• Title/Summary/Keyword: 조절제어

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The characteristics of silicon nitride thin films prepared by atomic layer deposition with batch type reactor (Batch-Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성)

  • Kim, Hyuk;Lee, Ju-Hyun;Han, Chang-Hee;Kim, Woon-Joong;Lee, Yeon-Seung;Lee, Won-Jun;Na, Sa-Kyun
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.12 no.4
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    • pp.263-268
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    • 2003
  • Precise thickness control and excellent properties of silicon nitride thin films are essential for the next-generation semiconductor and display devices. In this study, silicon nitride thin films were deposited by batch-type atomic layer deposition (ALD) method using $SiC1_4$ and $NH_3$ as the precursors at temperatures ranging from 500 to $600^{\circ}C$. Thin film deposition using a batch-type ALD reactor was a layer-by-layer atomic growth by self-limiting surface reactions, and the thickness of the deposited film can be controlled by the number of deposition cycles. The silicon nitride thin films deposited by ALD method exhibited composition, refractive index and wet etch rate similar with those of the thin films deposited by low-pressure chemical vapor deposition method at $760^{\circ}C$. The addition of pyridine mixed with precursors increased deposition rate by 50%, however, the films deposited with pyridine was readily oxidized owing to its unstable structure, which is unsuitable for the application to semiconductor or display devices.

Analysis of Discharge and Water Quality change of Doam Reservoir by Climate Change (기후변화에 따른 도암댐유역의 유출 및 수질변화 분석)

  • Kim, Jung-Min;Kim, Young-Do;Kang, Boo-Sik
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2012.05a
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    • pp.908-908
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    • 2012
  • 국내 기후 특성상 하절기에 집중되는 강우로 인해 댐의 건설을 홍수조절, 용수확보 및 전력생산 등의 목적에 있어서 불가피하다. 이와 같은 저수지와 하류하천은 댐 수문 개폐에 따라 흐름변화로 인하여 수체의 거동 및 수질 변화가 발생하며, 일반적인 하천과는 다른 특성을 지니게 된다. 또한 수심이 깊은 저수지의 경우에는 흐름방향과 더불어 수심 방향의 특성도 중요하며, 수리 및 수질 모형의 연계를 통한 3차원적인 해석을 필요로 한다. 유역 내 지상 또는 대기에서 발생한 모든 오염물질은 강우에 의해 하천과 호수와 같은 수체로 유입되며, 강우가 발생했을 때 유역의 토지피복 상태와 수리, 지형, 강우강도, 토양의 특성에 의해 하천으로 유입되는 오염물질의 농도와 부하특성이 달라진다. 비점오염물질의 축적이 가능한 호수나 저수지에서는 비점오염원의 유입이 더 큰 문제가 되며, 유량이 극히 미미한 하천의 경우에는 강우초기에 일시에 집중적으로 유입되는 초기 오염 부하량이 문제가 된다. 강우유출수의 하천 유입은 강우 현상과 밀접한 관계를 맺고 있으므로 그 제어가 쉽지 않다. 이러므로 이를 총괄하는 유역통합관리기술이 필요로 하며, 기존의 유역통합관리기술은 댐 상류유역을 중심으로 개발되고 있으며, 댐 상류유역과 저수지, 하류하천으로 구분되어 연구되어 왔다. 또한 각각의 모형이 개별적으로 적용되어 통합적인 평가시스템이 표준화되지 않은 관계로 댐 상하류 모니터링 자료가 연계된 실무 적용이 이루어지지 않고 있다. 따라서 하천 수리 수문학적 역학구조를 이해하고 그 특성에 적합하게 평가할 수 있는 표준화된 시스템이 구축되어야 한다. 또한 효과적인 유역통합관리를 위해서는 하천의 현재 뿐만 아니라 장래에 대한 예측부분도 포함되어야 한다. 본 연구에서는 댐 유역에서의 유출과 수질 변화를 모의하고 이를 이용하여 저수지 내에서의 오염물질 거동에 대해서 해석하였다. 또한 기후변화에 따른 유역, 저수지 및 하천에 미치는 영향을 고려하기 위하여 고해상도 지역기후전망 모의자료를 이용하여 수문학적 스케일로 통계적 상세화한 후 지역별 상세수문시나리오를 생산하여 미래 예측에 활용하였다. 기후변화 시나리오의 상세화를 통한 상세지역의 기후를 예측하고, 예측된 기상자료를 이용하여 유역모델을 모의하여 미래의 유출 및 수질 변화를 파악할 수 있는 기술 개발로 인해 저수지의 운영에 도움을 주고, 주수지의 치수증대 사업 등 유출의 변화에 따른 하류하천 변화를 파악할 수 있고, 기후변화에 따른 하류하천에 대한 홍수기 때 치수, 이수 및 방재에 대하여 기초자료를 제공할 수 있을 것으로 판단된다.

