직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$ /Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구
(Study on the Bonding Interface in Directly Bonded Si-Si and Si-$SiO_2$ Si Wafer Pairs)
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- 한국재료학회지
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- 제4권2호
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- pp.127-135
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- 1994