• ETRI Journal
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• v.13 no.2
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• pp.42-53
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• 1991

고유전율 적충세라믹 커패시터 소재인 $BaTiO_3$ 자기물은 일반적으로 큐리오도인 약 $120^{\circ}C$부근에서 유전율이 최고 약 10,000정도로 증가한 다음 급격히 감소하므로 적절한 이동체를 첨가하여 큐리온도를 상온으로 이동시켜 상온에서 최대 유전율을 이용하여야 한다. 그리고$BaTiO_3$ 자기물은 $1300^{\circ}C$이상의 고온소결시 고가인 Pd전극이 요구된다. 그러나 자기물의 소결온도를 저온화화면 저가의 Ag합금으로 전극재료를 대체할 수 있다. 본 연구에서는 이동제로서 $CaSnO_3$ 를 이용하여 큐리온도를 상온으로 이동시켰다. 또한 소결온도를 저온화하기 위하여 $BaTiO_3$ 세라믹에 여러가지 산화물을 첨가하여 소결현상을 살펴보았다. 실험결과 첨가제를 넣지 않은 경우 소결온도는 $1350^{\circ}C$의 고온이 필요한 반면, $CuO,B_2O_3$는 $1050^{\circ}C$의 낮은 온도에서도 치밀화와 입도성장이 잘 일어났다. 특히 $B_2$$O_3$ 를 첨가한 경우는 $1250^{\circ}C$이상에서 소결할 때 절연저항이 낮아 유전손실이 큰 문제점을 보였지만, 최대 유전율이 11,000 정도로 높고, 양호한 유전율의 온도변화 특성을 나타내어 우수한 고유전율 소재의 첨가제로 응용될 가능성을 보였다

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2000.02a
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• pp.320-321
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• 2000

전기장 발광현상(Electroluminescence, 이하 EL)은 1936년 Destriau$^{[1]}$ 가 ZnS:Cu 분말에서 처음 전기장 발광현상을 발견한 이래 TFEL(Thin Film EL)소자의 구동전압을 감소시키는 문제는 ACTFEL(Alternating Current Thin Film EL)소자의 개발이후 계속적인 관심의 대상이 되어왔다. TFEL 소자는 전기적으로 용량소자이므로 전기장 인가시 각 층의 정전용량의 역수에 비례하는 전압이 분배되므로 동일한 조건의 형광막 사용시 소자의 구동전압을 낮추기 위해서는 절연박막의 두께를 줄이는 방법과 유전율이 높은 물질을 사용하는 방법이 있으나, 전자의 경우에는 박막의 결함이 생기기 쉬워 한계가 있기 때문에 고유전율 특성을 갖는 새로운 물질을 개발하는 것이 바람직하다. Ta$_2$O$_{5}$ 박막의 경우 작은 누설전류 특성과 고유전율 특성으로 인해 고집적을 요하는 반도체 분야에서 많은 연구가 진행되어 왔다. 또한 EL소자 응용시 효율면에서 우수한 특성이 기대되며, 특히 수분에 강한 특성을 가지고 있어 EL소자의 안정성이 예견되는 바이다. 본 연구에서는 Ta$_2$O$_{5}$ 박막의 산소 결핍에 따른 전기적 특성에 대해 연구하였고 Ta$_2$O$_{5}$ 박막을 이용한 저전압에서 구동가능한 전기장 발광소자를 제작하여 전기광학적 특성에 대해 연구하였다. (중략

• Journal of Chest Surgery
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• v.34 no.1
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• pp.72-79
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• 2001

배경: 일반적으로 다제내성 폐결핵의 경우 화학요법만으로는 치료성적이 만족스럽지 못하였다. 이에 수술적 치료와 항결핵 화학요법의 병합사용이 높은 균음전율과 장기 생존율을 보여주고 있으므로 이러한 치료전략이 다제내성 폐결핵환자의 일반적인 치료방법으로 정립되리라는 전망을 갖게 하고 있다. 대상 및 방법: 1995년 1월부터 1999년 12월까지 국립마산결핵병원에서 폐결핵에 대한 수술을 시행받은 130례 중 다제내성 폐결핵으로 폐절제수술을 받은 49례를 대상으로 의무기록 및 검사기록 등을 근거로 후향적 조사를 실시하였다. 결과: 대상환자들의 평균연령은 35세였고, 내성약제의 수는 평균 4.5였다. 43례(87.8%)의 환자에서 공동성 병소를 보였으며 31례(63.3%)의 환자에서 술전 객담내 균양성 소견을 보였다. 수술술식은 12례에서 전폐적출술을, 28례에서 폐엽절제술을, 7례에서는 폐엽절제술과 구역절제술 혹은 설상절제술 등을, 그리고 설상절제술과 공동성형술을 각각 1례에서 시행하였다. 술후 지속적인 내과적 약물치료를 병합하여 장기적인 균음전율은 93.5%였고 술후 사망환자는 없었다. 술후 합병증으로는 1주일 이상 지속되는 공기유출 6례와 술후 출혈, 창상분열이 각각 1례씩 있었다. 결론: 다제내성 폐결핵환자에서 폐절제 수술에 대해서는 적절한 적응증, 수술후 처방, 그리고 술후 치료기간 등에 대한 이견이 있지만 적극적으로 고려되어야 하며 술후 내과적 치료와 병행함으로 좋은 치료효과를 얻을 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.105-105
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• 1999

