• 제목/요약/키워드: 주입 시험

검색결과 653건 처리시간 0.026초

비소용출에 대한 토양의 물리화학적 특성 영향 (Effect of the Physicochemical Properties of Soil on the Arsenic Bioaccessibility)

  • 양재규;장윤영
    • 대한환경공학회지
    • /
    • 제28권7호
    • /
    • pp.731-737
    • /
    • 2006
  • 미국 Oak Ridge 연구소 관리지역에서 Inceptisol(Inc) 및 Utisol(Ult)이 지배적으로 분포된 토양층의 A- 및 B-층으로부터 채취한 물리화학적 특성이 잘 규명된 4종의 토양시료에 As(III) 및 As(V)를 흡착시킨 후 토양시료에 대한 추출용액의 비 1:100 조건에서 pH를 1.5로 고정시킨 생리학적 추출용액을 이용한 추출시험을 통하여 초기 노화조건에서의 비소의 생접근도(bioaccessibility) 및 As(III) 산화정도와 6개월간의 노화시간 경과에 따른 비소의 생접근도를 조사하였다. 토양시료에 As(C)를 주입시킨 후 48시간이 경과되었을 때 모든 토양시료에서, 특히 Ult-B, 빠르고도 강한 As(V)의 고정화(sequestration) 현상이 일어났다. 그렇지만 3개월이 지난 후에는 As(V)의 고정화에 큰 변화가 없었다. 동일한 토양시료에 As(III)를 인위적으로 오염시킨 후 48시간이 경과되었을 때 Inc-A 및 Ult-A 토양시료에서는 상당 분율의 As(III)가 As(V)로 산화되었다. 이러한 As(III)의 산화정도는 토양시료내의 망간 함량과 비례관계가 있는 것으로 나타났다. As(III)를 오염시킨 Inc-B 및 Ult-B 토양시료에서의 노화시간 경과에 따른 총비소의 생접근도 감소는 Inc-A 및 Ult-A 토양시료에서 얻어진 값보다 더 크게 나타났다. 이러한 경향은 철 함량이 풍부한 Inc-B 및 Ult-B 토양들이 As(III)로부터 산화된 As(V)를 지속적으로 고착화시킴에 따른 것으로 여겨지며 As(V)로 오염시킨 토양시료에서 얻어진 As(V) 고착화 정도와 유사한 경향을 나타내었다.

해수 중 용해시킨 기체에 의해 제작한 전착 막의 결정구조 제어 및 특성 평가 (Crystal Structure Control of Deposit Films Formed by Electrodeposition Process with Dissolved Gases in Seawater and Their Properties)

