Optimal design of reaction force compensation device for precision stage considering eddy current damper (와전류 감쇠기를 고려한 정밀 스테이지용 반발력 보상 장치의 최적 설계)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2012.05a
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- pp.1095-1096
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- 2012