• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2006.10a
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• pp.14-15
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• 2006

제조공정상에서 발생하는 공정 변수에 의한 제품의 수준별 제품에 대하여 인가 전압별 절연저항 측정 및 내전압 측정 결과 내전압이 낮은 제품군에서 절연저항이 낮게 나타났으며 산포도 크게 나타남을 확인 할 수 있었다. PCT 시험 후의 유전 특성은 경우 용량의 변화율은 상승한 반면 제품군에 따른 용량 변화율의 크기는 작은 반면에 유전손실의 경우 PCT 실험후 변화율이 크게 나왔으며 이와같은 결과는 신뢰성 측면에서 취약할 수 있음을 보여주고 있다.

• Proceedings of the Korea Association of Crystal Growth Conference
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• 1997.10a
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• pp.173-179
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• 1997

출발원료로 ferric nitrate, ethylene glycol, acethyl acetone 혼합용액을 사용하여 dip-coating된 $\alpha$-Fe$_2$O$_3$막을 제조하였다. coating을 위한 혼합용액의 시간의 경과에 따른 용액내의 가교(polymerization) 효과를 관찰하기 위해서 적외선 분광기(FT-IR)을 사용하였고, 막 형성 시 유기물 분해 및 결정화 시작 온도를 확인하기 위하여 FT-IR, XRD, DSC 등을 이용하여 분석을 행하였다. 또한 각 조건에서 제조된 막은 X-선 회절 분석을 통해 결정상을 확인 하였으며, SEM을 통하여 막의 두께 변화에 대하여 관찰하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.334-334
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• 2010

반도체 소자 제조 공정에 사용되는 공정 펌프는 전체 소요되는 에너지(소비전력)에 52%를 소비하고 있다. 이러한 이유 때문에 반도체 fab 내에서 에너지 절감을 논의할 때 항상 공정용 진공 펌프가 1 순위에 오를 수밖에 없는 것이다. 반도체 공정용 진공 펌프는 사용되어지는 공정에 따라 유지되는 진공도가 달라지고 이에 따라 소비전력과 투입되는 utility의 양이 바뀌게 되어 진공도와 공정에 따른 에너지 소비의 pattern이 다르다. 한국표준과학연구원 진공센터에서는 각 공정 대응용 펌프의 종류에 따라 배기속도, 도달진공도, 소비전력, 진동, 소음 등 기본 펌프 성능 평가, light gas인 helium에 대응하는 기본 성능평가를 실시하고 있다. 또한 부가적으로 soft/medium 공정용의 경우 저전력 mode의 소비전력의 진공도에 따르는 측정변수의 pattern을 측정/분석하고 있으며, harsh 공정용의 경우 50~300 slm의 유량 주입에 따른 내구성 특성을 monitoring하고 있다. 드라이펌프의 기본적인 평가 성능과 각 회사의 SPM (single pump monitoring system) 측정 변수인 온도, 배기구 압력 변화 등의 자체 진단 인자를 포함하여 반도체 공정에서 드라이 펌프의 운용에 필요한 냉각수, $N_2$, 등과 같은 utility의 사용량 및 온도변화 등을 측정하여 드라이 펌프의 에너지 소비 pattern을 분석하고자 한다.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 1999.11a
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• pp.178-178
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• 1999

• Proceedings of the Korean Powder Metallurgy Institute Conference
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• 1998.04b
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• pp.15-15
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• 1998

• Proceedings of the Korean Powder Metallurgy Institute Conference
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• 1998.04b
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• pp.13-13
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• 1998

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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• 2003.05a
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• pp.232.2-232.2
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• 2003

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 1999.04a
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• pp.65-68
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• 1999

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2002.06a
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• pp.92-92
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• 2002

• KSBB Journal
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• v.11 no.4
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• pp.481-488
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• 1996

In spite of diverse applications of chitin derivatives, commercial use of chitin has been limited due to highly resistance to chemicals and the absense of proper solvents. One of methods to reduce such high resistance to chemicals is to make microcrystalline chitin(MCC) by hydrolysis of chitin. Presently, MCC is produced mainly by using high concentration of acid, but this treatment requires an extensive posttreatment to remove or recover acid. An alternative process for MCC production was developed by using dilute hydrochloric acid with ultrasound and hydrogen peroxide. The major parameters for this process were found to be acid concentration, swelling time and temperature, and irradiation time and frequency of ultrasound. The effects of these parameters on MCC molecular weight were investigated. The molecular weight of MCC produced at a typical condition was around 30,000 which was approximately 1/8 of that of chitin and approached to a constant value. This phenomenon was explained by introducing the model of molecular arrangement of cellulose. SEM analysis showed that both chitin and MCC had a fibrous shaped morphology and the fibril size of MCC was much smaller than that of chitin.