• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1993.04b
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• pp.192-197
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• 1993

반도체 기억소자의 급격한 발전추세에 대응하기 위해서는 노광(exposure) 장비의 증첩정밀도 (overlay accuracy)가 같이 개선되어야 한다. 본 연구에서는 64M ERAM 제조를 목적으로개발된 스텝 퍼(stepper) 시스템의 성능평가 항목 중에서 증첩정밀도에대한 측정방법 및 현재까지의 연구결과를 기술하였다. 제작된 웨이퍼 정렬계는 off-axis 및 TTL 광학계와 이들 정렬신호에 따라 움직이는 웨이 퍼 구동계로 구성되어 있다. off-axis 광학계는 화상처리와 회절의 두 가지 방식이 가능하도록 설계 제작되었으며, TTL 광학계는 dual beam interferometric method를 이용하였다. 본 실험의 결과는 웨이퍼 정렬계의 특성을 평가한 것으로서, 현재까지 off-axis 정렬 방법만으로 얻은 증첩정밀도는 0.26-0.29$\mu$m (m+3 $\sigma$ )이다. 따라서 여기에 이미 제작되어 있는 TLL 정렬광학계를 추가로 사용하면 0.1 $\mu$m 이하의 정밀도에 이를 것으로 예측된다.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.32 no.10
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• pp.142-146
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• 2004

Spaceborne earth observation or astronomical payloads often use Cassegrain-type telescopes due to limits in mass and volume. Precision optical alignment of such a telescope is vital to the success of the mission. This paper describes the alignment simulation and experiment of computer-aided alignment method during the assembly of MAC (Medium-sized Aperture Camera) telescope for spaceborne earth observation.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.15 no.4
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• pp.391-396
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• 2004

Spaceborne earth observation or astronomical payloads often use Cassegrain-type telescopes due to the limits in mass and volume. Precision optical alignment of such a telescope is vital to the success of the mission. This paper describes the simulated optical alignment methods using interferograms, wavefront error, and reverse-optimization method for different levels of alignment accuracy. It concludes with the alignment experiment results of a Cassegrain type spaceborne camera with 300mm entrance pupil diameter.

• The Optical Journal
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• s.177
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• pp.50-51
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• 2020

• Journal of Korean Ophthalmic Optics Society
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• v.7 no.2
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• pp.123-128
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• 2002

This study is to develop optical lining device for vacuum binding of PDP and FED. It is very difficult precise technology to line a front board and back board accurately and fast every time when two boards are joined together. Especially, these technology is difficult to be transferred from developed countries. In this study, the accuracy of lining of two boards in vacuum device by developing an optical lining device for vacuum binding as an image processor and CCD camera configured to be high magnification lens with long focus using optical design.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.17 no.2
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• pp.186-190
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• 2006

The use of null optics is proposed as a new concept for the precise alignment of a confocal unstable resonator. The characteristics of the proposed null optics are investigated and analysed with the designed null lens for a real confocal unstable resonator of which the length is 3.5 m. As a result of the analysis, the pupil map data are shown about the despace error of 1.0 mm and tilt error of 1.0 mrad.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.23 no.5 s.182
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• pp.103-110
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• 2006

Automatic optical alignment modules are a key technology in optical communication system. However, the optic component assembly depends highly on manual or semi-automated alignment process. In this paper, a novel alignment mechanism with minimum degree-of-freedom has been designed and theoretical models are derived from geometric optical characteristics on collimators, optical filters and optical ray alignment. The automatic alignment control algorithm has been newly developed based on the mechanism and models, and then we make fast, precise and reliable alignment through the algorithm. The reliability of developed modules has been verified with various simulations and performance evaluations.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2003.11c
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• pp.472-475
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• 2003

현재 광 정렬 시스템에 채용하고 있는 다채널 광 파워미터는 측정 채널의 수가 증가하는 상황이다. 그러나 기존 시스템 제어를 통한 각 채널의 정밀한 정렬은 다 채널 광 파워미터 기술에 적합하지 않은 방식이다. 그러므로 본 논문에서는 기존 방식을 채택한 광 정렬 방식을 개선하기 위해 하다마스 변환 복원 알고리즘을 이용한 광 능동 정렬 검출 방법을 제안한다. 다채널 광학 정렬 시스템에서 가장 중요한 문제는 채널의 증가에 따라 채널별 정렬의 정밀도가 떨어진다. 기존 정렬 시스템에서 채용하고 있는 다채널 광 파워미터의 기술 수준은 약 4채널까지 동시 측정이 가능하였다. 이 방법은 채널 양쪽에 검출기를 설치하여 광량의 최대 지점을 최적 정렬 위치로 결정한다. 그러나 시스템 채널이 증가할 수록 안쪽에 위치한 광소자를 정렬을 무시하기 때문에 정확한 정렬에 적합하지 않다. 그리고 고속, 대용량의 데이터 처리요구에 맞추기 위한 64채널 광소자 생산을 위해서는 16개의 4채널 광 파워미터를 사용하는 방법이 있으나 이는 신뢰할 만한 수준의 측정치를 제공하지 못한다. 따라서 새로운 개념을 적용한 다채널 동시측정을 위한 광소자 측정 기술 및 광 파워미터의 개발이 절실히 요구되고 있는 실정이다. 하다마드 변환 복원 알고리즘을 이용한 광 능동 정렬 검출 시스템은 이러한 요구를 충족시킬 수 있다. 그러므로 본 논문은 하다마드 변환 복원 알고리즘을 이용한 광 능동 정렬 검출 시스템이 기존의 시스템보다 우수한 알고리즘과 성능을 가지고 있음을 실험을 통해 입증한다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.17 no.4
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• pp.354-358
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• 2006

A silicon lens and an insulator of pyrex, components of a micro-electron column, should be assembled by aligning and stacking simultaneously. An optical alignment of a diffraction beam and a laser welding were employed for the assembly of a source lens and an Einzel lens with precision within $\pm$4% for the maximum aperture size. The experimental condition for optical alignment and laser welding are explained. Anodic bonding was used to assist in stacking lenses. A micro-electron column of smaller apertures assembled with precise alignment and fabrication was tested with a current image of a Cu grid of 9$\mu$m in linewidth, and showed a higher resolution in acceleration mode.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2003.07d
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• pp.2118-2120
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• 2003

다중 채널 광학 정렬 시스템에서 가장 중요한 문제는 각 채널별 정렬이 얼마나 정밀하게 이루어지며 향후 패널의 다중화가 어느 선까지 가능할 수 있는가이다. 기존 시스템은 채널 양쪽에 검출기를 설치하여 광량의 최대 지점을 정렬 위치로 결정하는 방식을 사용했다. 그러나 시스템 채널이 증가함에 따라 정밀한 정렬과 만족할 만한 성능을 얻기에는 어느 정도 한계가 있음을 알 수 있었다. 이러한 단점을 보완하기 위해 본 논문은 단일 검출기를 사용하여 패널별 광량을 측정할 수 있는 방법을 제안한다. 그리고 복원 알고리즘을 통해 기존의 시스템과 다른 측정법과 만족할 만한 결과를 도출하는 방법을 소개하고자 한다.