금속유기화학기상증착법으로 증착된 Co-O-N 박막을 이용한 CoSi$_2$ 에피층 성장
(Growth of epitaxial CoSi$_2$ using Co-O-N films deposited by metallorganic chemical vapor deposition)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.166-166
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- 2003