  • 박준무;최인혜;황성화;강준;이찬식;이명훈
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국표면공학회 2016년도 추계학술대회 논문집
    • /
    • pp.164-164
    • /
    • 2016
  • 항만 및 해양 구조물은 육상과는 비교할 수 없을 정도로 가혹한 해수 환경에서 사용되며 계속적으로 부식 손상을 받는다. 따라서 강구조물이 장기적으로 안전하게 사용되기 위해서는 적절한 방식은 물론 철저한 유지관리가 필수적이다. 한편, 현재 해양환경 중 항만, 조선, 해양산업 등에 많이 이용되는 강구조물은 이에 대응하기 위하여 일반적으로 도장방식이나 음극방식이 사용되고 있다. 음극방식은 피방식체를 일정전위로 음극 분극하는 원리로써 외부전원을 인가하거나 비전위의 금속을 희생양극으로 연결하여 방식하는 방법이다. 이와같이 해수 중 음극방식을 실시할 경우 해수 중 용존하는 많은 이온들 중에서 특히 $Ca^{2+}$ 이나 $Mg^{2+}$ 이온이 탄산칼슘, 수산화마그네슘을 주성분으로하는 화합물로 형성된다. 이렇게 생성된 전착막은 산소 확산을 방지하는 물리적 장벽을 형성하고 부식율을 감소시키는 것으로 보고되고 있다. 그러나 전착막은 소지 금속과의 결합력이 불균일 함은 물론 막을 형성하는데 있어서 장시간이 소요된다는 단점이 있다. 따라서 본 연구에서는 해수 중 음극방식 응용 원리에 의해 전착막을 형성하고, 석출속도, 밀착성 및 내식특성을 향상시키기 위해 해수 중 기체를 용해시켜 제작한 막의 특성을 분석-평가하였다. 본 연구에 사용된 기판(substrate)은 일반구조용 강(SS400)을 사용하였으며, 면적은 $70mm{\times}30mm$, 두께는 1 mm로 제작하여 실험을 진행하였다. 외부전원은 정류기(Rectifier, xantrex, XDL 35-5T)를 사용하여 3 및 $5A/m^2$ 의 조건으로 인가하였고, 양극은 Carbon Rod를 사용하였다. 이때 해수에 주입한 이산화탄소의 양은 0.5 NL/min 였다. 각 조건별로 제작된 전착막에 대해 외관관찰, 석출량, 모폴로지, 조성원소 및 결정구조 분석을 실시하였고, 밀착성 및 내식특성을 평가하기 위해 테이핑 테스트(Taping Test, JIS K 5600-5-6)와 3.5 % NaCl 용액에서 전기화학적 양극 분극 시험을 진행하였다. 시간에 따른 전착막의 외관관찰 결과 전류밀도의 증가와 함께 상대적으로 많은 피막이 형성되었고, 용해시킨 기체에 의해 더 치밀하고 두터운 피막이 형성됨을 확인할 수 있었다. 성분 및 결정구조 분석 결과 $Mg(OH)_2$ 성분의 Brucite 및 $CaCO_3$ 성분의 Calcite 구조 및 Aragonite 구조를 확인하였으며, 용해시킨 기체의 영향으로 $CaCO_3$ 성분의 Aragonite 구조가 상대적으로 많이 검출되었다. 이는 해수 중 용해된 이산화탄소의 영향으로 인해 풍부한 ${CO_3}^{2-}$ 이온이 형성되고 용액 pH를 낮게 유지시켜 Ca 화합물 형성이 용이한 환경이 조성되는 것으로 판단된다. 밀착성 및 내식성 평가를 실시한 결과 해수중 용해시킨 기체에 의해 제작한 시편의 경우 견고하고 화학적 친화력이 높은 Aragonite 결정이 표면을 치밀하게 덮어 전해질로부터 산소와 물의 침입을 차단하는 역할을 하여 기체를 용해시키지 않은 $3A/m^2$$5A/m^2$ 보다 비교적 우수한 밀착성 및 내식 특성을 보이는 것으로 사료된다.

  • PDF

공내수 치환 전기전도도검층을 이용한 연안지역 대수층의 탐지 (Detection of Inflow Permeable Zones Using Fluid Replacement Conductivity Logging in Coastal Aquifer)

  • 황세호;박윤성;신제현;박권규
    • 지구물리와물리탐사
    • /
    • 제9권3호
    • /
    • pp.225-230
    • /
    • 2006
  • 연안지역의 해수침투대에서 투수성 파쇄대 및 고염분 지하수가 유입되는 구간의 탐지를 위하여 공내수 치환 전기전도도검층을 수행하였다. 공내수 치환 전기전도도검층은 시추공 내의 지하수를 전기적으로 다른 성질을 갖는 지하수로 치환하고 일정 양수 또는 자연 상태에서 시간에 따른 전기전도도의 변화를 측정하는 것으로 시추공과 교차하는 투수성 파쇄대 또는 다공성의 대수층에서 시추공 내로 유입되는 지층수 전기전도도의 변화 특성을 측정하면 지하수가 유입되는 구간의 확인이 가능하다. 현장 시험에 적용한 공내수 치환 시스템은 주입과 양수, 유량측정이 가능하며 내경이 작은 모니터링 PVC 케이싱이 설치된 시추공에도 적용이 가능하도록 제작하였다. 전남 영광의 연안지역에 위치하는 3개 시추공에서 공내수 치환기법을 적용하여 전기전도도의 변화 특성을 측정한 결과, 연구지역의 고염분 지하수는 균열암반을 통한 해수침투로 확인되었다. 공내수 치환 전기전도도검층법은 연안지역에서 수리상수 추정, 최적의 양수설계, 해수침투 특성 평가 등에 활용될 것으로 예상된다.

