영향을 끼칠 수 있다. 본 논문에서는 하나의 DC 전압센서를 통하여 중성점 전류를 예측하고, 중성점 리플 전압을 보상하는 알고리즘을 제안한다. Hardware In the Loop (HIL) Simulation을 통하여 본 논문에서 제안한 알고리즘의 타당성을 검증한다.

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이동형비접지식 저압발전기에서의 기기외함 접지에 관한 연구

  • 문종호;김찬오;손기상
    • Proceedings of the Korean Institute of Industrial Safety Conference
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    • 2003.10a
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    • pp.397-402
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    • 2003
  • 건설현장에서 사용하는 이동형 저압발전기는 중성점 접지와 관련한 구체적 지침이 없으며 또한 발전기 중성선 접지방식이 인체를 통하여 중성선으로 귀로가 형성될 수 있기 때문에 중성선을 접지하지 않고 비접지 방식으로 배전하고 있으나 비접지방식의 전로에서 외함의 접지와 관련한 문제는 우리나라의 법규정에 제시되어 있는 부분이 없다.(16) 따라서 건설현장의 Y결선의 발전기는 통상 중성점을 접지하여 사용하거나, 발전기의 외함은 접지시키고, 중성점은 외함이나 대지로부터 절연을 한 비접지 방식을 사용하고 있으며, 수시로 이동해야하는 소형 발전기의 경우는 외함마저도 생략한 채 사용되고 있다.(중략)

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실리콘 다이오드를 적용한 다채널 중성 입자 분석기 개발

  • Cheon, Se-Min;Jwa, Sang-Beom;Gang, In-Je;Lee, Heon-Ju
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.211-212
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    • 2011
  • 플라즈마를 제어하기 위해서는 플라즈마의 온도, 밀도, 에너지 분포등과 같은 플라즈마의 특성을 정확히 측정할 수 있어야한다. 핵융합발전에서는 플라즈마를 발생하기 위하여 플라즈마의 온도, 밀도 등 각종 변수들을 시공간적으로 계측, 분석할 수 있는 진달설비를 사용하고 있으며, 정확한 플라즈마 제어와 측정을 위한 새로운 진단기술을 개발하고 있다. 그리고 중요한 변수중에 하나인 플라즈마 이온온도를 측정하기 위해 중성입자 검출법이 잘 알려져 있다. 이 실험은 수소 중성입자가 토카막 내부의 플라즈마 이온과 충돌하면서 생성된 고속 중성입자의 에너지를 분석하는 실험이다. 본 연구의 실험방법은 수소 중성입자를 이온빔 장치에서 이온화 시킨 후 자체 제작한 가속기를 통하여 가속시켜 에너지 특성을 분석을 하는 것이다. 본 연구의 실험장치로 에너지 교정용 100 keV 이온빔 소스를 제작 하였고 이온빔 장치 내부에 수소기체를 주입하고 기체방전을 일으켜 플라즈마를 발생시켰다. 이온빔 외부에는 팬을 설치하고 전도성이 강한 물 대신 전도성이 약한 오일을 사용하여 냉각 하였다. 이온빔 장치와 결합될 이온 가속장치는 지름 300 mm, 두께 2 mm의 원형 구리판을 여러층으로 쌓아 전극으로 제작하였고 전극과 전극 사이에서 코로나 방전과 스파크를 방지하기 위해 전극 둘레에 코로나링을 설치 하였다. 또한 전극 사이마다 1G${\Omega}$의 저항을 설치한 후 고전압을 생성하여 이온 가속 효율을 증대시켰다. 진공시스템으로는 Alcatel사의 CFF100 터보분자 펌프와 우성진공사의 MVP24 진공로타리펌프를 결합하여 사용하였으며, 진공도측정은 Alcatel사의 ACS1000 장치를 사용하였다. 고진공후 고속 중성입자의 이온화와 에너지 측정을 위한 전하교환기를 설치하였다. 전하교환기로는 진공시스템을 별도로 설치하고 비용이 비교적 많이 드는 기체형 전하교환기 대신 소형화가 가능하고 유지보수가 좋은 고체형 전하교환기 제작하여 실험 하였다. 전하교환기에서 이온화된 고속 중성입자가 전기장이나 자장에 영향을 받았을때 에너지분포를 디텍터를 통해 측정하였다. 즉, 이온화된 중성입자의 에너지가 실리콘 다이오드를 통해 전압 펄스 신호로 변환되고 이차 증폭기를 통해 전압 펄스 신호들이 증폭한다. 에너지 측정을 위한 디텍터는 소형화가 가능하고 비용이 비교적 적게 드는 실리콘 다이오드를 설치하였다. 본 연구결과 중성입자 에너지 분석 장치가 실제 핵융합 장치의 플라즈마 이온온도와 특성 측정에 적용할 수 있으며, 앞으로 개발될 여러 형태의 응용 플라즈마 발생장치의 플라즈마 진단에 이용될 것으로 기대한다.

