• 제목/요약/키워드: 전자주사현미경

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소형주사전자현미경용 전자공학계의 개발 (A Development of Electron Optics System of Mini-Sized SEM)

  • 박만진;김일해;김동환;장동영;한동철
    • 한국공작기계학회논문집
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    • 제16권5호
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    • pp.140-144
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    • 2007
  • As an electron scanning microscopes has traditionally required a considerably large room equipped with several service and pipe lines due to its inherent size. As an alternative, a small sized SEM, simply called a mini-SEM, is introduced even if the performance in terms of magnification and resolution is a little inferior to a classical thermal SEM. However, the size and fabrication cost is dramatically reduced, dedicating to opening a new market. The optical system in the mini-SEM is redesigned and specimen stage is quitely reduced and vertical axis is excluded. The design tools and calibration techniques to develope the mini-SEM are introduced and its performance is verified through numerical analysis experiments.

SELF-ETCHING PRIMER와 레진계 근관 SEALER 사용시 근관벽의 형태와 치근단 근관밀폐에 대한 실험적 연구 (IN VITRO STUDY ON APICAL SEAL AND SEM MORPHOLOGY IN CANALS FILLED WITH RESIN-BASED ROOT CANAL SEALER AND SELF-ETCHING PRIMER)

  • 강삼희;박동성;유현미;오태석
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • 제25권4호
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    • pp.543-549
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    • 2000
  • Gutta-percha와 근관sealer를 사용한 근관 충전은 가장 많이 이용되고 성공률이 높은 방법이지만, 현재 사용되는 모든 근관sealer는 미세누출을 나타낸다. 따라서 더 효과적인 근관 폐쇄를 이루기 위한 재료 및 방법들이 연구되어왔다. 이중 상아질 접착제는 근관 충전재와 함께 사용되어 미세누출을 감소시키지만, 근관 내에 사용하기에 술식이 복잡하고 기술이 요구된다. 본 연구의 목적은 gutta-percha와 레진계 근관 sealer로 충전한 근관에서 self-etching primer를 미리 도포한 경우와 도포하지 않은 경우의 치근단 미세누출을 비교하고, self-etching primer를 도포함에 있어 근관 내에 적용하는 방법에 따른 미세누출을 비교하는 것이다. 또한 근관sealer와 상아질 계면을 주사전자현미경으로 관찰하여, 이 결과를 미세누출과 관련시켜보고자 하였다. 36개의 발거된 사람의 단근치에서 치관부를 절단, 제거하고 ProFile로 근관 형성한 후, 무작위로 선택하여 4개의 군으로 분류하였다. 1군에서는 주사기와 30게이지 주사 바늘로 self-etching primer를 근관 내에 적용하였고, 2군에서는 self-etching primer를 paper point에 적셔 근관 내에 적용하였다. 3군에서는 self-etching primer를 적용하지 않았다. 1, 2, 3군의 치아를 gutta-percha와 AH26 sealer를 사용하여 continuous wave 충전법으로 충전한 후 치근단공 주위 3mm를 제외한 치근변에 nail polish를 2회 도포하였고, 4군(음성 대조군)은 치근면 전체에 도포하였다. 1군과 2군에서 각각 2개의 치아는 주사전자현미경적 관찰을 위해 준비하였다. 모든 치아를 Methylene Blue 수용액에 48시간동안 침적, 수세한 후 치아 장축에 평행하게 양분하여 10배의 실물확대현미경 하에서 치근단 색소 침투를 관찰하였다. Self-etching primer를 도포한 군과 도포하지 않은 군 사이에는 평균 미세누출량에 유의한 차이가 없었다. 주사 바늘로 적용한 군과 paper point로 적용한 군 사이에도 평균 미세누출량에 유의한 차이가 없었다. 상아질과 근관 sealer계면의 주사전자현미경 관찰 결과 일부분에서 긴밀한 접착 관계를 나타내었고, 다른 부분에서는 간극을 나타내었다.

