A Study on the Structural Dynamic Modification of sub-structure of Clean Room using VSD System (반도체 크린룸 구조물의 하중 측정 시스템을 이용한 동특성 개선에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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- 2003.05a
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- pp.1099-1106
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- 2003