NMOS 소자의 제작 및 평가 (Fabrication and Evaluation of NMOS Devices)

  • 이종덕
    • 대한전자공학회논문지
    • /
    • 제16권4호
    • /
    • pp.36-46
    • /
    • 1979
  • 본 연구에서는 N -채널 실리콘 게이트 제작기술에 의하여 일련의 크기를 가지는 커페시터와 트렌지스터들이 제작되었다. 그 결과 다양한 이온 주입 조걸, 즉 B 의 경우 에너지 30keV∼60keV와 도오스 3 × 10 ~ 5 × 10 개/㎠ 그리고 P 의 경우 에너지 1001keV∼ 175keV와 4 ×10 ~ 7×11개/㎠ 도오스 영역에서 이들에 대한 D.C. 인자들의 측정치들이 이론적인 계산치들과 비상, 분석되어 있다. 이 D.C. 인자들에는 threshold전압, 공핍층의 폭, 게이트 산화물 두께, 표면상태, 가동 하전입자 밀도, 전자의 이동도 그리고 마지막으로 누설전류가 있는데, 이중 실제 MOS의 제작에 있어서 특허 중요한 threshold전압에 있어서는, 커어브트레이서와 C - V plot을 통하여 측정된 값들이 실제 재산에서 이용된 SUPREM II 컴퓨우터 프로그램에 의한 결과와 훌륭히 접근하고 있다. 그 밖에 여기나온 D.C.인자들 중에서 도오핑 수준은 기판의 역 게이트 바이어스에서 threshold전압들로 부터 계산된 것이고, 역전도는 정의된 subthreshold 기울기로 부터 추산된 것임을 밝혀 둔다. 마지막으로 이와같은 D. C. 시험 결과들을 종합적으로 평가해 볼 때 만들어진 커페시터와 트렌지스터들이 N -채널 MOS I. C. 기억소자용으로 적합함을 보여주고 있다.

  • PDF

습식 공기청정장치의 공기오염물질 제거 특성 (Characteristics of a Wet Air Cleaning System for Removal of Air Pollutants)

  • 배귀남;김용표;백남준
    • 대한환경공학회지
    • /
    • 제22권1호
    • /
    • pp.21-31
    • /
    • 2000
  • 본 연구에서는 공기청정기, 기수분리기 및 중성능 필터로 구성되는 습식 공기청정장치를 대상으로 입자와 유해가스인 $SO_2$, NO, $NO_2$, HCHO 및 $NH_3$의 제거 특성을 실험적으로 살펴보고, 실험결과를 대상물질의 물리화학적 특성과 연관시켜 검토하였다. 입자제거 실험에서는 대기 에어로졸을 송풍기를 통해 장치에 도입하여 장치의 3곳에서 2대의 레이저 입자계수기로 입자크기 분포를 측정하여 각 구성요소의 입자제거효율을 구하였다. 실험결과로부터 기수분리기에서는 입경이 $5{\mu}m$ 이상인 조대 입자가 주로 제거되고. 중성능 필터에서는 이보다 작은 미세 입자가 주로 제거됨을 알 수 있었다. 유해가스 제거 실험에서는 시험용 가스를 송풍기의 출구에 주입하여 공기청정기의 상류와 기수분리기의 하류에서 가스농도를 측정하여 유해가스 제거효율을 구하였다. 실험결과로부터 헨리상수가 큰 수용성인 $SO_2$, HCHO 및 $NH_3$는 제거효율이 높았으나, 헨리상수가 낮아 난용성인 NO와 $NO_2$는 제거효율이 낮음을 알 수 있었으며, 공기청정기에서 상당량의 음이온이 발생됨을 알았다.

  • PDF

레진시멘트의 중합방법이 포스트의 결합강도와 접착계면에 미치는 영향 (EFFECT OF CURING METHODS OF RESIN CEMENTS ON BOND STRENGTH AND ADHESIVE INTERFACE OF POST)

  • 김문홍;김혜정;조영곤
    • Restorative Dentistry and Endodontics
    • /
    • 제34권2호
    • /
    • pp.103-112
    • /
    • 2009
  • 본 연구에서는 2종의 이원중합 레진시멘트 (RelyX ARC와 Variolink II)를 이용하여 접착제와 레진시멘트의 중합방법 (자가중합과 광중합)이 섬유포스트와 근관 상아질의 결합강도와 접착계면에 미치는 영향을 상호 비교하기 위하여 시행하였다. 단근관을 갖는 발거된 32개의 하악 소구치에 근관을 충전한 후, FRC Postec system의 Reamer로 9 mm 깊이의 포스트 공간을 형성하였다. 레진시멘트의 종류와 중합방법에 따라 4개의 군 (R-SC군, R-LC군, V-SC군, V-LC군)으로 분류하였다. 포스트 공간에 각 군의 접착제를 도포한 후 레진시멘트를 주입하고, No. 3 FRC Postec 포스트를 위치시켜 자가중합 또는 광중합시켰다. 각 군의 치근을 실온의 증류수에 24시간동안 보관한 다음, 저속의 diamond wheel saw를 이용하여 치관부에서 치근단부를 향해 1.5 mm두께로 연속적으로 횡절단하여 1개의 치근에서 3개의 절편을 얻었다. 각 군의 절편 (31개)은 만능시험기에서 push-out 검사를 시행하였고, 각 군의 강도 값은 반복측정 two-way ANOVA와 one-way ANOVA를 이용하여 비교 분석하였다. 각 군의 절편 (3개)은 주사전자현미경하에서 섬유포스트, 레진시멘트 및 치근 상아질 간의 계면을 관찰, 비교하였다. 본 연구의 결과 전 부식 레진시멘트를 이용하여 섬유포스트를 포스트 공간에 합착할 경우, 접착제와 레진시멘트의 중합방법은 근관 상아질의 결합강도에 영향을 주었으며, 광중합보다 자가중합 방법 이 우수한 결합강도와 계면을 나타내었다.

