• Title/Summary/Keyword: 전자주사현미경

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Variation of ordinary chondrite textures by thermal/shock metamorphisms and weathering ; a study using scanning electron microscopy (주사전자 현미경으로 관찰한 열변성, 충격변성 및 풍화작용에 따른 오디너리 콘드라이트 조직의 변화)

  • Park Gwon-Tae;Choe Byeon-Gak
    • 한국지구과학회:학술대회논문집
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    • 2006.02a
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    • pp.230-234
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    • 2006

  • 본 연구에서는 미분화 운석 중 오디너리 콘드라이트를 주사전자 현미경으로 관찰하여 열변성, 충격 변성 정도, 지구상에서의 풍화 정도에 따라서 그 구성 성분과 조직이 어떤 변화를 보이는지 알아보았다. 이를 위해 15개의 오디너리 콘드라이트에 대해 각각 연마편 및 연마박편을 준비하였으며, 주사전자 현미경 사진을 이용하여 열변성 단계별로 콘드률과 기질의 경계를 비교하였다. 열변성이 증가할수록 콘드률과 기질의 경계는 점차 모호해 진다. 충격변성을 받았는지의 유무는 감람석을 관찰하여 비교적 쉽게 인지할 수 있다. 충격변성을 받지 않은 콘드률 내의 감람석은 완전 소광과 불규칙적인 깨짐을 보이지만 충격변성을 받은 경우 파동소광과 규칙적인 깨짐을 보인다. 지구상에서 풍화를 받은 경우 철-니켈 금속의 산화가 가장 먼저 진행된다. 풍화에 의한 철산화물은 맥상으로 나타나거나 기존의 철-니켈 금속을 치환하여 나타난다. 철산화물에 의해 풍화를 받은 콘드라이트는 전체적으로 갈색을 띄게 된다.

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전자빔을 이용한 미세형상 패턴성형용 S/W의 개발

  • 강재훈;송준엽;이승우;박화영
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2004.05a
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    • pp.243-243
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    • 2004

  • 상용화된 주사식 전자현미경(SEM)을 기본 구조로 하는 가공 시스템을 구축하여 전자빔(Electron beam)을 이용한 초미세 패턴(Nano pattern) 등 형상의 직접 성형, 혹은 직접 묘화(Direct writing) 가공을 수행하기 위해서는 크게 분류하여 연속적으로 스캐닝되는 전자빔을 요구에 따라 적절하게 극히 짧은 시간 내에 개폐하는 빔 블랭커(Beam blanker)와 효율적으로 초미세 패턴 등의 형상을 설계ㆍ가공하기 위한 전용 S/W의 두 가지 요소가 반드시 적용되어야 한다.(중략)

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