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전자빔 조사에 의한 탄소상 탐침의 성장 (Carbon tip growth by electron beam deposition)

  • 김성현;최영진
    • 한국진공학회지
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    • 제12권2호
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    • pp.144-149
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    • 2003
  • 주사전자현미경을 이용한 전자빔의 직접조사에 의해 실리콘 캔틸레버 위에 탄소상 탐침을 성장하였다. 오일확산 펌프의 잔류가스 분위기에서 실리콘 캔틸레버와 전자빔을 수직으로 정렬한 다음 전자현미경의 스폿 모드를 통해 전자빔을 일정시간 동안 조사시켜 탄소상 탐침을 성장시켰다. 주사전자현미경의 제어변수인 조사시간, 가속전압, 방출 전류, 전자빔 프로브 전류 등을 변화시킴으로써 다양한 종횡비를 가지는 탐침을 성장시킬 수 있었으며, 성장 위치의 표면 형상과 무관하게 탐침을 성장시킬 수 있었다. 그 결과 유효길이 0.5 $\mu\textrm{m}$, 바닥직경 90 nm,콘의 반각 $3.5^{\circ}$인 탐침을 성장시켰다. 탐침이 없는 캔틸레버에 고종횡비 탄소상 탐침을 성장시킬 수 있는 기술은 PZT 박막구동기가 집적화된 AFM 캔틸레버의 탐침 형성 과정에서 발생하는 제작과정의 번거로움을 극복하는데 적용될 수 있다.

전계방출 주사전자 현미경의 전자광학계 유한요소해석 (Finite Element Analysis for Electron Optical System of a Field Emission SEM)

  • 박근;박만진;김동환;장동영
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제30권12호
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    • pp.1557-1563
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    • 2006
  • A scanning electron microscope (SEM) is well known as a measurement and analysis equipment in nano technology, being widely used as a crucial one in measuring objects or analyzing chemical components. It is equipped with an electron optical system that consists of an electron beam source, electromagnetic lenses, and a detector. The present work concerns numerical analysis for the electron optical system so as to facilitate design of each component. Through the numerical analysis, we investigate trajectories of electron beams emitted from a nano-scale field emission tip, and compare the result with that of experimental observations. Effects of various components such as electromagnetic lenses and an aperture are also discussed.

치과용 Pd-Cu-GarP 합금의 전자현미경 분석 (Electron Microscopy Analysis of Pd-Cu-Ga System Dental Alloy)

  • 김기주;김수철;이진형
    • 대한의용생체공학회:의공학회지
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    • 제20권6호
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    • pp.539-546
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    • 1999
  • 현재 상용화되고 있는 치과용 76.5% Pd-11.2% Cu-7.2% GarP 합금의 왁스모형을 원심주조기로 주조하여, 임상조건의 탈개스 및 세라믹 소성처리를 하였다. 이에따른 각각의 시편에 대해 미세조직의 변화를 주사전자현미경 및 EDS로 관찰하고, 최종적인 투과전자현미경으로 조사하였다. 각 조건의 편석, 결정립계 및 석출물부위를 주사전자현미경과 EDS 고 관찰한 결과, 이원계 Pd-GA합금의 안정상들에 해당하는 정량적인 조성비는, 단지 상대적으로 Ga의 성분비만 높게 감지되었다. 특히, 세라믹소성 처리후 미세조직에서 형성된 석출물에 근접한 기지조직일수록 Ga의 농도가 상대적으로 줄어든 고갈현상을 확인하엿다. 또한 투과전자현미경의 제한시야회절도형 분석결과, 주조 및 탈개스처리 후 미세조직의 편석부위에서는 GA의 가장 큰 강도를 보였고, 또 Ga과 Pd 고용체 사이에 미세한 판상의 석출물에 기인하는 줄무늬를 관찰하였다. 한편, 세라믹소성처리후 미세조직의 석출물은 금속간화합물 Pd2Ga으로 밝혀졌으며, 기지조직은 <100> 방향을 따라 약 25nm의 폭을 가지는 미세한 섬유상 형태의 소위 "tweed 조직'을 형성하였다.성하였다.

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