• Title/Summary/Keyword: 전자기 펌프

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고진공 터보복합분자 펌프 자기베어링 기술

  • No, Seung-Guk;Sin, U-Cheol;Gyeong, Jin-Ho;Park, Yong-Tae;Go, Deuk-Yong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.20-20
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    • 2010
  • 반도체 공정 등에서 10-6~10-8 Torr의 고진공 환경을 제공하기 위하여 사용되는 고진공 터보분자펌프 (Turbomolecular Pump, TMP)는 다층의 회전깃을 갖는 로터를 회전시켜 분자를 배출시키는 방식을 사용하는 진공펌프이다. 또한 최근에는 디스플레이 및 반도체 공정에서 높은 진공도뿐만 아니라, 높은 배기속도를 요구하는 추세에 따라, 터보 펌프와 드래그 펌프부분을 동시에 가지고 있어 상대적으로 작동 진공도 영역이 넓은 복합 분자펌프(Compound Turbomolecular Pump, CMP)의 활용도가 넓어지고 있다. 이러한 분자펌프가 장시간의 고속회전에 적합하도록 비접촉 방식인 자기부상 방식의 적용이 최근 거의 표준화되어 있다. 자기베어링 시스템은 전자기력을 이용하여 자성체인 회전축을 부상지지 함으로써 비접촉 고속 회전이 가능하여 윤활이 용이하지 않은 진공 환경 등 가혹한 환경에 적합하며, 터보분자펌프는 자기베어링이 가장 널리 사용되고 있는 분야이기도 하다. 자기베어링 시스템의 설계는 크게 하드웨어와 소프트웨어로 나누어질 수 있는데, 하드웨어의 경우 전체 로터 시스템의 특성을 고려하여 설계되어야 하며, 주로 자기베어링 코어와 코일, 변위센서 및 전력 증폭 시스템 등의 기전적인 요소들이 이루어져 있다. 하드웨어 설계와 함께 제어시스템의 설계도 매우 중요하며, 이는 자기베어링 시스템이 불안정한 특성을 갖는 개루프계를 갖고 있으므로 안정화를 위한 능동제어 시스템이 필수적이며 진동제어 등 여러 가지 기능이 요구되기 때문이다. 본 논문에서는 이러한 자기부상형 고진공 복합분자펌프의 제어를 위한 선형제어시스템의 구성을 실제 시스템의 적용을 통하여 설명하였다. 각 제어기는 DSP 를 이용한 디지털 제어시스템으로 구성되었으며, 2, 500 l/s 급의 복합 분자펌프 시작품에 적용하여 10,000 rpm까지의 기본성능시험을 수행하였다.

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A 166MHz Phase-locked Loop-based Frequency Synthesizer (166MHz 위상 고정 루프 기반 주파수 합성기)

  • Minjun, Cho;Changmin, Song;Young-Chan, Jang
    • Journal of IKEEE
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    • v.26 no.4
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    • pp.714-721
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    • 2022
  • A phase-locked loop (PLL)-based frequency synthesizer is proposed for a system on a chip (SoC) using multi-frequency clock signals. The proposed PLL-based frequency synthesizer consists of a charge pump PLL which is implemented by a phase frequency detector (PFD), a charge pump (CP), a loop filter, a voltage controlled oscillator (VCO), and a frequency divider, and an edge combiner. The PLL outputs a 12-phase clock by a VCO using six differential delay cells. The edge combiner synthesizes the frequency of the output clock through edge combining and frequency division of the 12-phase output clock of the PLL. The proposed PLL-based frequency synthesizer is designed using a 55-nm CMOS process with a 1.2-V supply voltage. It outputs three clocks with frequencies of 166 MHz, 83 MHz and 124.5MHz for a reference clock with a frequency of 20.75 MHz.

