B 및 Cs 가 이중이온주입된 $Si_3N_4$ 박막의 전해질 용액 중 이온감지특성에 관한 연구
(A study on the ion sensing properties of B and Cs coimplanted $Si_3N_4$ thin films)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2004년도 하계학술대회 논문집 C
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- pp.1691-1693
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- 2004