차세대 기억소자에서는 집접도의 증가, 고속화, 그리고 미세화에 따라 배선간으 최소선폭이 작아지고, 새로운 다층 배선기술이 요구되는 가운데 층간절연막의 재료와 형성기술은 소자의 특성을 향상시켜주는 중요한 요소로서 열적안정성, 저유전율, 평탄화특성 등에 핵심을 두고 연구되고 있다. 본 연구에서는 5인치 p-Si(100) 위에 FTES와 O2를 precursor로 하고 carrier gas를 Ar gas하여 ICP CVD 방법으로 저유전율의 Fluorocarbonated-SiO2 박막을 형성하였다. 0.1-1kW, 13.56MHz인 rf power를 사용하였으며, 증착은 RT에서 5~10분으로 하였다. 형성된 박막은 FTIR(fourier transform infrared), XPS(x-ray photoelectron spectroscopy), 그리고 ellipsopsometer 등을 이용하여 결합모드와 F농도, 균일도 등을 측정하고, I-V와 C-V 측정장치, 그리고 SERM(scanning electrion microscopy) 등을 이용하여 유전상수, 누설전류, dielectric breakdown voltage, 그리고 박막의 stepcoverage를 측정하였다. 제작된 박막의 신뢰성은 열처리에 따른 전기적 특성으로부터 조사하였다. 형성된 fluorocarbonated 박막 결합모드는 Si-F, Si-O, O-C, C-C와 C-F였고 O2:FTES:Ar 유량을 1sccm:10sccm:6sccm으로 하여 증착한 시료에서 유전율은 2.8이었으며, 누설전류밀도는 8$\times$10-9A/cm2, Breakdown voltage는 10MV/cm 이상, 그리고 stepcoverage는 91%로 측정되었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.223-223
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• 1999

PZT(PbZr1-xTixO3) 박막은 고유전율과 같은 remanent polarization을 가져서 고집적 소자의 커패시터 유전율층 또는 비휘발성 메모리 소자의 제조에 이용되고 있으나, fatigue 와 aging 문제로 인하여 새로운 물질의 개발이 필요한데, 그 대표적으로 연구되고 있는 것이 PMN-PT(Pb(Mg1/3Nb2/3)O-PbTiO3) 이다. 본 실험에서는 sol-gel 법에 의하여 제조된 PMN-PT막을 ICP(Inductively coupled plasma)에 의하여 식각하였고 mask층으로는 PR을 사용하였다. 식각 가스로는 Ar, Cl, BCl를 단독 또는 혼합하여 사용하였으며, 식각 특성을 보기 위하여 RF Power, Substrate bias, Operation pressure, Substrate temperature를 변화시켰다. 식각속도는 stylus profiler를 이용하여 측정하였고, 단면 profile은 scanning electron microscopy (SEM)를 이용하여 관찰하였다. 식각 메커니즘을 규명하고자 식각된 박막의 표면을 X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)로 관찰하였고, optical emission spectroscopy (OES)로 플라즈마 특성을 규명하고자 하였다. 식각속도는 Ar 또는 Cl2 플라즈마에 BCl3 가스를 혼합하였을 경우 증가되었고, BCl3 가스를 단독으로 사용하여도 높은 식각속도를 나타내었으며, BCl3의 첨가량이 늘어날수록 PR의 식각속도는 감소하여 높은 선택비를 보였다. 90% BCl3/10%Cl2 플라즈마에서 2800$\AA$/min의 식각속도 그리고 1.37:1의 PR 선택비를 얻을 수 있었다. Power나 기판 bias 증가에 따라 식각속도는 증가하였으나 기판 온도변화에는 민감하지 않았다. BCl3 rich에서의 식각속도 증가와 선택비 증가는 B2O3의 형성에 의한 것으로 생각된다.

• Korean Journal of Adult Nursing
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• v.20 no.1
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• pp.135-148
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• 2008

Purpose: This study compared the effects of forced air warming and radiant heating on body temperature and shivering of patients with postoperative hypothermia. Methods: The quasi-experimental study was conducted with two experimental groups who had surgery under general anesthesia; 20 patients of group 1 experimented with the Bair Hugger as a forced air warming and 20 patients of group 2 experimented with the Radiant heater. The study was performed from July 3 to August 31, 2006 in a recovery room of an university hospital in a city. The effects of the experiment were measured by postoperative body temperature and chilling score at arrival and after every 10 minutes. The data were analyzed by t-test or ${\chi}^2$-test, repeated measures ANCOVA using SPSS/WIN 12.0. Results: The mean body temperature showed differences between the Bair Hugger group and Radiant Heater group at 40 minutes(F=-2.579, p=.034), 50minutes(F=-2.752, p=.027), and 60 minutes(F=-2.470, p=.047) after arrival to the recovery room. So, hypothesis 1 was partially accepted. The mean score of shivering showed differences between the Bair Hugger group and the Radiant Heater group, but it had no significant meaning. Hypothesis 2 was not accepted. Conclusion: We need more study to explore the effects and side effects of heating modalities to select a more effective heat treatment. The efficiency of heat modalities with regards to cost benefit, time consumption, and patients' discomfort such as burns should be considered.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.9 no.3
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• pp.57-67
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• 2002