KURT 암반 단열에서 현장 용질이동 실험: 실험 장치 설치 및 현장 용질 이동 실험 (In Situ Solute Migration Experiments in Fractured Rock at KURT: Installation of Experimental System and In Situ Solute Migration Experiments)

  • 이재광;백민훈;이태엽;박경우;정종태
    • 방사성폐기물학회지
    • /
    • 제11권3호
    • /
    • pp.229-243
    • /
    • 2013
  • 암반 단열을 통한 용질의 이동 및 지연 특성 규명을 위한 현장 실험을 수행하기 위하여 현장 용질이동 실험 장치를 설계하여 한국원자력연구원 부지 내에 건설된 지하연구시설(KAERI Underground Research Tunnel, KURT)에 설치하였다. 현장 용질이동 실험 장치를 주입부, 회수부 그리고, 자료처리부 등 3개의 주요 부분으로 구성하였다. 지하수 유동이 있는 단열을 선정하기 위하여 총 5개의 공을 시추하였으며, BIPS(Borehole Image Processing System)를 이용한 시추공 영상 분석을 통하여 시추공의 단열 특성을 조사하였다. 시추공 영상 분석 결과를 통하여 단열 연결성 분석을 수행한 결과, YH 3-1 시추공과 YH3-2 시추공에 존재하는 단열이 상호 연결성이 높은 것으로 확인되었다. 수리시험을 통하여 현장 실험 대상 단열을 선정하였으며, 용질이동을 관찰하기 위하여 플루오레신, 에오신, 브롬 등의 비수착성 추적자 및 루비듐, 니켈, 사마륨, 지르코늄 등의 수착성 추적자를 이용하여 현장 용질이동 실험을 수행하였다.

국소마취제에 함유된 에피네프린의 농도가 치수 및 치은 혈류에 미치는 영향 (The Influence of Epinephrine Concentration in Local Anesthetics on Pulpal and Gingival Blood Flows)

