• Title/Summary/Keyword: 정로

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A Systematic Approach for Selective Epitaxial Growth of Silicon using Transport Phenomena, Thermodynamics, and Microscopic Simulation (이동현상, 열역학, 미시적 이론 연구릉 통한 선택적 단결정 실리콘 성장공정의 전산모사)

  • 윤종호;박상규
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.3 no.4
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    • pp.466-481
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    • 1994
  • 차세대 집적회로 제조공정에 있어 핵심기술인 선택적 단결정 실리콘 성장공정에 대한 이동현상, 열역학, 미시적 전산모사를 수행하여 다각적인 분석과 이해를 시도하였다. 첫째, 실리콘 단결정 성장 공 정에 가장 많이 사용되는 배럴 반응기를 대상으로 유한 요소법을 이용하여 이동현상적 이론연구를 수행 하였다. 반응기내의 기체속도 분포, SiH2Cl2 농도분포를 각각 구하였으며 압력, 기판온도, 총유량 HCl 유 량변화 등의주요공정변수가 증착율과 균일도 지수에 미치는 영햐을 고찰하였다. 이러한 연구를 통하여 저온, 저압, 총유량이 많고 첨가되는 HCl 유량이 작은 경우가 균일도 확보를 위하여 적합한 조업조건임 을 알수 있었다. 둘째 Si-H-Cl 계에 대한 열역학적 기체의 Cl/H비가 낮은 경우가 선택적 실리콘 증착 에 적합함을 알수 있었다. 셋째, Monte Carlo법을 이용한 선택적 실리콘 미세박막 성장패턴에 관한 이 론 연구를 수행하여 종횡비, 재방출, 표면확산에 따른 박막증착 패턴의 변화를 고찰하였으며 표면확산이 선택도 상실 현상의 중요한 원인이 될 수 있음을 발견하였다. 또한 최상의 선택도 확보를위해서는 낮은 부착계수와 낮은 표면확산계수를 유지해야 됨을 알수 있었다.

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Evaluation of the Natural Quartz with Diamagnetic and Microstructural Characterization (천연수정의 자기적 특성과 미세구조에 의한 품질평가)

  • 송오성;이기영;이정임
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.4 no.1
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    • pp.27-30
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    • 2003
  • Amethyst is a precious stone in Korea. As natural quartz are usually mixed with smoky quartz, amethyst, and milky quartz, we need to evaluate the amount of the amethyst quantitatively in ores. Although the optical evaluation with bare eyes has been common in assay so far, we propose that the diamagnetic property and microstructural difference characterization be the solution for the evaluating the quartz ores. In addition, FTIR (Fourier transformation infra-red) could help to identify the amethyst transparency. We report that we could evaluate the amethyst quantitatively with M-H hysteresis characterization, transmission electron microscopy (TEM) observation and FTIR characterization.

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Ecology as a New Paradigm and Environmental Justice (생태학의 재인식과 환경정의)

  • 최병두
    • Journal of the Korean Geographical Society
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    • v.33 no.spc
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    • pp.709-719
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    • 1998
  • 오늘날 세계는 물질적으로 풍요롭게 되었지만, 생태위기의 발생과 더불어 환경문데를 둘러싼 불평등이 감소하기 보다는 오히려 증대하고 있다. 21세기를 위한 새로운 패러다임으로서 생태학은 이러한 불평등을 극복하기 위한 지식 및 실천으로서 '환경정의'의 개념 또는 이론을 필요로 한다. 진정한 환경정의론은 한편으로 생태학의 규범적 측면들을 발전시키면서 다른 한편으로 이의 이데올로기의 동원을 막을 수 있는 이론적 및 실천적 토대가 될 것으로 기대된다. 환경정의에 관한 개념적 연구는 주로 사회정의에 관한 철학적 전통, 특히 자유론, 공리주의, 계약론을 포괄하는 자유주의적 정의론, 맑스주의적 정의론 및 포스트모던 정의론 등에서 도출된 주요 개념들을 자연환경에 확대시키고자 한다. 환경정의에 관한 몇몇 학자들, 대표적으로 벤쯔(Wenz), 하비(Harvey), 로와 그리슨 (Low and Gleeson) 등은 다양한 전통을 위에서 제시한 (환경)정의론들을 면밀히 고찰하여, 이들 각각의 한계를 제시하거나 문제점들을 지적하고, 나아가 이들을 종합하고자 했다. 이들의 연구는 환경정의에 관한 다양한 이론들의 특성을 이해하는데 많은 도움을 주지만, 그 자체로 일관성 있는 이론으로 발전하지는 못했다. 이 글에서 제시되는 환경정의론은 인간들 간의 관계, 자연과 인간들 간의 물질적 관계, 그리고 상징적 관계 등에 상응하도록 정의를 3가지 차원, 즉 분배적 정의, 생산적 정의, 승인적 정의로 구분하고자 한다. 이들은 각각 필요의 원칙, 노동의 원칙, 그리고 의사소통의 원칙에 기초하며, 또한 각각 자유주의적, 특히 롤즈의 정의론, 맑스주의 정의론, 그리고 비판이론이나 포스트모던 정의론에서 많은 시사점들을 얻을 수 있다.