Increased signal speed can be obtained in three ways: changing the layout and/or the ratio of the width to thickness of the metal lines, decreasing the specific resistance of the interconnect metal, and decreasing the dielectric constant of the insulating material (intermetal dielectric). Further advancement cannot be expected from changing layout or decreasing specific resistance. The only alternative is to use an insulating material with a lower dielectric constant than other ones used presently. A large variety of polymers has been proposed for use as materials with low dielectric constants for applications in microelectronics. In this review, the properties of selected polymers as well as various fabrication methods for polymer thin films are discussed. Based on the properties described so far, and the requirements for applications as intermetal dielectric material, the possibilities for further developments also are discussed.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2008.06a
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• pp.304-304
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• 2008

최근 이동통신의 사업의 발달로 인하여 제품의 고속신호 전달에 대한 관심이 부각되고 있다. 이로 인해 고집적 LTCC 모듈로 제작이 가능하고 고속신호 전달이 용이한 저유전율과 낮은 loss특성을 요구하는 소재 개발의 지속적인 연구를 필요로 한다. 지금까지의 ceramic/glass composite에서 주로 사용된 ceramic filler는 $Al_2O_3$로 낮은 유전율을 구현하는데 한계가 있었다. Cordierite는 낮은 유전율(${\varepsilon}r$ < 4)을 나타내는 filler로서 저유전율 기판소재로 사용될 가능성이 높지만 아직까지 보고된 결과들이 미흡한 실정이다. 선행 연구에서 cordierite filler와 $SiO_2-B_2O_3-Al_2O_3$-RO (R Zn, Sr, Ba, Ca)계의 glass를 혼합하여 LTCC 용 기판소재로서의 가능성을 확인한 결과 5.0~5.5 의 낮은 유전율과 1,000~1,500의 Q를 나타내는 것을 확인 하였다. 하지만 sheet로 제작 시 $B_2O_3$ 계로 인해 볼밀 공정에서 슬러리를 응집시켜 점도를 증가(gelation)시키는 현상이 발생하였다. 이를 개선하기 위한 glass 조성의 $B_2O_3$ 함량을 5%줄여 만든 glass를 이용해 미세구조, 유전율과 Q 그리고 강도를 측정하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2008.06a
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• pp.275-276
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• 2008

통신기기가 고주파수화 함에 따라서 저유전 저손실 재료의 필요성이 증대되고 있으며, 세라믹/폴리머 복합재료를 고주파 회로 기판 소재로 이용하려는 관심이 증폭되고 있다. 본 연구에서는 저손실, 저유전율 특성을 구현하기 위해 $SiO_2$를 세라믹 필러로 복합물을 제작하였다. 평균 입자 크기가 16nm, $2.3{\mu}m$의 fumed 실리카와 평균 입자 크기 $1{\mu}m$, $4{\mu}m$의 fused 실리카를 사용하였다. 이 4종류 실리카를 사용하여 slurry를 제작하고 이를 활용하여 tape을 제작하였다. 제작된 복합체 tape을 적층하여 기판을 제작해 기판의 유전특성을 측정하였다. fumed 실리카의 경우 $SiO_2$ 10vol%이상에서는 균일한 tape성형이 어려워졌으며, 유전 손실이 fused 실리카와 비교하였을 때 큰 폭으로 증가하였다. fumed silica, fused silica 두 종류 모두 입도가 증가하면 유전손실이 증가하였다.

• Journal of Korean Academy of Fundamentals of Nursing
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• v.22 no.3
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• pp.287-296
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• 2015

Purpose: The purpose of this study was to examine the effects of forced air warming on intraoperative and postoperative body temperature, postoperative shivering and pain in patients undergoing laparoscopic cholecystectomy. Methods: A quasi-experimental design with nonequivalent control group was utilized. Fifty eight patients scheduled for laparoscopic cholecystectomy were recruited and assigned to the experimental group (n=29) or control group (n=29). For the experimental group, forced air warming was applied from right after induction and up to one hour after surgery. Body temperature, shivering score and pain score were measured in both groups at 15 minute intervals. Data were collected from September, 2013 to April, 2014. Data were analyzed using t-test, Bonferroni test and repeated measures ANOVA. Results: The experimental group showed higher body temperature than the control group during surgery. After surgery the experimental group showed higher body temperature, lower shivering and less pain compared to the control group. Conclusion: Results show that forced air warming is effective in enhancing body temperature and reducing shivering and pain. Therefore, forced air warming is recommended as an operative nursing intervention.