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InAlGaAs 장벽층의 상분리 현상에 따른 InAs 나노 양자점의 성장거동 연구

  • Jo, Byeong-Gu;Kim, Jae-Su;Lee, Gwang-Jae;Park, Dong-U;Kim, Hyeon-Jun;Hwang, Jeong-U;O, Hye-Min;Kim, Jin-Su;Choe, Byeong-Seok;O, Dae-Gon
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.165-165
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    • 2010
  • $1.55\;{\mu}m$ 대역의 레이저 다이오드를 제작하기 위해, InP(001) 기판에 InAlGaAs 물질을 장벽층으로 하는 InAs 양자점 구조를 분자선증착기 (MBE)를 이용하여 성장하고 구조 및 광학적 특성을 Double Crystal X-ray Diffraction (DCXRD), Atomic Force Microscopy (AFM), Photoluminescence (PL)을 이용하여 평가하였다. 일반적으로 InAlGaAs 물질은 고유한 상분리 현상 (Phase Separation)이 나타나는 특성이 있으며, 이는 양자점 성장에 중요한 요인으로 작용할 수 있다. 이러한 InAlGaAs 물질의 상분리 현상을 기판온도 ($540^{\circ}C$, $555^{\circ}C$, $570^{\circ}C$)를 비롯한 성장변수를 변화시켜 제어하고 InAs 양자점 형성에 어떠한 영향을 미치는지를 분석하였다. 540의 성장온도에서 InP(001) 기판에 격자정합한 InAlGaAs 장벽층이 성장온도를 $570^{\circ}C$로 증가시킬 경우 기판에 대하여 인장 응력 (Tensile Strain)을 받는 구조로 변화되었다. 인장응력을 받는 InAlGaAs 장벽층을 Ga Flux 양을 조절하여 격자정합한 InAlGaAs 층을 형성할 수 있었다. AFM을 통한 표면 형상 분석 결과, 서로 다른 기판온도에서 성장한 InAlGaAs 물질이 InP(001) 기판에 격자정합 조건일지라도 표면의 거칠기 (Surface Roughness)는 매우 다른 양상을 보였고 InAs 양자점 형성에 직접적으로 영향을 주었다. $570^{\circ}C$에서 성장한 InAlGaAs 위에 형성한 InAs 양자점의 가로방향 크기를 세로방향 크기로 나눈 비율이 1.03으로서, 555와 $540^{\circ}C$의 1.375 와 1.636와 비교할 때 모양 대칭성이 현저히 개선된 것을 알 수 있다. 상분리 현상이 줄어 표면 거칠기가 좋은 InAlGaAs 위에 양자점을 형성할 때 원자들의 이동도가 상대적으로 높아 InAs 양자점의 크기가 증가하고, 밀도가 감소하는 현상이 나타났다. 또한 InAlGaAs 장벽층이 InP(001) 기판을 기준으로 응력 (Compressive 또는 Tensile)이 존재하는 경우, InAs 양자점 모양이 격자정합 조건 보다 비대칭적으로 변하는 특성을 보여 주었다. 이로부터, 대칭성이 개선된 InAs 양자점 형성에 InAlGaAs 장벽층의 표면 거칠기와 응력이 중요한 변수로 작용함을 확인 할 수 있었다. PL 측정 결과, 발광파장은 $1.61\;{\mu}m$로 InAs 양자구조 형상에 따라 광강도 (Intensity), 반치폭 (Line-width broadening) 등이 변화 되었다.

