• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.312.2-312.2
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• 2014

실리콘은 광센서, 태양전지, 발광다이오드 등 광소자 응용 분야에서 널리 사용되고 있는 물질이다. 그러나 실리콘의 높은 굴절율(n~3.5)은 표면에서 약 30% 이상의 Fresnel 반사를 발생시켜 소자의 효율을 감소시키는 원인이 된다. 따라서, 반사손실을 줄이기 위해서는 실리콘 표면에 효율적인 무반사 코팅을 필요로 한다. 기존의 단일 혹은 다중 박막을 이용한 무반사 코팅 기술은 물질간 열팽창계수의 불일치, 접착력 문제, 박막 두께 조절 및 적합한 굴절율을 갖는 물질 선택 어려움 등의 단점을 지니고 있다. 최근, 이러한 무반사 코팅 기술의 대안으로 곤충 눈 구조를 모방한 나노크기의 서브파장 격자구조 (subwavelength gratings, SWGs)에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 이러한 SWGs 구조는 공기와 반도체 표면 사이에 점진적, 선형적으로 변화하는 유효굴절율을 갖기 때문에, 광대역 파장영역뿐만 아니라 다양한 각도에서 입사하는 빛에 대해서도 효과적으로 Fresnel 표면 반사를 낮출 수 있다. 본 연구에서는 실리콘 기판 표면 위에 효율적인 무반사 특성을 갖는 계층적 SWGs 나노구조를 제작하기 위해, 레이저간섭리소그라피 및 열적응집금속 입자를 이용한 식각 마스크 패터닝 방법과 유도결합플라즈마 식각 공정을 이용하였다. 제작된 무반사 실리콘 SWGs 나노구조의 표면 및 식각 프로파일은 전자주사현미경으로 관찰하였고, 표면 접촉각 측정 장비를 이용하여 샘플 표면의 젖음성을 확인하였다. 제작된 샘플의 광학적 특성을 조사하기 위해 UV-vis-NIR 스펙트로미터와 엘립소미터 측정 시스템들을 이용하였다.

• 제어로봇시스템학회논문지
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• 제9권7호
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• pp.507-514
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• 2003

Inspection and shape measurement of three-dimensional objects are widely needed in industries for quality monitoring and control. Recently the shape measurement using interferometric principle is found to be a successful methodology among other visual or optical technologies. Especially, the measuring method using wavelength scanning interferometer(WSI) has a great advantage in comparison with other conventional jnterferometric methods in that the absolute distance from the reference surface can be directly obtained from the amount of jnterferometric phase change. However, the measurement methods using WSI proposed by other researchers have low measurement resolution so far because they can't measure fractional phase change. To avoid this shortcoming we propose a new algorithm in this paper, which can obtain a small amount of even fractional phase change by sinusoidal function fitting. To evaluate the effectiveness of the proposed sinusoidal function fitting algorithm, a series of measuring experiments are conducted for discontinuously shaped specimens which have various height. The proposed algorithm shows much more enhanced measurement resolution than other existing conventional algorithms such as zero crossing algorithm and Fourier transform algorithm.

• 한국광학회지
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• 제17권1호
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• pp.47-53
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• 2006

미국 등 세계 여러 나라에서 사용되는 기존의 총기 인식 시스템(Integrated Ballistic Identification System)은 탄흔을 2차원 현미경을 통해 측정, 해석하기 때문에 여러 가지 한계를 가지고 있다. 대표적으로 측정 표면의 거칠기나 기울기 성분, 빛의 조명 각도, 조명 광량의 균일 정도, 표면의 다중 반사나 광학적 특성에 의해 측정 결과가 크게 영향을 받는다. 이로 인해 부정확한 해석을 할 수밖에 없고, 결국 총기 인식 결과의 신뢰성이 떨어진다. 본 연구에서는 이와 같은 단점을 극복하기 위해 조명이나 표면 조건에 영향을 적게 받는 삼차원 형상 측정을 도입했다. 대표적으로 백색광 주사간섭계와 동초점현미경이 사용되었으며, 이런 측정기들은 미국 표준연구소 (National Institute of Standards and Technology, NIST)의 교정 단계를 밟아 보정했다. 그 결과 반복성과 재현성이 뛰어난 측정 결과를 얻을 수 있었다. 또한 본 논문에서 제안하는 3차원 형상 비교 알고리즘을 통해 보다 높은 신뢰도를 갖는 총기 인식이 가능해졌다.

