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박정보;이재봉;이성묵
- Korean Journal of Optics and Photonics
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- v.12 no.3
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- pp.190-199
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- 2001
In this paper, we have researched the depth of focus (DOF) and cutoff intensity of the $0.1{\mu}m$rule dense line'||'&'||'space pattern according to the various off-axis illumination (OAl) conditions in the optical system of 0.65 NA using ArF excimer laser (193 nm). We have also studied the variation of the DOF and cutoff intensity according to the sub-resolution pattern (hammer head type) size for optical proximity correction (OPC) applied to the capacitor pattern and the various OAl conditions in the same optical system. As a result, it is revealed that the cross type quadrupole or annular illumination is preferred to the conventional X type quadrupole for printing the $0.1{\mu}m$ rule dense pattern. Also, we can investigate the optimal illumination condition and the size of ope sub-resolution pattern to keep a consistent DGF and cutoff intensity trends.
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Yun, Gyeong-Seon
- The Optical Journal
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- s.137
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- pp.36-38
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- 2012
독일의 첨단 광학산업의 현재와 한국의 광전자 기술동향을 교류하는 자리인 한 독 광학기술 심포지엄이 지난해 11월 9일 독일 튀링엔주 주최, 한독상공회의소 주관, 한국광학기기협회 후원으로 서울 밀레니엄 힐튼 호텔 그랜드 볼룸에서 열렸다. 이에 한국과 독일의 광학기술, 레이저 기술, LED 조명기술, 나노계측 기술 등의 주제 발표가 펼쳐졌다. 아울러 방한한 독일기업들과 한국기업들 간의 기업 상담회도 진행되었다.
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Lee, Chang-Mo;Kim, Hoon
- Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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- 2002.11a
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- pp.37-43
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- 2002
원점(초점)에 놓인 광원(점광원)으로부터 방사된 ray들을 광축과 평행하게 진행하도록 그 진로의 방향을 바꾸어주는 것이 대형등명기의 광학부(중심렌즈부, 굴절링부, 절사프리즘부) 역할이다. 그래서 광학부에 대한 정밀한 설계가 이루어져야 하지만, 기존의 광학부 설계법은 어떤 설계 조건과 제작환경에 맞지 않는다. 따라서 본 논문에서는 Ray Tracing과 배광예측 프로그램인 Photopia 시뮬레이션을 통해 그 설계의 문제점을 찾고, 설계조건과 제작환경에 맞는 최적의 설계가 되도록 개선안을 제시하고 설계법을 도출하였다. 단, 초점에 위치한 광원은 모두 점광원으로 하였다.
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