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Predictive Control of the Neutral Point Voltage in the Three-Level NPC Inverter (3-레벨 NPC 인버터에서 중성점 전압의 예측 제어)

  • Ko, Yoon Hyuk;Lee, Kui-Jun;Kim, Rae-Young;Hyun, Dong-Seok
    • Proceedings of the KIPE Conference
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    • 2011.07a
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    • pp.356-357
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    • 2011
  • 3-레벨 중성점 다이오드 클램프 (NPC) 인버터는 우수한 토폴로지로 알려져 있지만 구조적으로 중성점 전위가 변동하는 문제가 내제하고 있다. 본 논문에서는 3-레벨 NPC 인버터 중 성점 전압의 변동을 제어하기 위해 중성점 전류의 예측을 활용한 간단한 제어 기술이 제안되었다. 제안된 방법은 한 샘플링 앞선 시점의 중성점 전류를 예측하고 중성점 평형 요소를 포함하는 오프셋 전압(Voffset)을 이용하여 중성점 전압을 제어 한다. 중성점 전위 변동은 간단히 제어할 수 있고 제안된 중성점 전압 제어의 유효함은 시뮬레이션 결과를 통해 입증하였다.

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A study on the neutral line compensator for prevention of rising at load voltage instantly when disconnect the neutral line in 3phase 4 line system (3상 4선식 배선의 중성선에 탈락시 부하 전압 상승 방지를 위한 중성선 보상기에 관한 연구)

  • Kim, Hyun-Woo;Baek, Dong-Hyun
    • Proceedings of the Korea Institute of Fire Science and Engineering Conference
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    • 2011.11a
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    • pp.522-525
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    • 2011
  • 3상 4선식 배선 라인에서 중성선이 탈락할 경우 부하측의 중선선에 연결된 일부의 부하측 전압은 급상승하게 되고 이로 인한 피해가 많으므로 본 연구에서는 배전라인의 점검시 또는 접촉 불량에 의하여 발생할 수 있는 중성선의 탈락을 순간 감지하고 이를 보상하여 별도로 중성선을 생성하여 새로운 중성선을 순간 제공함으로서 중성선 탈락에 의한 피해를 최대한 억제하고자 하는 것이다. 이로 인하여 부하측의 전압상승에 의한 전기적 재해를 사전에 미리 예방이 가능한 효과도 있게 된다.

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A Study on Neutral Salt Effects of Dyeing for Aramid (중성염이 아라미드 염색에 미치는 영향에 대한 연구)

  • Lee, Yun-Jin;Park, Jun-Ho;Yang, Byeong-Gil;Gang, Tae-Chung;Jeon, Byeong-Dae
    • Proceedings of the Korean Society of Dyers and Finishers Conference
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    • 2008.04a
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    • pp.187-189
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    • 2008
  • 아라미드 섬유는 화학적으로 치밀한 구조 때문에 염료의 침투가 어려워 염색이 곤란하다. 염료의 침투가 용이하도록 팽윤제를 사용하여 염색하는 방법이 주로 사용되고 있지만 만족스러운 염착률을 얻을 수 없다. 본 연구에서는 기존의 방법에 중성염을 첨가하여 아라미드를 염색함으로써 중성염이 아라미드 염색에 미치는 영향에 대해 알아보았다. 연구 결과, 중성염을 사용하지 않은 경우에 비해 염색성이 향상되는 것을 확인할 수 있었다. 또한 연구에 사용된 3종의 중성염 중에서 NaCl을 사용한 경우에 가장 우수한 염색성을 나타내어 현장에서 경제적으로 적용 가능한 아라미드 염색법이 될 것으로 기대된다.