• 대한한의학회지
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• 제21권4호
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• pp.148-158
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• 2000

Objective : The purpose of this study was to investigate the back shape of school children using the phase-shifting scanning grating projection moire interferometer, which was developed by the Korea Advanced Institute of Science and Technology and is useful in evaluating three dimensional back shape. Methods : In this study the subjects consisted of 1,358 pupils [711 boys(52.36%), 647 girls(47.64%)] attending elementary and middle schools in Seoul. Their ages ranged from nine to fifteen and the average age was 12.2. With the phase-shifting scanning grating projection moire interferometer, the posterior view of the body were taken to see if there are correlations of moire fringe number, width difference between left and right, and correlation between differences in moire fringe number and width on both sides in the scapular, lumbar and gluteal regions. Results : The results were as follows : I. More frequent findings of fringe were observed on the right in all regions : in the scapular region, 309 boys(43.4%) and 156 girls(24.2%) had more fringe numbers on the right side; in the lumbar region, 68 boys(9.5%) and 11 girls(1.7%); and in the gluteal region, 160 boys(22.4%) and 63 girls(9.8%). Such tendency was striking especially in the scapular and lumbar regions, and in boys rather than in girls. In the scapula, 661 subjects(48.7%) with one moire fringe on either side need further attention and 110 subjects(8.I %) with two or more are required to do follow-up radiography for scoliosis. 2. In an analysis of width difference in the trunk, the left side is wider in all regions except for the gluteal region in boys : in the scapular region 21 boys(3.0%) and 103 girls(15.9%); in the lumbar region, 87 boys(12.2%) and 250 girls(38.6%); and in the gluteal region 197 girls(30.4%) had a wider left side and 45 boys(6.3%) showed a wider right side. 3. In correlation analysis of the number of moire fringe and width difference in each region, the side where more moire fringes were observed was significantly wider in the lumbar and gluteal regions, but not in the scapular region.(p<0.01) Conclusions : From these results, it is concluded that the back shape of elementary and middle school students in Seoul shows that the right side had more moire fringes; the left side was wider; and especially in the lumbar and gluteal regions the side where more moire fringes were observed was wider.

• 환경정책연구
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• 제7권3호
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• pp.141-160
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• 2008

본 연구는 속리산 국립공원에서 쌍곡계곡 지역과 법주사 지역 내에 위치한 지역 중에서 인간의 의한 교란이 가장 큰 도로개설지역, 교란이 중간 정도인 등산로지역 그리고 간섭이 거의 없는 출입통제지역을 선택하여 산림생태계에서 인간의 교란 정도에 따른 조류군집의 차이를 연구하였다. 번식기와 비번식기의 조사(n=12)에서 조류의 종수와 개체수, 종다양도 및 밀도에서는 세 지역 사이에 유의적인 차이가 나타나지 않았다. 그러나 번식기의 조사(n=9)에서는 조류의 종수(Kruskal Wallis, $x^2$=10.32, p=0.006)와 개체수(Kruskal Wallis, $x^2$=7.118, p=0.028) 및 종다양도(Kruskal Wallis, $x^2$=9.847, p=0.007)가 인간에 의한 교란이 중간정도인 등산로 지역에서 가장 높게 나타났다. 그러나 번식기 조류 군집의 영소 및 취식 길드 분석에서는 세 지역 사이에 영소 및 취식 길드 분포비율은 차이가 나타나지 않았다. 영소길드는 세 지역 모두 나무구멍 영소길드가 가장 높았고, 취식길드는 수관층 취식길드가 가장 높게 나타났다.