우주물질의 대부분이 플라즈마 상태에 있지마는 지구상에서는 천둥이 칠 때 생기는 방전이나 극지방에서 볼 수 있는 오로라와 같이 극히 일부분이 자연상태의 프라즈마로 존재한다. 지금까지 플라즈마의 이용은 그것이 내는 밝은 빛을 이용한 조명이나, 높은 열을 이용한 용접이나 절단이 고작이었으나, 최근에 들어 초고온, 고밀도 플라즈마를 이용한 핵융합 에너지 연구나 Free Electron Laser나 Gyrotron과 같이 새로운 Radiation Source로써 종래의 Source가 만들지 못하던 주파수 영역이나 Glow Discharge에서 생기는 저온 Plasma를 이용한 Plasma Etching PECVD(Plasma Enhanced CHemical Vapor Deposition), Plasma Ashing, Sputtering등은 VLSI의 제조에 필요불가결한 공정의 일부분이 되고 있다. 앞으로 수회에 걸쳐 본 기술해설란을 통하여 이들 Plasma의 이용 기술을 소개하고자 하며 본회에서는 그중에서 Plasma Etching에 대해서 그 원리와 기술상의 특징을 살펴보고자 한다.
식도이물은 이비인후과영역에서 흔히 접하는 질환이며, 그 예는 국내외를 막론하고 대단히 많은 보고가 있는데, 그 종류도 다양하여 지역, 시기, 민족, 생활환경, 생활양식, 개인의 습관, 오락, 취미 등에 따라 각양각색이다. 대부분의 식도이물은 식도경하에서 적출이 가능하지만, 특별한 경우에는 외과적 수술에 의해서만 적출이 가능하다. 최근 저자들은 양고기 뼈(절단된 관절 연골부)가 식도 제삼 협착부에 수평으로 체류하여 식도 직달경 하에서 여러가지 감자로 적출을 시도하였으나 실패하여, 외과적 수술로 적출한 1례를 경험하여, 이에 문헌적 고찰과 함께 보고하는 바이다.
MOS 소자의 얇은산화막(thin oxide)불량을 화학적으로 식각하지 않고 불량부위를 광전자방사(photon emission)반응을 이용하여 위치를 확인하고, 이곳을 FIB로 절단하여 불량부위의 단면을 관찰했다. 20nm 두께의 SiO2불량은 셀(cell)영역의 위치에 따른 의존성은 없고, 불량은 저전계의 입자(particle)성 불량과 중간전계의 Si 기판 핏(pit)과 관련된 불량이 주였다. 고전계에서는 전형적인 SiO2 산화막의 절연파괴가 일어난 것이 관찰된다.
반도체 산업계에 있어서 IC 등을 주류로 하는 마이크로칩의 생산성 및 성능이 현저히 성장하여 많은 경제효과를 가져오고 있다. 이와함께 전자부품에 사용되어지는 취성재료의 종류 및 그양도 점점 증가하는 추세이다. 이러한 취성재료의 절단에는 초극박의 다이야몬드 브레이드가 널리 사용되어지고 있다. 실리콘웨이퍼와 같은 취성재료의 다이싱가공에서 문제가 되고있는것은 칩핑과 사행현상의 발생이다. 사행현상의 원인으로서는 브레이드축면의 비대칭성,절삭날의 둔화,숫돌축과 이송방향의 위치결정오차,후렌지 단면의 흔들림등을 들수 있다. 그러나, 사행의 발생영역과 사행이 계속되는 이유에 대해서는 전혀 검토되어진바 없는것이 현실이다. 본 연구에서는 다이싱가공시의 사행현상에 주목해서 사행현상의 발생영역을 명확하게 함과 동시에 AE 센서를 이용하여 인프로세서로 사행현상의 검출방법을 개발하는 것을 목적으로 한다.