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다양한 활성제 이온이 치환 고용된 MgNb2O6 형광체의 특성

  • Kim, Ji-Seon;Jo, Sin-Ho
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.167-167
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    • 2013
  • 최근에 산화물 형광체는 황화물 형광체에 비해 높은 화학적 안정성을 나타내기 때문에 백색 발광 다이오드, 전계방출 디스플레이와 플라즈마 디스플레이 패널에 그 응용성을 넓히고 있다. 마그네슘 니오베이트(magnesium niobate, MgNb2O6)는 우수한 유전 특성(상대 유전상수=18.4)을 나타내기 때문에 마이크로파 유전체로 응용 가능하며, 단일상 릴랙서 페라브스카이트(relaxor perovskite) Pb(Mg1/3Nb2/3)O3을 합성하기 위한 전구체 (precursor)로 널리 사용되고 있으며, 나이오븀산염 이온에서 다양한 색상을 방출하는 활성제 이온으로 효율적인 에너지 전달이 일어남으로써 Sm3+, Dy3+, Eu3+와 같은 희토류 이온의 좋은 모체 격자로 개발할 수 있다. 본 연구에서는 마그네슘 니오베이트 MgNb2O6 모체 결정에 다양한 활성제 이온, 즉 Eu3+, Sm3+, Dy3+, Tb3+를 선택적으로 주입하여 발광 효율이 높은 천연색 형광체를 합성하고자 한다. 특히, 모체 결정에 주입되는 활성제 이온 주위의 국소적인 환경이 반전 대칭에서 변형되는 척도를 조사하여 활성제의 주 발광 파장의 세기가 최대가 되는 최적의 조건을 결정하고자 한다. Mg1-1.5xNb2O6:REx3+ 형광체 분말 시료는 초기 물질 MgO, Nb2O5와 희토류 이온을 화학 반응식에 맞게 정밀 저울로 측량하여 플라스틱 용기에 ZrO2 볼과 함께 넣고, 소정의 에탄올을 채운 뒤 밀봉하고서, 300 rpm의 속도로 20시간 볼밀 (ball-mill) 작업을 수행하였다. 그 후, 체(sieve)로 ZrO2 볼을 걸러낸 다음에 혼합된 용액을 각 비커에 담아서 $40^{\circ}C$의 건조기에서 24시간 건조하였고, 건조된 시료를 막자 사발에 넣고 잘게 갈고 80 ${\mu}m$의 체로 걸러낸 후에, 알루미나 도가니에 활성제 이온별로 각각 담아, 전기로에 장입하여 매분당 $5^{\circ}C$의 비율로 온도를 상승시켜 $350^{\circ}C$에서 5시간 동안 하소 공정을 실시한 후에, 온도를 계속 일정한 율로 증가시켜 $1,200^{\circ}C$에서 5시간 동안 소성하여 합성하였다. 합성된 형광체 분말의 결정 구조는 $Cu-K{\alpha}$ 복사선(파장: 1.5406)을 사용하여 X-선회절장치로 측정하였으며, 형광체의 표면 형상은 전계형 주사전자현미경으로 관측하였다. 흡광와 발광스펙트럼은 제논 램프를 광원으로 갖는 형광 광도계를 사용하여 측정하였다. 모체 결정에 활성제 이온 Eu3+, Sm3+, Dy3+, Tb3+가 도핑된 형광체 분말은 각각 적색, 주황색, 황색, 녹색 발광이 관측되었다. 각 발광 스펙트럼과 결정 입자의 크기와 형상 사이의 상호 관계를 조사하였다. 실험 결과로부터, 각 형광체의 발광 파장은 활성제 이온의 종류 와 서로 밀접하게 관련되어 있으며, 형광체 시료 합성시 활성제 이온의 농도를 선택적으로 조절함으로써 발광의 세기를 제어할 수 있음을 확인하였다.