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A Study on Application of Message Definition and Management System (메시지 정의 및 관리시스템(MDMS) 적용 사례 연구)

  • Ryu, Je-Young
    • Annual Conference of KIPS
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    • 2014.11a
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    • pp.639-641
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    • 2014
  • 효율적인 인터페이스 정의 및 관리를 위하여 개발된 MDMS (Message Definition and Management System) 는 인터페이스 요구사항명세서(IRS: Interface Requirement Specification)과 인터페이스 설계기술서 (IDD: Interface Design Description), 인터페이스 구현 및 통합의 단계로 이루어진 인터페이스 개발 과정을 통합 관리할 수 있도록 해준다. 이러한 통합관리는 인터페이스 개발에 따른 IRS, IDD, 구현코드에 걸친 일관성 유지를 쉽게 해주며, 소프트웨어 개발 과정에서 가장 문제가 많이 발생하는 단계라고 할 수 있는 소프트웨어 통합에 있어서 인터페이스 불일치로 인한 문제의 대부분을 제거해 준다. MDMS 기반의 인터페이스 관리는 한번의 인터페이스 정의로 IRS, IDD, 송수신 코드까지 생성함으로써 인터페이스 정의 및 개발의 단계를 한단계로 축소하여 각 단계 사이의 불일치 발생이 미연에 방지되며, 일관성 유지 노력이 필요없다. 삼성탈레스에서는 2008 년 이후 10 여개의 함정전투체계 프로젝트의 소프트웨어 개발에 MDMS 를 적용하여 소프트웨어 개발 생산성의 향상을 이루었다. 특히 인터페이스 정의, 설계, 문서 작성, 코드 구현, 형상관리가 통합은 소프트웨어 인터페이스 개발과정에서의 불필요한 중복 작업을 최소화하고, 그에 따른 문서와 코드간의 불일치를 근본적으로 제거할 수 있었다. 또한, 소프트웨어 개발 관리 측면에서도 인터페이스의 복잡도를 평가하여, 향후 유사 시스템의 소프트웨어 아키텍처 구성에 활용할 수 있다.

플라즈마를 이용한 저온 수정(Quartz) 직접 접합에서 공정변수의 영향

  • Lee, Ji-Hye;;Kim, Gi-Don;Choe, Dae-Geun;Choe, Jun-Hyeok;Jeong, Jun-Ho;Lee, Ji-Hye
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.460-460
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    • 2010
  • 단결정 수정은 높은 자외선(UV) 투과성, 화학정 내성, 압전성 등의 특성을 가지고 있으며, 이로 인해 UV 나노임프린트 리소그래피의 스탬프, 광학 리소그래피의 마스크, MEMS 능동소자 등의 다양한 분야에 응용되고 있다. 단결정 수정의 응용분야를 넓히기 위해서 수정과 수정을 접합하는 것은 매우 유용하다. 수정과 수정의 접합은 무결정 유리, 금속등의 중간층을 이용한 접합이 소개되었으나, 접합 시 접합 계면의 평평도가 낮아 지거나, 중간 금속층의 내화학성이 낮은 단점이 있다[1,2]. 이를 극복하기 위해 중간층을 사용하지 않고, 습식 화학적 에칭을 통한 수정-수정의 직접 접합 방법이 소개되었다[3]. 이 방법은 UV 투과성과 내화학성이 높은 접합을 형성할 수 있으나 500도씨 이상의 고온의 어닐링이 필요한 단점이 있다. 본 연구에서는 플라즈마를 이용하여 저온(200도씨)에서 수정-수정의 직접 접합을 형성하였다. 플라즈마 처리를 통해 수정-수정 직접 접합의 접합 강도가 향상되는 것을 확인하였다. 플라즈마 시간과 수정의 표면 거칠기가 접합 강도에 미치는 영향을 분석하였다. 이 방법을 이용하여 나노 임프린트 리소그래피용 스탬프를 제작하였으며, 성공적으로 나노임프린트를 수행하였다. 이 방법은 MEMS 능동 소자 제작, UV 나노임프린트 리소그래피 스탬프 등 다층 수정구조 제작에 등에 응용될 것으로 기대된다.

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Mechanical and Sensory Characteristics of Jeungpyun Prepared with Different Fermentation Time (발효시간에 따른 증편의 기계적 및 관능적 특성)

  • 윤숙자
    • Korean journal of food and cookery science
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    • v.19 no.4
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    • pp.423-428
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    • 2003
  • Jeungpyun was prepared with varying degrees of fermentation, and their effects on its quality characteristics were examined. In height and volume of jeungpyun, the samples treated with a first fermentation time of 240 minutes, and second and third fermentation times of 60 and 30 minutes, respectively (Sample E) had the best fermentation quality. A texture profile analysis, Hunter's color and sensory evaluation of these jeungpyun were carried out during the 4 days of storage. In the texture profile analysis, the hardness was observed to reduce in proportion to decreases in the fermentation time. The lightness value of Sample E showed one of the highest among the samples, but decreased as the storage time was prolonged. The results of the sensory evaluation showed that Jeungpyun of Sample E had higher swell, softness and moisture scores.