  • 이재상;김성교
    • Restorative Dentistry and Endodontics
    • /
    • 제28권6호
    • /
    • pp.475-484
    • /
    • 2003
  • 동통조절을 위해 국소마취제는 치과임상에서 광범위하게 사용되어진다. 가장 널리 쓰이는 국소마취제는 리도카인이고 이는 마취효과의 지속 및 지혈효과 등의 목적으로 혈관수축제를 포함하고 있다. 대표적 혈관수축제인 에피네프린은 임상에서 1:300,000에서부터 1:50,000의 농도로 다양하게 사용되어진다. 수복치료를 위해서는 통상적으로 1:100.000농도의 에피네프린이 사용되고 있고 외과적 근관치료시 지혈효과를 위해서는 1:50,000농도의 에피네프린이 추천되고 있다. 이들 농도의 에피네프린을 포함한 리도카인으로 국소마취시 에피네프린의 농도가 치수의 혈류 및 치은의 혈류에 미치는 영향을 이해할 필요가 있고 그 영향이 전기치수검사에 대한 치수의 반응성에 미치는 영향도 이해할 필요가 있다. 따라서 혈관수축제를 포함한 국소마취제에 의한 치수혈류의 변화와 치수신경의 반응성을 이해하는 것은 중요하다 하겠다. 본 연구의 목적은 두 가지 농도의 에피네프린을 포함한 국소마취제로 마취시 나타나는 치수 및 치은의 혈류 변화를 치수신경의 반응성과 비교, 관찰함으로써 국소마취제가 치수 및 치은에 미치는 영향을 파악하고자 함에 있다. 24세에서 27세까지의 10명의 피검자의 건전한 상악중절치를 시험에 이용하였다. Laser Doppler flowmeter의 probe을 고정하기 위한 splint를 간접법으로 인상용 putty를 이용하여 제작하고 치수 및 치은의 혈류량, 그리고 전기치수검사에 대한 반응성을 측정하기 위한 3개의 구멍을 만들었다. 피검자를 10분간 안정시킨 후 마취 전 10분간 정상 혈류량과 전기검사치를 측정하고 1:50,000 epinephrine과 1:100,00 epinephrine이 각각 함유된 2% 리도카인 용액 0.9 ml를 상악 좌측 중절치 치근단부위 협점막에 침윤마취하였다. 마취 후 70분간 치수 및 치은 혈류량을 laser Doppler flowmeter를 이용해 연속적으로 측정하여 그 수치를 컴퓨터에 저장하였고, 매 5분 간격으로 전기치수검사를 시행하여 그 측정치를 기록하였다. 매 시간 간격의 평균 혈류량을 정상 혈류량에 대한 백분율로 나타내고, 각각의 농도에서 최소 치수 및 치은 혈류량을 Paired t-test, Wilcoxon's signed rank test. Duncan's multiple range test. Fisher's exact test등을 이용. 통계분석 하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 에피네프린이 함유되어 있지 않은 리도카인을 협점막에 주사시 혈류변화가 거의 나타나지 않았으나 1:50,000 및 1:100.000 에피네프린이 함유된 2% 리도카인을 협점막에 침윤마취시 치수 및 치은 혈류 공히 현저히 감소하였다(p<0.01). 1:50,000 에피네프린군은 1:100,000 에피네프린군에 비해 치수 혈류량이 현저히 억제되어 나타났으나(p<0.01), 치은 혈류량에서는 유의성 있는 차이를 나타내지 않았다(p>0.05). 두 농도의 에피네프린 군 공히 치은혈류는 치수혈류에 비해 유의하게 많은 감소를 나타내었다(p<0.05). 1:100,000 에피네프린 군에서 마취액 주입 후 치수혈류 최대감소가 가장 먼저 나타났고 이어서 전기검사에 대한 치수의 반응성 소실 및 치은혈류 최대 감소의 순으로 나타났다(p<0.05). 1:50,000 에피네프린군의 경우가 1:100,000 에피네프린군의 경우에 비해 마취지속시간이 길게 나타났으나 유의성은 없었다(p>0.05).

치과용 접착제가 복합레진 인레이와 레진시멘트의 결합력에 미치는 영향 (INFLUENCE OF ADHESIVE APPLICATION ON SHEAR BOND STRENGTH OF THE RESIN CEMENT TO INDIRECT RESIN COMPOSITE)

  • 송미혜;박수정;조현구;황윤찬;오원만;황인남
    • Restorative Dentistry and Endodontics
    • /
    • 제33권5호
    • /
    • pp.419-427
    • /
    • 2008
  • 본 연구는 레진시멘트의 레진인레이에 대한 접착 시 접착제 혹은 primer의 사용이 결합력에 영향을 미치는지 평가하기 위해 시행하였다. 직경 5mm,높이 4.5mm의 원기둥 형태로 제작한 레진인레이 (Tescera, Bisco, USA)의 표면을 1000번, 1500번 그리고 2000번 사포로 주수 하에서 연마하여 평편한 면을 형성한 후 레진인레이의 표면에 sandblasting을 시행한 후 표면에 1분 동안 silane을 도포하였다. 2군으로 나누어 한 군은 대조군으로, 다른 한 군은 표면에 동일한 제조사의 접착제나 프라이머를 도포한 후 중합하였다. 레진인레이 상에 3mm 직경의 구멍이 형성된 아크릴판을 고정하고, 구멍에 레진 시멘트를 주입하여 경화시켰다. 레진 시멘트는 Panavia-F (Kurary), Varolink-II(Ivoclar-Vivadent), RelyX Unicem(3M ESPE), Duolink(Bisco)와 자가중합형인 Multilink (Ivoclar-Vivadent)를 사용하였다. 제작된 시편을 만능물성시험기에 위치시고 전단결합강도를 측정하였다. 측정 결과 접착제나 프라이머를 도포한 군은 대조군에 비해 전단결합강도가 증가하였다 (p<0.05). 하지만 Variolink-II와 Panavia-F는 전단결합강도의 차이를 보이지 않았다. 대조군에서는 각 레진 시멘트간에 전단결합강도의 유의한 차이를 보였으며 (p<0.01) Variolink-II가 가장 높은 결합강도를 보인 반면, 자가중합형인 Multilink가 가장 낮은 결합강도를 보였다. 하지만, 접착제나 프라이머를 도포한 군에서는 각 제품간에 전단결합강토의 차이를 보이지 않았다. 이상의 결과 이원중합형이나 자가중합형 레진시멘을 이용하여 레진인레이 부착 시 silane 처리 후 접착제나 프라이머의 도포가 결합 강도의 증가를 위해 필요하리라 사료된다.

