• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2005.07c
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• pp.2069-2071
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• 2005

본 연구에서는 플라즈마 식각 공정 시 식자률, 선택비, wafer 손상등과 중요한 관련이 있는 이온 에너지 분포(IED)를 측정하기 위해서 챔버 내에 직접적으로 분석기를 설치하지 않고 챔버 외부에서 비 침투적(noninvasive)인 방법을 사용하여 측정하였다. 이 방범은 신호선 중 한 곳에 측정 점을 잡기 위한 연결 장치만 필요하며 그곳에서의 전안 신호와 전류 신호를 오실로스코프에서 측정한 후 미리 얻어진 챔버 구조 모델링 계수 등을 통해 실제 바이어스 전극에 걸리는 전압 및 전극에서 플라즈마로 흐르는 전류를 유추한다. 전압 및 전류측정값과 power balance와 particle balance를 적용하여 얻은 플라즈마 특성 상태 변수들을 사용하여 oscillating step sheath model을 기반으로 한 분석 프로그램을 통해 실시간 이온에너지 분포 결과를 얻었다. 실제 공정 시 바이어스 주파수 변화, 바이어스 파워 변화, 소스 파워변화 조건 등에 따른 이온 에너지 분포 측정 및 분석을 통해 비 침투적측정방법 적용의 가능성과 장점을 확인하였다.

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.21 no.8
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• pp.96-101
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• 2007

Gas Discharge Tubes (GDTs) are widely used as surge protectors for communication applications due to their small internal capacitance. In these days, however, they are mostly used in combined configurations, because the sparkover voltage required to initiate the discharge process in the GDTs and the time taken for arc formation process can be large enough to damage to sensitive circuits. For GDTs with a considerably high initial residual voltage, we should limit the peak voltage using a TVS or filter. We made a hybrid SPD circuits of common-mode type and differential-mode type with the filter using common-mode choke. Also, we applied lightning impulse voltage and ring wave voltage which frequency bandwidth are different each other and verified the characteristics of hybrid SPD circuits according to waveshapes. We describe how the applied SPDs operate in protection process steps with the actual data obtained from the residual voltage measurement at each step. The experiment results show that the surge voltage reduction with the choke coil is more effective in differential-mode circuit than in common-mode circuit.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2012.05a
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• pp.713-715
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• 2012

본 논문은 24GHz 차량 추돌 예방 레이더 시스템-온-칩을 위한 입력 임피던스, 전압이득 및 잡음지수를 자동으로 측정할 수 있는 새로운 형태의 고주파 자체 내부검사(BIST, Built-In Self-Test) 회로를 제안한다. 이러한 BIST 회로는 TSMC $0.13{\mu}m$ 혼성신호/고주파 CMOS 공정 ($f_T/f_{MAX}$=140/120GHz)으로 설계되어 있다. 알고리즘은 LabVIEW로 구현되어 있다. BIST 알고리즘은 입력 임피던스 정합과 출력 직류 전압 측정원리를 이용한다. 본 논문에서 제안하는 방법은 자동으로 쉽게 고주파 회로의 성능변수를 측정할 수 있기 때문에 시스템-온-칩의 저가 성능 검사의 대안이 될 것으로 기대한다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2009.07a
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• pp.1761_1762
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• 2009

본 논문은 자동차 연료 펌프의 수명을 결정짓는 연료펌프용 DC모터의 브러시-정류자간의 전압, 전류 특성을 분석 하는 것이다. 기존의 DC모터 실험으로는 정류자와 브러시 표면상태 확인이 어렵고 코일 전류 파형 및 브러시-정류자간 전압 강압 파형이 측정 불가했다. 그리고 모터의 L값을 변화 시킬 수 없기 때문에 다양한 조건의 실험이 불가 하였다. 이러한 단점을 보완하여 브러시-정류자간 전압 파형을 측정을 하기 위해 시뮬레이터를 개발하는 것이 본 논문의 주제이다.