Emergency Power Backup System with Wide Input Voltage Ranges (넓은 입력전압 범위를 갖는 비상전원 공급장치)

  • Chae, Hyungjun;Kim, Kyungdong;Oh, Hyungrock;Lee, Junyoung
    • Proceedings of the KIPE Conference
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    • 2010.11a
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    • pp.175-176
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    • 2010
  • 본 논문에서는 자기 베어링을 이용한 자기부상형 터보분자펌프 운용시 그 시스템에 공급되는 입력전원이 중단될 경우 모터의 발전 전압을 이용하여 일정시간동안 자기 베어링을 구동하여 분자펌프의 안정된 shut-down을 유도하도록 제어기에 전원을 공급하는 전원장치를 제안한다. 본 논문에서 제안한 전원장치는 300W급이며 입력전압 30~400V로 출력은 48V이다.

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액체금속로 SAILMER 개념 개발

  • 남호윤;이용범;김용균;최병해;김종만
    • Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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    • 1997.10a
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    • pp.509-515
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    • 1997
  • 환상형 이중벽 증기발생기와 환상형 전자펌프 신개념을 개발하여 중간열교환계통과 소듐 배관이 없는 단순하고 밀집된 형태의 액체금속로인 SAILMER 노형 개념을 제안하였다. 금속핵연료를 사용하는 모듈형으로 증기발생기에서의 소듐과 물 반응사고에 대비한 연구와 제작기술을 제고시키면 이 노형은 경제성과 고유안전성을 동시에 구현할 수 있다.

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Transient Performance of a System Heat Pump with the Variation of Compressor Speed and EEV Openings (시스템 히트펌프의 압축기 주파수 및 전자팽창밸브 개도 변화에 따른 과도성능 특성)

  • Lee, Sang-Hyeok;Choi, Jong Min
    • Journal of the Korean Society for Geothermal and Hydrothermal Energy
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    • v.9 no.3
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    • pp.11-18
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    • 2013
  • Small and medium-size buildings employ a multi-distributed individual air-conditioning system utilizing package air conditioners instead of centralized cooling systems, which can allow easier building management and maintenance along with a diversification of facility use. Inverter driven system heat pumps have been developed to achieve not only easy distribution control allowing free combination of indoor units with different models and different capacities, but also wide applications to an intelligent air conditioning. In this study, the transient performance of a system heat pump was analysed with the variation of compressor speed and EEV openings. The superheat was selected as a control parameter of the system, because the variation of it was consistent with each indoor unit capacity.

Development of an Automatic Refrigerant Charging Device for Refrigeration Applications (냉동기용 자동 냉매 충전장치 개발)

  • 김성수;윤희정;홍희기;강용태
    • Journal of Energy Engineering
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    • v.12 no.4
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    • pp.253-258
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    • 2003
  • Manual type manifold gauge has been used for charging the refrigerant in the refrigeration systems. In this case, the refrigerant is released to the ambient during the hose-switching period. :he objectives of this study are to develop a novel automatic refrigerant charging system, and to quantify the effect of the automatic systems on the reduction of the non-condensable gas and the contamination of the compressor oil. The automatic charging system makes the pressure test, vacuum test, and refrigerant charging work very simple and easy because the charging hose does not have to be switched many times. It is found that the amount of water in the SiO$_2$and the compressor oil reduces to l/4 times of that for the manual type manifold gauge and the refrigerant is not released to the ambient at all when the automatic charging system is adopted.

Pressure Control of Hydraulic Pump using SR Drive with Pressure Predict and Direct Torque Control Method (압력예측기법과 직접순시토크제어기법을 통한 유압펌프용 SRM의 압력제어구동)

  • Lee, Dong-Hee;Seok, Seung-Hun;Liang, Jianing;Ahn, Jin-Woo
    • The Transactions of the Korean Institute of Power Electronics
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    • v.13 no.3
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    • pp.171-178
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    • 2008
  • Pressure control of hydraulic pump using SRM with pressure predictor and direct torque control method is presented in this paper. Nowadays, high efficiency and high performance motor drive is much interested in hydraulic pump system. But the hydraulic pump system has an inherent defect that its dynamic behavior causes by interaction between the sensor and hydraulic load. It will make low performance of whole system, even unstable and oscillatory. Proposed system integrates pressure predictor and direct instantaneous torque control (DITC). The pressure predictor includes Smith predictor, which is easy to improve unstable or long oscillation in traditional negative feedback control and popular PID control architectures. And DITC method can reduce inherent torque ripple of SRM, and develop smooth torque to load, which can increase stability and improve the torque response of SR drive. So high dynamic performance and stabilization can achieved proposed hydraulic system. At last, the proposed hydraulic system is verified by simulation and experimental results.

