This paper described about the ultra-precision profile measurement of aspheric surfaces using contact probing technique. A contact probe has been designed as a sensing device to obtain measuring resolutions in nanometer regime utilizing a circle leaf spring mechanism and a capacitive-type sensor. The, contact probe is attached on the z-axis during measurement while aspheric object are supported on the diamond turning machine(DTM). The machine xz-axis motions are monitored by a set of two orthogonal plane mirror type laser interferometers. Experimental results show that the contact probing technique developed of on-machine measurement system in this investigation is capable of providing a repeatability of 10 nanometers with a $\pm$20 uncertainty of 200nmPv.
본 연구에서는 반도체 레이저 LD 혹은 백색광로부터 조사되는 빔을 CRT 모니터의 측정부에 입사시켜 패널 glass와 섀도우 마스크에서 반사되는 빔을 PSD에 조사하여 섀도우 마스크의 진동을 측정하였으며, CCD를 사용하여 열적변형과 패널 glass의 아랫면과 섀도우 마스크사이의 간격 Q값을 측정하였다. 사용한 PSD는 검출 영역은 12mm, 센서의 위치분해능은 0.2$mu extrm{m}$이며, 실시간적으로 처리할 수 있는 장점을 갖고 있다. CRT의 경우 전자빔의 충돌에 의한 섀도우 마스크의 열적 변형과 진동에 의한 섀도우 마스크의 떨림이 발생하여 화질이 저하된다. Q값의 정확한 계측과 섀도우 마스크의 열적변형 및 진동의 측정을 통하여 이들 현상이 발생되는 근본적인 취약구조를 발견함으로써 우수한 섀도우 마스크를 설계하고 제품의 성능을 향상시킬 수 있다. (중략)
Non-contacting capacitive sensors, based on principle of the cross capacitor, for measuring small displacement less than 1.95$\pm$0.5 mm have been fabricated and characterized. To overcome disadvantages of the existed capacitive sensors, the new sensor is consisted of 4-electrodes which are formed 2 active electrodes and 2 guard electrodes on a sapphire plate with diameter 17mm and thickness 0.7 mm, and are symmetrically situated with constant gap of 0.2 mm among the electrodes. The sensor is evaluated to be correlation coefficient of 0.9987 for the range of 1.95$\pm$0.5 mm and that of 0.9995 for 1.95$\pm$0.25 mm range. This sensor can be used for in situ measurements in the mechanical mirror polishing with precision less than $\pm$1${\mu}{\textrm}{m}$.
Accurate counting and packaging pills is one of the most fundamental works of the pharmaceutical industry. But it is so labor consuming and very hard to be automated. As the pharmaceutical industry is growing bigger, the need of counting and packaging automation is increasing to obtain effective mass production. Precise and quick sensing is required in the counting and processing of quickly dropping pills to improve the productivity. There are many trials for this automation and automatic machine. But the performance of the existing counting machine varies with the size, shape and the dispersion degree of pills In this research, authors design the counting and packing machine of medicinal pills that is more accurate and highly trustworthy After getting analog signal from optical sensor, pill passage is discriminated from chosen characteristic feature using microprocessor.
This paper deals with the non contact optical sensor to measure the shape of transparent plates such as glass panel of LCD(Liquid Crystal Display). The conventional methods to obtain the shape or thickness of a transparent plates are contact type sensor such as LVOT(Linear Variable Differential Transformer). Due to the contact between the tip of the sensor and the surface of objects, the tip is abraded. In addition, the high temperature glass casting makes the size of sensor body changed. These reasons makes the sensor degraded. In this paper, to overcome these problem, we proposed a low cost noncontact optical sensor this is composed of the Hologram laser unit of a CD-Pickup and a plastic lens. To evaluate the performance of the proposed optical sensor, a series of experiments were performed for various measurement condition. Based upon observation of the experimental result, the developed sensor shows good result for measuring the shape of transparent plates.
본 연구에서는 3차원 솔리드 모델러로부터 Modeling한 후 제작된 model 에 사용자가 원하는 측정 위치를 지정함으로써 자동적으로 측정용 NC Data를 얻을 수 있는 알고리즘을 설계하고 이를 Program화하였다. 3-D Modeler로서 Unigraphics를 사용하였으며, 공작기계는 FANUC Controller를 장착한 Machining Center이다. 측정용 센서는 접촉식 Probe를 사용하였다. 본 연구를 통하여 CAD시스템에서 구축된 Geomaatric Model로부터 직접 측정을 위한 NC data를 얻고 이 data를 가공후의 측정 Data와 비교하여 봄으로써 제품의 가공정밀도를 확인해 볼 수 있으며, 가공시의 간섭 check, 잔삭가공여유, 과절삭등 다양한 정보를 얻을 수 있을 것이다. 향수 지속적인 연구개발을 통하여 data의 통계처리 및 공작기계의 오차 보정등을 고려하여 줌으로써 기계상에서의 측정 data에 대한 신뢰도를 구축할 수 있을 것으로 사료된다.
In metal cutting, the machining accuracy is more affected by thermal errors than by geometric errors. This paper models of the thermal errors for error analysis and develops on-the-machine measurement system by which the volumetric error are measured and compensated. The thermal error is modeled by means of angularity errors of a column and thermal drift error of the spindle unit which are measured by the touch probe unit with a star type styluses, a designed spherical ball artifact, and five gap sensors. In order to analyze the thermal characteristics under several operating conditions, experiments performed with the touch probe unit and five gap sensors on the vertical and horizontal machining centers.
The present paper relates to a development of the Gear Detection Sensor for automotive manual transmission. To detect air gap from control finger to detecting zone of sensor based on non-contacted method, permanent magnet and linear type Hall IC are mounted in this sensor. Control finger is machined to 3 step heights to detect 3 gear stages such as In-Gear, Normal and Rear. After conducting actual experimentation based on exclusive Jig and FEM, it is described to consider possibility for automotive application of Gear Detection Sensor.
The accelerated life tests of the catalytic gas sensor were performed at three different gas concentration conditions. From the test data, the power-Weibull model was estimated and the acceleration factor between test condition 25%LEL(Lowe Explosive Limit) and use condition 5%LEL was about 3 according to this acceleration model. Using this acceleration factor, life test specification for qualifying that B10 lifetime of the catalytic gas sensor meets the goal lifetime (5 years) was designed.
MEMS를 기반으로 하는 써모파일은 여러 산업분야에 측정 센서로 각광받고 있다. 이러한 써모파일은 유속, 가스, 칼로리미터 및 비접촉식 체온계 등의 적외선 및 열 측정 소자로 사용되고 있다. 기존의 써모파일은 산화막/질화막/산화막이나 혹은 산화막/질화막의 공정을 사용하여 제작되며, 열전쌍은 지벡 계수가 큰 여러 가지 물질을 사용하여 제작되어 발표되고 있다. 그러나 본 논문에서는 저 스트레스 질화막을 사용하여 다이어프램을 제작하였다. 열전쌍은 인을 주입한 다결정 실리콘과 알루미늄을 직렬로 연결하여, 60쌍으로 제작하였고, 또한, 열접점의 열전쌍의 접합 모양을 변경하여 감도를 증가 시켰다. 소자의 기는 $3{\times}3mm$이고, 활성영역은 $1{\times}1mm$이다. 그리고 출력은 사람 체온인 $37^{\circ}C$일 때, 0.403mV의 출력전압을 보였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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