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Microstructure and Properties of Organic-Inorganic Hybrids(PDMS/SiO$_2$) Through Variations in Sol-Gel Processing (졸-겔공정의 변수조절을 통해 제조된 유기-무기복합체 (PDMS/SiO$_2$)의 미세구조와 특성)

  • Eun, Hui-Tae;Hwang, Jin-Myeong
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.11 no.2
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    • pp.94-103
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    • 2001
  • SiO$_2$ and PDMS/SiO$_2$ xerogels which are derived PDMS into TEOS have been synthesized by sol-gel process and controlled pore size and distribution through 2 step acid/base catalyzed processes using HCI and NH$_4$OH as a catalyst. In HCl catalyzed SiO$_2$ and PDMS/SiO$_2$ xerogels, pH and gellation time of xerogel were 2.3~2.5 and 12~13 days, respectively, and the shape of xerogel was identified to pellet type and column type. Under acidic condition of final reaction solution, the hydrolysis rate is accelerating, resulting in long gel times. The shape of xerogel is pellet type. In contrast, under less acidic condition, the condensation rate is accelerating, resulting in shorter gel times and the shape of xerogel is column type. The surface area and average Pore size were changed 400$\rightarrow$600($\m^2$/g) and 15$\rightarrow$28$\AA$, respectively, depending to the increase of the mole ratio of HCl/NH$_4$OH, and represented uniform pore size distribution. It is that all the alkoxide groups are hydrolyzed by HCl after the first step and the condensation rate is enhanced by NH$_4$OH. The regular backbone structures of silica are formed at low temperature and the uniform pores are produced by heat treatment.

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A Study on Removal Efficiency of VOCs using Vortex Cyclones (보텍스 사이클론을 이용한 VOCs 제거효율에 관한 연구)

  • Lim, Gye-Gyu
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.16 no.2
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    • pp.194-199
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    • 2005
  • The principle of vortex cyclone was applied to enhance the treatment efficiency of waste air streams containing particulate matters, phenol, and others. Adsorption, condensation, and/or coagulation could be induced at low temperature zone formed by Joule-Thomson expansion as the pressurized air and pulverized activated carbon were introduced at the tangential direction into the cyclone system applied with the coaxial funnel tube of vortex cyclone. Easily condensible vapors were adsorbed and/or condensed forcibly on coagulated or condensed materials which were formed as cores for coagulation or condensation by themselves or on pulverized activated carbons. These types of coagulation or condensation rates were rapidly promoted by increase in their diameter. The maximum removal efficiency obtained from this experiment for the removal of carbon dioxide and phenol was about 87.3 and 93.8 percent, respectively. Phenol removal efficiency was increased with the relative humidities and enhanced by pulverized activated carbon added. The Joule-Thomson coefficients were increased with the pressure of air injected in the range of the relative humidities between 10% and 50%. It is believed that the moisture, particulate matters, and the pressure of the process air introduced could control the removal efficiency of VOCs.

Factors analysis of the cyanobacterial dominance in the four weirs installed in of Nakdong River (낙동강의 중·하류 4개보에서 남조류 우점 환경 요인 분석)