본 논문에서는 3D 점집합으로부터 3D 메쉬를 생성하는 효율적인 기법을 소개한다. 대표적인 3D 삼각화 방법으로 3D Delaunay 삼각화 기법이 있으나 물체의 표면만을 고려한 메쉬 생성을 위한 방법으로 비효율적인 측면이 있다. 본 논문에서는 적은 계산량으로 물체의 표면 메쉬를 생성하는 기법을 소개한다. 물체의 각 영역을 분할하고 각 영역에 대해서 2D Delaunay 삼각화를 적용하여 3D 메쉬 구조를 얻는다. 3차원 점 집합에 대해 OBB를 계산하고 이를 기준으로 점집합을 다양한 각도에서 자르고 각 부분 점집합에 대해서 2D Delaunay 삼각화를 실시한다. 절단하는 각도의 간격이나 폭은 원래의 3D 점집합에서의 가장 가까운 이웃점들까지의 평균 거리를 이용하여 결정하도록 하였다. 후처리 과정으로 삼각 분할과정에서 잘못된 에지의 연결을 제거함으로써 객체의 삼각 분할 결과를 향상시킨다. 제안된 메쉬 생성 기법은 다양한 영상 기반 모델링 응용에서 효과적으로 적용될 수 있다.
본 논문에서는 지속적으로 증가하는 이동통신 가입자를 수용하고 초고속 모바일 데이터 서비스를 제공하기 위해서 무선 자원을 효율적으로 사용하기 위한 호 제어 방법을 제안한다. 제안된 방법에서는 핸드오버 호 요구를 효율적으로 처리하고 서비스 품질을 개선하기 위하여 핸드오버 지속시간(핸드오버 요구부터 기존 채널 절단까지의 핸드오버 영역에 머무르는 시간)을 고려하여 핸드오버 영역을 먼저 벗어나는 순서를 예측하고 이를 기준으로 우선순위가 높은 핸드오버 호를 먼저 처리한다. 제안된 방법의 성능을 분석하기 위하여 시뮬레이션을 수행하였으며, 가입자의 새로운 호의 발생 시간 간격과 호의 통화시간을 지수분포로 가정하고 지수분포의 memoryless property 특성을 이용하였다. 수행 결과, 제안된 방법이 기존의 FIFO(First-In-First-Out) 방법에 비하여 호의 블록킹 확률과 강제 종료 확률이 감소(평균 25.2%)됨을 알 수 있다.
본 연구에서는 리싸이클 방법에 따른 리싸이클 폴리에스터사의 물리적 성질을 고찰하고자 하였다. 시료로는 물리적 리싸이클 방법과 화학적 해중합을 통한 리싸이클 방법을 사용한 폴리에스터사를 사용하였다. 리싸이클 폴리에스터사의 표면 형상을 관찰하기 위해 SEM을 이용하였고, 열적 거동을 규명하기 위해 DSC를 이용하였으며, 미세 구조적 차이를 살펴보기 위해 XRD 분석을 하였고, 역학적 성질을 평가하기 위해 인장강도와 절단신도를 측정하였다. 연구 결과, 리싸이클 방법에 따라 Tg, 결정화 온도, 융점과 융해열은 약간의 차이를 보였다. 화학적 리싸이클 PET사는 Virgin PET사보다 Tg가 약간 상승하였고, 승온 시 결정화 온도는 하강하였으며, 융점의 차이는 거의 없는 것으로 나타났다. 이는 해중합에 의해 PET의 비결정영역의 고분자 사슬 간의 거리가 좁아져 더 높은 Tg를 나타내는 것으로 생각된다. 또한, 물리적 리싸이클 PET사의 융점과 융해열은 화학적 리싸이클 PET사의 융점과 융해열보다 더 높게 나타났다. 결정화도에서는 리싸이클 방법에 따른 차이는 거의 보이지 않았다. 이는 리싸이클 공정이 폴리에스터의 결정영역 변화에는 유의한 영향을 미치지 않았기 때문인 것으로 생각된다. 실의 인장강도는 리싸이클 PET사는 virgin PET사보다 약간 더 낮았고, 물리적 리싸이클 PET사와 화학적 리싸이클 PET사는 비슷하게 나타났고, 절단신도는 virgin PET사, 물리적 리싸이클 PET사와 화학적 리싸이클 PET사 간의 뚜렷한 차이는 없는 것으로 나타났다.
