• 제목/요약/키워드: 전자광학법

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고진공 반응이온 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 $TiO_2$ 박막의 광학적, 구조적 특성 (Optical and structural properties of $TiO_2$ thin films by high-vacuum reactive magnetron sputtering)

  • 김성화;이인선;황보창권
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2000년도 하계학술발표회
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    • pp.170-171
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    • 2000
  • 최근 광 응용기술, 레이저 및 광통신 기술이 빠르게 발전함에 따라 고부가 가치 광학박막의 규격이 높아지고 있으며, 덩어리와 같은 광학적, 기계적 특성을 갖는 광학박막이 요구되고 있다. 일반적으로 이러한 성능을 만족하는 광학박막을 제작하기 위해 전자빔으로 증발되어 기판에 증착되는 박막에 직접 산소 이온을 이온총을 이용하여 기판에 쏘아줌으로써 양질의 산화박막을 제작하는 이온빔 보조 증착법이 가장 많이 적용되고 있다. 여기서 이온빔은 증착되는 박막의 기둥구조를 파괴시켜 원래의 덩어리(bulk)에 가까운 성질을 갖는 조밀한 박막을 제작하는데 이용된다. 좀더 조밀한 박막을 만들어 덩어리에 가까운 성질을 갖도록 하기 위해서는 박막을 형성하는 이온들의 이온에너지를 높여주어야 하는데, 그 방법으로 이온빔 스퍼터링이나 RF 또는 DC 마그네트론 스퍼터링 방법 등이 있으며, 최근에는 medium frequency에 의한 twin-마그네트론 스퍼터링 기술을 이용하기도 한다$^{(1 4)}$ . (중략)

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벡터 적분법과 준 광학모드에 의한 밀리미터파용 컬러게이트 혼 안테나의 복사패턴 해석 (Analysis of the Radiation Patterns for a Millimeter Wave Corrugated Horn Antenna by Vector Integral Method and Quasi-Optics)

  • Son-Tae Ho
    • 한국전자파학회지:전자파기술
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    • 제5권2호
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    • pp.20-28
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    • 1994
  • 컬러게이트 혼 안테나의 이론적 복사패턴을 벡터적분법과 준 광학모드 이론으로써 각각 구하였다. 혼 개구면에 존재하는 하이브리드 모드의 전자계를 등가 전류원으로 대체하고 포텐셜 이론을 적용하는 벡터 적분법으로 안테나의 복사 전계식을 계산 하였다. 또한, 준 광학모드인 Gaussian-Laguerre 모드를 확장하여 복사 관력식을 유도하였다. 85-115GHz에서 동작하는 컬러게이트 혼 안테나에 대한 복사패턴을 벡터적분법 및 준 광학방법으로 계산하고 비교한 결과 중심 주파수인 100GHz에서는 거의 일치하였으나 85 및 115GHz에서는 다소의 오차가 발생하였다.

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Hot Wall Epitaxy의 성장조건이 ZnSe/GaAs 이종접합구조의 구조적, 광학적 특성에 미치는 영향 (Role of growth Conditions of Hot Wall)

  • 이종원
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제5권1호
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    • pp.45-54
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    • 1998
  • 본 연구에서는 열벽성장법에 의해 ZnSe 에피막을 GaAs 기판에 성장하고 double crystal x-ray diffractometer와 Photoluminescence (PL) 등의 장치를 이용하여 구조족, 광학 적 특성을 연구하였다. x-선 반치폭과 PL피크강도로부터 최적의 기판온도가 34$0^{\circ}C$임을 알 수 있었다. 또한 기판온도, 열벽부온도, 원료부온도, 성장시간등의 성장조건이 표면거칠기 성 장률, x-선 반치폭, PL 피크강도 등에 미치는 영향에 대하여 살펴보았다. 최적 성장조건하 에성장된 ZnSe 에피막의 x-선 반치폭은 149sec로 나타났는데 이는 HWE 성장법으로 성장 된 ZnSe 에피막에 대하여 보고된 수치 중 가장낮은 값이다. PL 스펙트럼에서 I2 피크와 DAP 피크의 강도는 높고, SA 피크의 강도는 낮다는 사실로부터 본 연구에서 성장된 ZnSe 에피막의 결정질이 매우 우수함을 확인하였다.