Development of Portable Cardiopulmonary Support System (이동형 심폐보조시스템의 개발)

  • Lee, Hyuk-Soo;Min, Byoung-Goo
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SC
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    • v.44 no.1
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    • pp.94-99
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    • 2007
  • Many cases of acute cardiac shock and cardiac arrest in emergency room and ICU have been increasing. In this case, ECMO with centrifugal pump has been used generally. However, due to the heavy weight and big size, the system is not adequate for emergency cases. And other defects of this system are that membrane oxygenator's pressure is high and blood are exposed to the air. There was some tries of ECMO using pulsatile pump, but it was found that the weak point of these system is high peak pressure and hemolysis. The mechanism of twin pulsatile pump is that Membrane oxygenator Outlet Pump(MOP) make negative pressure when Membrane oxygenator Inlet Pump(MIP) provides high positive pressure, and the negative pressure will decrease positive pressure of Membrane Oxygenator. Our group analyzed this advantage through In-Vitro and 12 Cases In-Vivo test.

Intelligent Self-Moving Vegetable Cultivator Using Solar Energy (태양광 에너지를 활용한 지능형 자율이동 채소재배기)

  • Lee, Jun-Hui;Kim, Si-Yoon;Kim, Ju-Han;Kim, Hyo-Jin;Lee, Jina;Kim, In-Soo
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2022.11a
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    • pp.827-829
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    • 2022
  • 본 논문은 코로나19로 인해 발생하는 우울증을 개선하고 태양광 패널을 이용하여 친환경적으로 재배할 수 있는 "태양광 에너지를 활용한 지능형 자율이동 채소재배기"를 제안한다. 본 논문이 제안하는 주요한 특징은 다음과 같다. 첫째, 태양광 패널을 이용하여 재배기에 전원을 공급한다. 둘째, 카메라와 OpenCV를 이용하여 채소의 상태를 매일 확인 후 LED 색상을 조절하여 최적의 채소 성장 환경을 만든다. 셋째, 수위 센서와 모터 펌프를 이용하여 자동으로 물이 공급될 수 있도록 하고, 수온과 수질을 주기적으로 체크하는 등 Human task를 감소시킨다. 넷째, DC모터를 이용하여 실내·외로 자율이동을 하고, 액추에이터를 이용하여 채소가 햇빛을 최대한 많이 받아 성장할 수 있도록 한다. 제안하는 시스템은 가정에서 채소를 재배하는 방식에 IoT기술을 활용하여 사용자의 편의성을 증가시키고, 녹색식물을 통해 '코로나 블루'를 해소하고자 하는 사람에게 필요한 "태양광 에너지를 활용한 지능형 자율이동 채소재배기"의 개발을 목표로 한다.

Boost converters including PV system with Differential power processor applying Isolated type buck converter (절연형 벅 컨버터가 적용된 승압형 태양광 피드백 차동전력조절기)

  • Lee, Chun-Gu;Park, Joung-Hu
    • Proceedings of the KIPE Conference
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    • 2016.07a
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    • pp.347-348
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    • 2016
  • 본 논문에서는 차동전력조절기회로가 적용된 승압형 태양광 차지펌프 플라이백 전하 균등화 회로를 사용하여 연속 모드로 동작하는 전하 균등화 방법을 제안한다. 이 컨버터는 차동전력조절기회로의 입력부에 커패시터가 병렬로 연결되어 있어서 포워드 컨버터가 아닌 벅 컨버터로 동작을 한다. 이로 인하여 기존 포워드 컨버터가 갖고 있는 동작 한계점을 극복할 수 있다. 즉 차동전력조절기회로의 듀티 비가 부스트 회로의 듀티 비 보다 작을 필요가 없다. 또한 실제 현장에 적용할 때 문제가 되는 긴 라인으로 인한 기생 인덕턴스 발생 시 차동전력조절기회로의 스위치에 큰 스파이크가 발생 할 수 있는데 이를 커패시터가 흡수하는 장정을 갖는다.

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