본 논문에서는, 부분응답 전송시스템의 일반화된 모델을 수정하여 순환적 구조로 설정하고, 이를 극초단펄스의 형성과정에 적용함으로써, 펄스의 폭에 따라 그 스펙트럼을 용이하게 얻어낼 수 있는 새로운 방법을 제안하였다. 이 방법은, 시간영역에서 폭이 매우 좁기 때문에 그 주파수영역의 정확한 형태를 평가하기 어려운 극초단펄스의 스펙트럼 분석을 위하여 편리하게 사용될 수 있다. 또한, 여기서 제시하는 방법은 순환적 알고리듬을 제공하므로, 연속미분법이나 콘볼루션에 의한 방법 등 기존의 알고리듬에 비하여 수치해석적으로 용이하며 이론적 접근에 있어서도 매우 편리하게 이용될 수 있다. 만일, 극초단펄스의 기본형태가 절단형fourier 급수로 정확히 표현되거나, 정형화된 펄스에 의하여 근사화될 수 있다면, 본 논문의 방법은 매우 편리하게 적용된다. 기본형태를 나타내는 Fourier 급수가 소량의 항에서 절단될수록 스펙트럼은 단순한 연산에 의하여 얻어진다. 또한, 다양한 형태의 극초단펄스를 표현하기 위한 방편으로, 최소대역 부분응답 전송시스템의 보편적 형태인 9-Type을 여기에 적용하고, 차수를 증가시켜 FWHM 폭을 현저히 감소시키는 형태를 찾아, 그 스펙트럼을 유도하는 일반적 알고리듬을 제시하였다.
노치가 있는 보에 부착된 압전소자의 전기역학적 어드미턴스 전이과정을 파전달 관점에서 규명한다. 유한요소 해석을 통해 노치가 있는 보에서 잔향하는 램파에 대한 수치해를 구한다. 보에 병치된 압전소자의 분극을 이용하여 노치에 의해 발생하는 모드변환된 램파 신호를 추출한다. 전기역학적 어드미턴스의 전이과정을 보여줄 수 있는 일련의 템포럴 스펙트럼은 모드변환된 램파 신호들을 시간영역에서 순차적으로 절단한 후, 고속 푸리에 변환을 적용하여 계산한다. 절단 시간이 상대적으로 작을 때 이에 대응되는 템포럴 스펙트럼은 입력 주파수 대역의 특성이 지배적이다. 그러나, 절단 시간이 증가함에 따라 입력 주파수 대역 내에 존재하는 보의 모달 특성이 템포럴 스펙트럼에 중대한 영향을 준다. 이는 보에서 잔향하는 모드변환램파가 보의 공진에 기여함을 의미한다. 각 공진주파수 부근에서 템포럴 스펙트럼에 대한 제곱평균제곱근을 계산한다. 모든 공진주파수 부근에서 절단시간에 따라 제곱평균제곱근은 증가한다. 마지막으로, 보의 손상 진단 측면에서 수치해석 결과의 시사점에 대해 논의한다.
레이저 절단기는 고도의 정밀을 요하는 선체구조강판의 가공용으로 최근 조선소에서 사용되게 되었으며, 정밀성 유지를 위해서 이 시스템 자체의 운동으로 인한 변형은 일정한도 내에서 유지되어야 한다. 본 논문에서는 새로 개발된 레이저 절단기의 모드해석 및 구조해석을 이 시스템의 설계요구조건에 부합하는지를 검토하기 위하여 수행하였으며, 이를 위하여 유한 요소 모델링의 효과적인 기법과 가상 질량요소를 분대하는 기법, 가속도장의 변화로 주어지는 외력조건의 구체화 방법등을 제시하였다. 또한 고유진동해석을 수행하여 이 시스템의 동적효과 존재 여부를 검토하였으며 시간영역의 동적해석을 하지 않고 정적해석을 통한 시스템 특성 규명 타당성을 규명하였다. 해석 접근 방법의 유용성이 입증되었으며 결과적으로 본 논문에서 보여 준 해석기법은 유사한 시스템의 특성 규명에 유효하게 적용될 수 있음을 시사하고 있다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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