  • Kim, Sung jin;Chung, Se woong;Park, Hyung seok;Cho, Young cheol;Lee, Hee suk
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2019.05a
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    • pp.413-413
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    • 2019
  • 하천과 호수에서 남조류의 이상 과잉증식 문제(이하 녹조문제)는 담수생태계의 생물다양성을 감소시키며, 음용수의 이취미 원인물질을 발생시켜 물 이용에 장해가 된다. 또한 독소를 생산하는 유해남조류가 대량 증식할 경우에는 가축이나 인간의 건강에 치명적 해를 끼치기도 한다. 그 동안 국내에서 녹조문제는 댐 저수지와 하구호와 같은 정체수역에서 간헐적으로 문제를 일으켰으나, 4대강사업(2010-2011)으로 16개의 보가 설치된 이후 낙동강, 금강, 영산강 등 대하천에서도 광범위하게 발생되고 있어 중요한 사회적 환경적 이슈로 대두되었다. 한편, 대하천에 설치된 보 구간에서 빈번히 발생하는 녹조현상의 원인에 대해서는 전 지구적 기온상승에 따른 기후변화의 영향이라는 주장과 유역으로부터 영양염류의 과도한 유입, 가뭄에 따른 유량감소, 보 설치에 따른 체류시간 증가 등 다양한 의견이 제시되고 있으나, 대상 유역과 수체의 특성에 따라 녹조 발생의 원인이 상이하거나 또는 다양한 요인이 복합적으로 작용하기 때문에 보편적 해석(universal interpretation)이 어려운 것이 현실이다. 따라서 각 수계별, 보별 녹조현상에 대한 정확한 원인분석과 효과적인 대책 마련을 위해서는 집중된 실험자료와 데이터마이닝 기법에 근거로 한 보다 과학적이고 객관적인 접근이 이루어져야 한다. 본 연구에서는 2012년 보 설치 이후 남조류에 의한 녹조현상이 빈번히 발생하고 있는 낙동강 4개보(강정고령보, 달성보, 합천창녕보, 창녕함안보)를 대상으로 집중적인 현장조사와 실험분석을 수행하고, 수집된 기상, 수문, 수질, 조류 자료에 대해 통계분석과 다양한 데이터모델링 기법을 적용하여 보별 남조류 우점 환경조건과 이를 제어하기 위한 주요 조절변수를 규명하는데 있다. 연구대상 보 별 수질과 식물플랑크톤의 정성 및 정량 실험은 2017년 5월부터 2018년 11월까지 2년에 걸쳐 실시하였으며, 남조류 세포수 밀도와 환경요인과의 상관성 분석을 실시하고, 단계적 다중회귀모델(Step-wise Multiple Linear Regressions, SMLR), 랜덤포레스트(Random Forests, RF) 모델과 재귀적 변수 제거 기법(Recursive Feature Elimination using Random Forest, RFE-RF)을 이용한 변수중요도 평가, 의사결정나무(Decision Tree, DT), 주성분분석(Principal Component Analysis, PCA) 기법 등 다양한 모수적 및 비모수적 데이터마이닝 결과를 바탕으로 각 보별 남 조류 우점 환경요인을 종합적으로 해석하였다.

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Effect of Cosurfactants on the Release Behavior of Zaltoprofen-loaded PLGA Microspheres in In Vitro : Preparation and Characterization (보조계면활성제 첨가에 따른 잘토프로펜을 함유한 PLGA 미립구의 생체외 방출 거동: 제조 및 특성)

  • Eom, Shin;Yoo, Seok-Cheol;Kim, Yong-Ki;Lee, Young-Hyun;Lee, Eun-Yong;Yu, Hyeon;Lee, Dong-Won;Khang, Gil-Son
    • Polymer(Korea)
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    • v.34 no.4
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    • pp.333-340
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    • 2010
  • Zaltoprofen, a propionic acid derivative non-steroidal anti-inflammatory drug (NSAID), is known to have powerful inhibitory effects on acute, subacute and chronic inflammation. We developed poly(lactide-co-glycolide)(PLGA) microspheres loaded with zaltoprofen for sustained controlled delivery using an oil-water solvent evaporation methods by varying PLGA molecular weight and cosurfactant contents. Physicochemical properties and morphology of zaltoprofen-loaded PLGA microspheres were investigated by scanning electron microscope, X-ray diffraction and differential scanning calorimeter. The size of microspheres increased with the molecular weight of PLGA and the content of cosurfactants. The increase of PLGA molecular weight and cosurfactant content decreased the porosity of microspheres, subsequently resulting in the slow drug release. The results demonstrated that the adjustment of PLGA molecular weight and the cosurfactant content allowed us to control the drug release profiles of drug-loaded microspheres.

