• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2007.04a
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• pp.87-88
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• 2007

나노 다결정 실리콘 박막 증착을 하기 위해서 현재 정전결합플라즈마(CCP, Capacitively Coupled Plasma)를 이용한 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정에 관한 여구가 활발히 이루어지고 있다. 유도결합플라즈마는(ICP, Inductively Coupled Plasma) 정전결합플라즈마보다 플라즈마 밀도가 높고 파워전달 효율이 좋은 것으로 알려져 있으나 대면적가 어려워 기판이 큰 TFT-LCD로는 많이 연구되고 있지 않다. 본 연구는 유도결합플라즈마를 위해 내장형 multiple U-type 선형 안테나를 이용하여 나노 다결정 실리콘 박막을 증착하여 그 특성을 분석하였다.

• Analytical Science and Technology
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• v.7 no.3
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• pp.1069-1084
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• 1994

수 MV급 탄뎀형 가속기와 정전형, 자장형 질량분석기를 결합함으로써 존재비가 극히 작은 동위원소 측정이 가능해진다. 수 MeV로 가속이 되면 분해에 방해가 되는 모든 분자이온들이 제거되며, 탄뎀형 가속기에서는 음이온으로부터 가속이 개시되므로 몇몇 음이온을 형성하지 못하는 동중원소의 간섭으로부터 자유로워지기 때문에 고감도분석이 실현될 수 있다. 이외에 음이온을 형성하는 동중원소들은 주로 이온함인 최종 검출기에서의 유효 전하에 따른 에너지손실 차이를 이용하여 효과적으로 제거할 수 있다. 현재는 주로 장반감기 방사성동위원소인 $^{10}Be$, $^{14}C$, $^{26}Al$, $^{36}Cl$과 $^{129}I$ 등의 측정법이 확립되어 천연시료 중에서 동위원소 존재비 $10^{-12}$에서 $10^{-15}$까지의 정량이 가능하며, 원자수로 환산한 검출하한을 $10^5$개가 된다. 또한 해당 원소를 기준으로 소요 시료량은 대부분 mg 정도로 충분하다. 지금까지는 불가능했던 이러한 특징으로 인해 지난 수년간 AMS(Accelerator Mass Spectrometry)가 활용되어 온 연구분야는 지구과학(기후학, 우주화학, 빙하학, 수문학, 해양학, 퇴적학, 화산학 및 광물탐사), 인류 및 고고학(연대측정), 그리고 물리학(천체물리, 핵 및 입자물리) 등으로 다양하다. 이외에 생의학 및 재료과학 분야에서도 AMS를 활용하고자 하는 노력이 계속되고 있다. 본 해설에서는 가속기질량분석기술의 특징, 원리, 장치 및 활용분야 등을 소개하고자 하며, 이로써 관련 분야의 연구 활성화에 기여하고자 한다.

• Resources Recycling
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• v.28 no.6
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• pp.96-105
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• 2019

Automobile shredder residue (ASR) is the final waste produced when end-of-life vehicles (ELVs) are shredded. ASR can be separated using mineral-processing operations such as comminution, air classification, magnetic separation, and/or electrostatic separation. In this work, trajectory analyses of conductors (copper) and non-conductors (glass) in the ASR have been carried out using induction electrostatic separator for predicting or improving the ASR-separation efficiency. From results of trajectory analysis for conductors, the trajectories of copper wire by observation versus simulation for coarse particles of 0.5 and 0.25 mm showed consistent congruity. The observed 0.06 mm fine-particles trajectory was deflected toward the (-) attractive electrode owing to the charge-density effects due to the particle characteristics and relative humidity. In the case of non-conductors, the actual trajectory of dielectric glass deflected toward the (-) electrode, showing characteristics similar to those of conductive particles. The analyses of stereoscopic microscope and SEM & EDS found heterologous materials (fine ferrous particles and conductive organics) on the glass surface. This demonstrates the glass decreasing separation efficiency for non-ferrous metals during electrostatic separation for the recycling of ASR. Future work will require a pretreatment process for eliminating impurities from the glass and advanced trajectory-simulation processes.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.448-448
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• 2013