ECR-PECVD 방법으로 제작된 DLC 박막의 기판 Bias 전압 효과

  • 손영호;정우철;강종석;정재인;황도원;김인수;배인호
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
    • /
    • pp.188-188
    • /
    • 2000
  • DLC (Diamond-Like Carbon) 박막은 높은 경도와 가시광선 및 적외선 영역에서의 광 투과도, 전기적 절연성, 화학적 안정성 및 저마찰.내마모 특성 등의 우수한 물리.화학적인 물성을 갖고 있기 때문에 여러 분야의 응용연구가 이루어지고 있다. 이러한 DLC 박막을 제작하는 과정에는 여러 가지가 있으나, 본 연구에서는 ECR-PECVD electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition) 방법을 사용하였다. 이것은 최근에 많이 이용되고 있는 방법으로, 이온화률이 높을뿐만 아니라 상온에서도 성막이 가능하고 넓은 진공도 영역에서 플라즈마 공정이 가능한 장점이 있다. 기판으로는 4" 크기의 S(100)를 사용하였고, 박막을 제작하기 전에 진공 중에서 플라즈마 전처리를 하였다. 플라즈마 전처리는 Ar 가스를 150SCCM 주입시켜 5$\times$10-1 torr 의 진공도를 유지시키면서, ECR power를 700W로 고정하고, 기판 bias 전압을 -300 V로 하여 5분 동안 기판을 청정하였다. DLC 박막은 ECR power를 700W. 가스혼합비와 유량을 CH4/H2 : 10/100 SCCM, 증착시간을 2시간으로 고정하고, 기판 bias 전압을 0, -50, -75, -100, -150, -200V로 변화시켜가면서 제작하였다. 이때 ECR 소스로부터 기판까지의 거리는 150mm로 하였고, 진공도는 2$\times$10-2torr 였으며, 기판 bias 전압은 기판에 13.56 MHz의 RF power를 연결하여 RF power에 의해서 유도되는 negative DC self bias 전압을 이용하였다. 제작된 박막을 Auger electron spectroscopy, elastic recoil detection, Rutherford backscattering spectroscopy, X-ray diffraction, secondary electron microscopy, atomic force microscoy, $\alpha$-step, Raman scattering spectroscopu, Fourier transform infrared spectroscopy 및 micro hardness tester를 이용하여 기판 bias 전압이 DLC 박막의 특성에 미치는 영향을 조사하였다. 분석결과 본 연구에서 제작된 DLC 박막은 탄소와 수소만으로 구성되어 있으며, 비정질 상태임을 알 수 있었다. 기판 bias 전압의 증가에 따라 박막의 두께가 감소됨을 알 수 있었고, -150V에서는 박막이 거의 만들어지지 않았으며, -200V에서는 기판 표면이 식각되었다. 이것은 기판 bias 전압과 ECR 플라즈마에 의한 이온충돌 효과 때문으로 판단되며, 150V 이하에서는 증착되는 양보다 re-sputtering 되는 양이 더 많을 것으로 생각된다. 기판 bias 전압을 증가시킬수록 플라즈마에 의한 이온충돌 현상이 두드러져 탄소와 결합하고 있던 수소원자들이 떨어져 나가는 탈수소화 (dehydrogenation) 현상을 확인할 수 있었으며, 이것은 C-H 결합에너지가 C-C 결합이나 C=C 결합보다 약하여 수소 원자가 비교적 해리가 잘되므로 이러한 현상이 일어난다고 판단된다. 결합이 끊어진 탄소 원자들은 다른 탄소원자들과 결합하여 3차원적 cross-link를 형성시켜 나가면서 내부 압축응력을 증가시키는 것으로 알려져 있으며, hardness 시험 결과로 이것을 확인할 수 있었다. 그리고 표면거칠기는 기판 bias 전압을 증가시킬수록 더 smooth 해짐을 확인하였다.인하였다.

  • PDF