• 제목/요약/키워드: 정오보고

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DSP제어기, 자이로센서를 이용한 GIMBAL시스템 설계 (The Design of a Direct Driving Gimbal System Using the DSP(TMS320F240) Controller and the Gyroscope)

  • 류정오;최중경;최승진;안기호;박성수
    • 대한전자공학회:학술대회논문집
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    • 대한전자공학회 2001년도 하계종합학술대회 논문집(5)
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    • pp.139-142
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    • 2001

  • This paper presents a design of two gimbal system. One is two axes stabilized platform that is targeted to preserve direction while vehicle that is adhered antiaircraft fire, radar or EOTS is moving. The system maintains stabilization by recovering error using the rate gyro. The other is three axes gimbal system that is intended to simulate various angle movement in space and to test three axes gyroscope. This system determines gyro condition comparing gyro output value with converted motor encoder value.

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Sidewall Property of Deep Si Vias Etched for 3 Dimensional Interconnection

  • 임영대;이승환;유원종;정오진;한재원
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.57-58
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    • 2007

  • 본 연구에서는 실리콘 식각 공정 중 하나인 BOSCH 공정 이후 문제가 되는 scallops를 후처리 공정인 RCA 클리닝 공정, KOH와 IPA를 이용한 습식식각 공정을 이용하여 제거하는 방법을 개발하였다. 또한 Via-Hole 에칭 공정이후 전기적 절연을 위해 측벽에 증착된 TEOS 표면에 대하여 분석하였다.

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