Study on the Influence of Ingot Feed Speed on Accuracy of Wafer Shape in Multi Wire Saw Process (멀티와이어쏘 공정에서 잉곳 절입속도가 웨이퍼 형상 정밀도에 미치는 영향에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2012.05a
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- pp.147-148
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- 2012