테라헤르츠 전자기 펄스의 반사특성을 이용한 굴절률 측정 (Index of refraction measurement using the reflection characteristics of terahertz electromagnetic pulses)

  • 전태인
    • 한국광학회지
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    • 제12권1호
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    • pp.1-4
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    • 2001
  • 테라헤르츠 레이다를 이용하여 알루미늄 거울 및 도체와 부도체로 이루어진 각각의 물질에 대한 테라헤르츠 전자기 펄스의 반사특성을 측정하였다. 알루미늄 거울로부터 반사된 테라헤르츠 펄스의 크기변화를 측정하기 위하여 최고 9회까지 테라파를 반사시켜 펄스의 크기에 대한 변화가 없음을 확인하였다. 또한 알루미늄 거울의 반사각도에 대한 테라파의 영향을 측정하였다 알루미늄 거울에 대한 반사파를 reference로 하여 알루미늄 board, 순수실리콘, quartz, 그리고 LDPE 에 대한 테라파의 반사를 측정하여 각각의 물질에 대한 테라헤르츠 영역의 반사계수와 굴절률을 측정하였다. 이러한 측정법은 sample의 두께에 무관한 비접촉 테라헤르츠 분석법의 적용이라할 수 있다.

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새로운 광중합법을 이용한 광배향 TN-LCD의 전기광학 특성 (Electro-optical characteristics of photo-aligned TN-LCD using a new photo-dimerization method)

  • 황정연;서대식
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제13권2호
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    • pp.157-162
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    • 2000
  • The electro-optical characteristics of TN(twisted nematic)-LCD(liquid crystal display) with photo-dimerized on a PMCh(poly(4'methacryoyloxylchalcone)) surface using a new photo-dimerization method was studied. The excellent voltage-transmittance(V-T) curve of TN-LCD with photo-dimerized on a PNCh surface for 1 min. using a new photo-dimerization method was observed. Also, the voltage-hold-ing-ratio(VHR) of TN-LCD with photo-dimerized on a PMCh surface using a new photo-dimerization method is higher than that of conventional photo-dimerization method. Consequently, we suggest that the new photo-dimerization method. Consequently, we suggest that the new photo-dimerization method for LC aligning is the most promising rubbing-free techniques.

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RF-Sputtering 법을 이용한 ZnO:Al 박막의 후 열처리에 따른 특성 변화 (Effect of Post annealing of ZnO:Al films produced by RF-Sputtering)

  • 이동진;이재형;송준태
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.13-14
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    • 2007
  • 투명전극으로 사용되는 ITO는 우수한 전기적, 광학적 특성으로 인하여 널리 사용되고 있다. 하지만, ITO는 저온공정의 어려움과 ITO의 원료물질인 In의 수급이 불안정하여 원자재의 가격이 높고, 수소 플라즈마에 노출시 열화로 인한 광학적 특성의 변화가 문제점으로 지적되고 있다. 본 논문에서는 ITO 투명전극을 대체하기 위한 실험으로 Al 이 도핑된 ZnO(ZnO:Al) 박막을 상온에서 유리기판 위에 RF 마그네트론 스퍼터 법을 이용하여 제조하였다. 증착된 박막은 ITO물질을 대체하기 위한 투명전극으로의 응용을 위해 후 열처리를 실시하였다. 설정된 열처리 온도는 각각 400도와 300도로 설정하였고 열처리 시간에 따른 변화를 관찰하였다. 열처리된 시편은 각각 XRD, SEM, Hall, U/V 측정을 하여 변화를 관찰하였다.

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액정 디스플레이 소자의 분자배향기술 (The Molecular Alignment Technology on Liquid Crystal Display)

  • 서대식
    • E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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    • 제10권1호
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    • pp.68-75
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    • 1997
  • 본 해설에서는 평판 디스플레이 소자중의 하나인 LCD의 액정배향기술에 관하여 해설하였다. 액정배향은 LCD의 전기광학특성을 좌우하는 매우 중요한 기술이다. LCD 소자에 있어서 기판의 표면 위에 액정분자를 배열시키는 기술은 현재 러빙법이 주로 사용되고 있지만 러빙을 하지 않는 넌러빙법을 이용한 액정배향기술이 강하게 요구되고 있으며 향후 LCD에 있어서 보다 중요한 역할을 할 것으로 기대되고 있으며 고성능 LCD의 실현에는 필수 불가결한 기술로 생각된다.

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