• 대한기계학회논문집A
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• 제32권10호
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• pp.823-830
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• 2008

We present a high-accuracy digital-to-analog (DA) actuator using a load spring, specially designed to compensate the output displacement errors caused by fabrication errors. The compensated linear DA actuator is capable to change the slope of input-output modulation line in order to compensate fabrication errors. We design, fabricate, and characterize three different prototypes: one uncompensated design and two compensated designs respectively for a specific value and for a given range of fabrication error. The compensated linear DA actuators show the output displacement errors of $-0.20{\pm}0.23{\mu}m\;and\;-0.13{\pm}0.18{\mu}m$, respectively, reduced by 64.3% and 76.8% of the output displacement error, $0.56{\pm}0.20{\mu}m$, produced by the conventional uncompensated linear DA actuator. We experimentally verify the fabrication error compensation capability of the present compensated linear DA actuators, thus demonstrating high-accuracy actuation performance immune to fabrication errors.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제21권11호
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• pp.554-560
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• 2020

평판 디스플레이 제조 공정에서 대상물의 위치 결정을 위해 고정밀 평면 모션 스테이지를 사용한다. 이 유형의 스테이지는 일반적으로 마찰이 없는 선형 모터와 에어 베어링을 사용하며, 고정밀 위치 센서로 레이저 간섭계를 사용한다. 스테이지의 불가피한 기생 운동에 의해 야기되는 요 모션 오차는 위치 결정 대상체의 향 변화를 의미하므로, 스테이지의 성능과 공정 정밀도 향상을 위해 요 모션 오차의 실시간 동적 보정은 매우 중요하다. 요 모션 오차 보상에는 갠트리 제어가 일반적이며, 이 방법을 공기베어링 가이드를 사용하는 스테이지에 적용하기 위해서 회전 모션을 허용하는 유연기구가 스테이지에 적용된다. 본 논문은 공기베어링과 유연기구를 갖춘 H형 XY 스테이지의 정속 구동 성능을 개선하는 방법을 제안한다. 유연기구를 포함한 스테이지의 갠트리 제어 시 선형 모터로부터 발생하는 상호 리플의 발생 원인을 분석하고, 이러한 상호 리플을 보상하는 방안으로 적응 학습 제어를 제시한다. 제시 방안의 검증을 위해 시뮬레이션을 수행하여, 보상 제어를 통해 속도 리플이 약 22 % 수준으로 감소함을 확인하였다. 그리고 요 모션 오차가 발생하는 스테이지 상태를 가정하여 리플 저감 효과를 검증하였다.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2001년도 제12회 정기총회 및 01년도 동계학술발표회
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• pp.142-143
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• 2001

Cell gap은 LCD(Liquid Crystal Display)의 중요한 파라미터들 중의 하나이다. cell gap이 LCD의 광학적인 성능에 영향을 주기 때문에 정확한 cell gap 측정방법은 제조공정을 향상시키는데 중요하다 특히 최근 고속 영상 디스플레이를 제공할 수 있는 장점 때문에 낮은 cell gap의 LCD가 요구되고 있는 시장 추세에 따라 낮은 cell gap을 측정할 수 있는 기술이 요구되고 있다. LCD의 cell gap 측정 방법들 가운데 가장 보편화되어 있는 것으로 회전편광자법(rotating polarizer method)[1, 2]과 위상보상법(phase compensation method)[3,4]을 들 수 있는데 낮은 셀갭을 정확히 측정하기가 어려우며 주기적인 해가 발생한다는 단점이 있다. (중략)

• 한국광학회지
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• 제20권4호
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• pp.241-248
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• 2009

액정 디스플레이에서 시야각 향상을 위해 사용하는 보상판과 편광판을 접합한 복합판의 광축 틀어짐 오차와 보상판의 $R_{in}$(in-plane retardation), $R_{th}$(out-of-plane retardation)를 동시에 결정하는 새로운 방법을 제시하였다. 보상판은 광축이 임의의 기울임각과 방위각을 갖는 o-판으로 하였으며, 확장된 존스 행렬법에 기반한 광학모델을 도입하여 복합판의 편광특성을 분석하였다. 입사각 0도와 50도에서 시료의 방위각을 360도 회전시키며 투과된 빛의 편광상태를 각각 계산한 후, 타원법의 모델링 분석기법을 적용하여 광축 틀어짐과 복합판의 기울임각과 방위각들을 역방계산하였다. 이 방법은 편광판과 보상판을 접합한 후에도 복합판의 성능평가를 할 수 있어 제조공정단계를 줄여 제조 원가를 절감하는데 기여할 수 있을 것으로 기대된다.