최근 생물학적 분석 기구에서 시료를 처리, 분리, 검출, 샘플링 또는 분석하기 위해 사용되는 마이크로펌프(Micropump)에 대한 관심이 높아지고 있다. 또한 전자소자의 성능과 신뢰성의 증진을 위한 전자소자의 열 문제를 해결하기 위해 냉각장치로 마이크로 펌프가 적용되기도 한다. 그 외에도 마이크로펌프는 다양한 분야에 응용이 가능하다. 마이크로펌프는 작동 방식에 따라 압전형, 공압형, 열공압형, 연동형 등의 여러 종류로 분류되고 있다. 그중에서도 최근에는 연동형 마이크로 펌프의 개발이 각광받고 있다. 기존의 연동형 펌프들은 다중 챔버를 가지고 있으며, 각각의 챔버 내에서 Dead volume이 많이 발생할 뿐만 아니라 이상적인 연동운동과는 차이가 많이 나는 문제점을 가지고 있다. 또한 압전방식과 열공압방식은 느린 응답성으로 인해 효율적인 유체 이동이 어렵다. 본 논문에서는 이상적인 연동운동을 구현하기 위하여 기존의 연동형 펌프의 단점을 보완하고, 하나의 챔버에 다중전극 구조를 가지는 정전기력방식의 연동형 펌프를 개발하였다. 정전기력방식으로 펌프를 구동함으로써, 저전력으로 펌프구동이 가능하며, 하나의 챔버에 다중전극을 설치함으로써 이상적인 연동운동을 재현하였다. 그리고 Dead volume을 최소화 하였다. 또한, 빠른 반응속도로 인해 효율적인 유체 이동을 실현시킬 수 있었다. 본 연구에서 제안된 마이크로 펌프의 구성은 크게 챔버, 박막, Inlet/outlet hole으로 구성되었다. 챔버는 Si-wafer에 wet etching 공정으로 제작 하였고 그 위에 알루미늄 박막을 200 nm 증착시켰다. 챔버는 가로 32 mm, 세로 5 mm, 깊이는 $15{\mu}m$, 부피는 $200{\mu}l$으로 제작되었다. 박막은 폴리이미드(polyimide)를 사용하여 $3{\mu}m$의 두께로 제작 되었으며, 폴리이미드 박막 사이에는 200 nm 두께의 4개의 알루미늄 박막 전극을 삽입시켰다. 삽입된 4개의 전극에 개별적인 전기신호를 보냄으로써 연동운동이 가능하다. Inlet/outlet hole은 직경 2 mm의 크기로 제작되었으며, 튜브를 연결하여 유체가 흐를 수 있는 체널을 형성하였다. 제작된 마이크로 펌프의 구동전압은 115 V이며, 인가되는 주파수를 1 Hz~100 KHz까지 변화시켜 유량을 측정하였다. 작동 유체는 공기이며, 유량측정은 튜브 내에 물방울을 삽입하여 시간에 따른 이동거리를 관측하였다. 측정결과 2.2 KHz에서 2.4 mm/min의 가장 높은 유량을 확인할 수 있었다. 본 연구를 통해 제안된 연동형 마이크로펌프는 이상적인 연동운동이 가능함으로써 기존의 연동형 방식의 문제점을 보완하였으며, 생명과학, 의학, 화학 등의 분야에서 적용이 가능하리라 기대된다.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2007.10a
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• pp.167-169
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• 2007

• Proceedings of the Korean Institute of Resources Recycling Conference
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• 2002.05a
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• pp.123-125
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• 2002

• Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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• 2006.05a
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• pp.314-316
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• 2006

• Electric Engineers Magazine
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• v.182 no.10
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• pp.53-57
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• 1997

최근 사회의 일렉트로닉스화와 정보화의 급속한 진전에 따라 전력회사는 과거 어느때 보다도 더욱 양질의 전력을 공급할 의무를 국민들로부터 요구받고 있고 이에따라 전력공급설비에 있어서의 정전고장을 미연에 방지할 고도의 과학적이고 신속정확한 미연에 방지할 고도의 과학적이고 신속정확한 일상보수점검을 필요로 하게 되었다.

• Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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• 2006.11a
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• pp.307-309
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• 2006

• Electric Engineers Magazine
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• v.204 no.8
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• pp.26-33
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• 1999

발전설비로는 일반 전원용으로서 사용 전원의 보조, 혹은 특수한 공장 등의 업무용으로서 발전설비도 있지만 여기에서는 일반 빌딩의 정전에 대비한 비상용 발전설비의 대해서 설명한다.