Analysis of Electron Density of Inductively Coupled Plasma Using Neural Network (신경망을 이용한 유도결합형 플라즈마의 전자밀도 해석)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- pp.462-463
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- 2007