A study on the change of design flood and return period estimates under a non-stationary condition (비정상성 가정에 따른 설계홍수량 및 재현기간 변화에 관한 연구)

  • Shin, Hongjoon;Kim, Taesoon
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2018.05a
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    • pp.329-333
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    • 2018
  • 충청북도 괴산군에 위치한 괴산댐은 비록 규모는 작으나 순수 국내기술진에 의하여 설계, 시공된 최초의 발전용 댐이다. 한편, 2017년 7월 중순 괴산댐 상류에 발생한 집중호우로 인해 괴산댐 유입량이 급격하게 증가한 바 있으며 이로 인해 수위 증가에 따른 수문 방류가 이루어졌으나, 급격한 방류로 인해 하류부 피해가 발생한 바 있다. 해당 시기에 발생한 강우사상은 500년 빈도 이상의 매우 이례적인 현상으로 유입량의 비정상적인 증가는 현 괴산댐의 수문방류능력으로는 대응하기 어려웠을 것으로 판단된다. 건설된 지 60년에 달하는 괴산댐의 건설 당시 설계홍수량은 현재 기후변화로 인한 강우 및 그로 인한 유입량의 증가를 대응하기에는 부족하다고 판단되며 증가된 확률홍수량과 그에 따라 줄어든 재현기간을 재산정할 필요가 있다고 판단된다. 따라서 본 연구에서는 비정상성 가정에 따른 재현기간 산정방법인 기대 대기시간과 기대 초과사상수 정의를 이용하여 괴산댐 유역의 확률홍수량을 재산정하고, 기존 방법과 비정상성을 고려한 방법 간의 비교를 통해 재현기간과 확률홍수량의 변화를 살펴보고자 한다.

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A Study on the Characteristics of Environmental Impact in Construction Sector of High-Speed Railway using LCA (LCA를 이용한 고속철도 건설단계에서의 환경부하 특성에 관한 연구)

  • Lee, Cheol;Lee, Jae-Young;Jung, Woo-Sung;Hwang, Young-Woo
    • Journal of the Korean Society for Railway
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    • v.17 no.3
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    • pp.178-185
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    • 2014
  • This study investigates the characteristics of environmental impact from the construction phase of a high-speed railway through a Life Cycle Assessment method based on the materials used and the energy consumption of the equipment used according to the design statement. The results reveal that the contributions to environmental impact in the construction sector of a high-speed railway were 89% for civil engineering, 7% for the track system, 2% for stations and 2% for the energy and telecommunication system. In particular, the highest contribution to the impact in the civil engineering category were 54% for Global Warming, 25% for Abiotic Resource Depletion and 8% for Photochemical Oxidant Creation. The main influence factors were the use of remicon and cement. In future, the application of Life Cycle Assessment for the construction sector of railway construction will introduce efficient reduction methods according to the quantitative calculation of environmental impact.

Single crystal growth of potassium lithium niobate for nonlinear optics (비선형광학재료 Potassium lithium niobate 단결정 육성)

  • 강길영;윤종규
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.7 no.3
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    • pp.384-392
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    • 1997
  • Potassium lithium niobate(KLN) single crystal for a nonlinear-optic material, which changes the wavelength of lasers, has a ferroelectric tetragonal tungsten bronze structure at room temperature. It has been very hard to get single crystals of good quality due to the cracks during cooling process. In order to investigate the composition change due to the evaporation of solution during the growth, the thermogravimetric analysis was carried out. In atmospheric condition at $1000^{\circ}C$ which is about $10^{\circ}C$ higher than the crystal growing temperature, the weight change was negligible amount of $1.46{\times}10^{-5}$g/($\textrm{cm}^2$hr). By using both the Pt plate as the nucleation site and the slow cooling method with temperature fluctuation, KLN single crystal of good quality of size 1 cm could be obtained. The phase transition temperature was $490^{\circ}C$, which was higher than that reported by other researchers of the other composition. The optical anisotropy due to the absorption of OH-band exists in the range of IR.

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Statistical approach to obtain the process optimization of texturing for mono crystalline silicon solar cell: using robust design (단결정 실리콘 태양전지의 통계적 접근 방법을 이용한 texturing 공정 최적화)

  • Kim, Bumho;Kim, Hoechang;Nam, Donghun;Cho, Younghyun
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2010.11a
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    • pp.47.2-47.2
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    • 2010
  • For reducing outer reflection in mono-crystalline silicon solar cell, wet texturing process has been adapted for long period of time. Nowadays mixed solution with potassium hydroxide and isopropyl alcohol is used in silicon surface texturing by most manufacturers. In the process of silicon texturing, etch rate is very critical for effective texturing. Several parameters influence the result of texturing. Most of all, temperature, process time and concentration of potassium hydroxide can be classified as important factors. In this paper, temperature, process time and concentration of potassium hydroxide were set as major parameters and 3-level test matrix was created by using robust design for the optimized condition. The process optimization in terms of lowest reflection and stable etch rate can be traced by using robust design method.

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