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KSTAR 중성입자빔 소송라인 해석

  • 임기학;권경훈;조승연;김진춘
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.37-37
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    • 1999
  • KSTAR(Korea Superconducting Tokamak Advanced Research) 핵융합 토카막 실험 장치의 플라즈마 가열을 위한 수소 중성입자빔 수송라인 내에 설치되는 collimator에 가해지는 열속 및 플라즈마에 전달되는 빔의 통과율을 해석하였다. 43cm$\times$12cm 크기의 이온원으로부터 방출되는 이온빔의 공간적 분산은 기본적으로는 Gaussian 분산(수직바향으로 1.2$^{\circ}$, 수평방향으로 0.5$^{\circ}$)의 형태를 가지지만 이온 가속 전장의 공간적 불균일로 인해 Gaussian 분산에서 다소 벗어나는 형태를 띠게 되는데, 이의 영향을 고려할 수 있는 수학적 모델을 정립하였다. 해석에 고려된 요소들은 다음과 같다. 이온원을 수많은 점원의 집합으로 가정하여 각각의 점원으로부터 주어진 공간적 분산을 가지는 이온들이 방출되는 것으로 가정하였으며, 방출된 이온은 중성화 과정을 거쳐 40%의 이온만이 중성입자화되며, 중성화되지 않은 60%의 이온들은 bending magnet에서 ion dump로 유도되어 사라지며, 나머지 중성입자들은 직진 운동을 하게 된다. 빔 진행 도중 빔 중앙에서 크게 벗어나는 일부 중성입자들은 여러 겹으로 존재하는 빔 collimator에 의해 단계적으로 제거되며, 일부 중성입자들은 잔류 수소기체에 의한 재이온화 과정을 거치기도 한다. 여기서는 정립된 수학적 모델을 이용하여 이들 collimator에서 제거되는 양 및 재이온화 손실들을 고려하여 최종적으로 플라즈마에 입사되는 중성입자 빔을 계산하였다. 한편, 빔 수송라인 설치시에 발생할 수 있는 설치 오차를 이온원 설치시의 오차와 빔 collimator 설치상의 오차로 구분하여 이들의 의한 영향도 계산하였다. Gaussian 분산을 가정하였을 경우, 이온원에 가장 근접하여 설치되는 collimator에 가해지는 수직성분의 열속은 9.7kW/cm2로 계산되었다. 이 열속을 제어 가능한 수준으로 낮추기 위해서 collimator는 빔 라인과 거의 나란하게 설치될 것이다. 빔의 통과율은 약 33%로서 하나의 이온원에서 방출된 7.8MW 중 2.5 MW만이 플라즈마에 전달되는 것을 알 수 있었다. Non-Gaussian 분산의 경우, 최대 열속은 9.1kW/cm2로 다소 낮아졌으나, 빔통과율은 28%정도로 더욱 낮아졌다. 설치상의 오차에 의한 영향을 살펴보면, 이온원이 1$^{\circ}$ 정도 기울어지게 설치된다면 collimaor에 가해지는 최대 열속 및 빔통과율은 약 15kW/cm2, 16.6% 정도로 나타나 매우 심각한 결과를 초래함을 알 수 있었다. 이에 비해 collimator 설치상의 오차의 영향은 이보다 훨씬 작아 5mm 오차가 발생했을 경우에도 최대 열속은 12kW/cm2까지 증가했으나, 빔 통과율의 변화는 거의 없었다.

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