Effect of Aqueous Chlorine Dioxide and Citric Acid on Reduction of Salmonella typhimurium on Sprouting Radish Seeds (이산화염소수 및 구연산처리에 따른 무(Raphanus sativus L.) 새싹과 종자의 미생물 제어 효과)

  • Park, Kee-Jai;Lim, Jeong-Ho;Kim, Bum-Keum;Kim, Jong-Chan;Jeong, Jin-Woong;Jeong, Seong-Weon
    • Food Science and Preservation
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    • v.15 no.5
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    • pp.754-759
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    • 2008
  • The effect of citric acid-aqueous chlorine dioxide ($ClO_2$) treatment of radish seeds artificially contaminated with Salmonella typhimurium was studied. Radish seeds were inoculated by immersion, in more than 106 log CFU/g seed, of a suspension of S. typhimurium, dried, and stored sealed at $4^{\circ}C$ Radish seeds soaked in 200 ppm aqueous ClO2 solution for 10 min showed a bacterial reduction of 1.08 log CFU/g seed, and the lowering of microbial burden noted in seeds soaked in 2% (w/v) citric acid solution for 10 min was 2.89 log CFU/g seed. Next, radish seeds were exposed to 0.5% (v/v) glycerol solution for 10 min either before or after treatment with 200 ppm aqueous ClO2 or 2% (w/v) citric acid for 10 min. Glycerol exposure after citric acid treatment reduced bacteria by 3.46 log CFU/g seed, and glycerol treatment after aqueous $ClO_2$ treatment reduced the microbial burden by 2.14 log CFU/g seed. Both glycerol treatments yielded better elimination of S. typhimurium than did a single treatment with either citric acid or aqueous $ClO_2$. Radish seeds inoculated with S. typhimurium were treated throughout the entire growth period. Although radish seed treatment was effective, treatment by citric acid and aqueous $ClO_2$ after sprouting was not effective to eliminate S. typhimurium.

Long-term Stability of Perovskite Solar Cells with Inhibiting Mass Transport with Buffer Layers (물질이동 억제 버퍼층 형성을 통한 페로브스카이트 태양전지 장기 안정성 확보)

  • Bae, Mi-Seon;Jeong, Min Ji;Chang, Hyo Sik;Yang, Tae-Youl
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.28 no.3
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    • pp.17-24
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    • 2021
  • Perovskite solar cells (PSCs) can be fabricated through solution process economically with variable bandgap that is controlled by composition of precursor solution. Tandem cells in which PSCs combined with silicon solar cells have potential to reach high power conversion efficiency over 30%, however, lack of long-term stability of PSCs is an obstacle to commercialization. Degradation of PSCs is mainly attributed to the mass transport of halide and metal electrode materials. In order to ensure the long-term stability, the mass transport should be inhibited. In this study, we confirmed degradation behaviors due to the mass transport in PSCs and designed buffer layers with LiF and/or SnO2 to improve the long-term stability by suppressing the mass transport. Under high-temperature storage test at 85℃, PSCs without the buffer layers were degraded by forming PbI2, AgI, and the delta phase of the perovskite material, while PSCs with the buffer layers showed improved stability with keeping the original phase of the perovskite. When the LiF buffer and encapsulation were applied to PSCs, superior long-term stability on 85℃-85% RH dump heat test was achieved; efficiency drop was not observed after 200 h. It was also confirmed that 90.6% of the initial efficiency was maintained after 200 hours of maximum power tracking test under AM 1.5G-1SUN illumination. Here, we have demonstrated that the buffer layer is essential to achieve long-term stability of PSCs.