• Proceedings of the Korean Radioactive Waste Society Conference
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• 2003.11a
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• pp.426-430
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• 2003

Fissionable uranium will be separated from long-lived nuclear materials in pyroprocess for transmutation. This study was measured decomposition voltage and deposition rate on cathode of uranium in $LiF-BeF_2$ molten salt by electrowinning. The result of experimental is that decomposition voltage of $UF_4$ and $LiF-BeF_2$ molten salt is -1.4 and -1.5 volt at $500^{\circ}C$ Deposition rate of uranium on cathode increases with increase of uranium concentration in molten salt.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2003.07a
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• pp.372-374
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• 2003

전력 계통에서의 안정적인 전기 공급과 전기 품질 수준의 유지 관리를 위해 전압 측정 Database를 이용한 분석이 필요하게 된다. 본 논문에서는 실 배전 계통에서 측정될 수 있는 RMS 간과 사고 시 전압을 저가형 전력 품질 모니터링 시스템을 통해 서버 컴퓨터로 데이터를 전송하여 Database에 저장 처리 할 수 있는 프로그램을 Delphi 언어로 개발하였다. 이는 구축된 Database를 이용 전력 품질을 분석하고 진단하는데 사용된다.

• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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• v.4 no.4
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• pp.2-12
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• 1967

A pair of insulated-gate metal-oxide-semiconductor field-effect transistor has been used to measure the direct current produced from the ionization chamber in the range of to A. An analisis of direct-current differential amplifier giving the expressions of the common-mode rejection ratio and the rralization of the constant-current generator to give very large effective source resistance has been presented. Voltage gain is 6.6, drift at the room temperature is 1.5mv per day. The common-mode rejection ratio is obtained maximum 84db. These facts give the feasibility of small direct-current measurements by utilizing this type transistors.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.6 no.3
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• pp.324-332
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• 1996

DLC 박막을 RF 플라즈마 화학증착법(PECVD)을 이용하여 CH4와 CO2기체로부터 합성하였다. 증착압력, CH4와 CO2가스의 조성비, 바이어스 전압(-VB) 등의 증착조건 변화에 따른 증착속도는 증착층의 두께를 알파스텝으로 측정하여 결정하였으며, 박막의 구조 변화에 따른 증착속도는 증착층의 두께를 알파스텝으로 측정하여 결정하였으며, 박막의 구조 변화는 FTIR 분광분석을 이용하여 분석을 행하였다. 이 연구로부터 얻은 실험 결과는 다음과 같다: 1) 증착속도는 증착압력 및 바이어스 전압의 증가에 따라 증가한다. 2)바이어스 전압 300V이상에서, CO2량 증가는 순증착속도를 증가 시킨다. 3) 순수한 CH4가스를 사용할 경우에는 바이어스전압(-VB)이 증가함에 따라 박막내 수소의 함량과 sp3/sp2비는 감소하는 경향을 나타낸다. 4)증착압력이 증가함에 따라 박막내 수소함량은 증가하며, sp3/sp2비는 감소한다. 5)50mTorr의 증착압력에 증착시, CH4-+Co2 혼합가스에서 이산화탄소의 부피분율에 따라서는 박막내 수소함량은 감소하며, sp3/sp2비는 증가한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.350-350
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• 2012

본 연구에서는 Oxide 두께가 각각 4, 6 nm인 Symmetric NMOSFET의 전기적 특성 분석에 관한 연구를 진행하였다. 게이트 전압에 따른 Drain saturation current (IDSAT), Threshold Voltage(VT) 및 드레인 전압에 따른 Off-states 특성 변화를 분석하였다. 소자 측정 결과 oxide 두께가 4 nm인 경우 Vt는 0.3 V, IDSAT은 73 ${\mu}A$ (@VD=0.05)로, oxide 두께가 6 nm인 경우 Vt는 0.65 V, IDSAT은 66 ${\mu}A$ (@VD=0.05)로 각각 측정되었다. 이는 oxide 두께가 얇은 경우 게이트 전압 인가 시 Electric field 증가에 따른 것으로 판단된다. 또한 드레인 전압 인가에 따른 소자 특성 분석 결과 oxide 두께가 4nm인 경우 급격한 Gate leakage 증가를 보였으며, 이에 따라 Off-state에서의 leakage current가 증가함을 확인하였다. 본 연구는 Oxide 두께에 따른 MOSFET 소자의 전기적 특성 분석을 위해 진행되었으며, 상기 결과와 같이 oxide 두께 가변은 Idsat, Vt, leakage current 등의 주요 파라미터에 영향을 주어 NMOSFET 소자의 전기적 특성을 변화시킴을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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• 2009.10a
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• pp.33-36
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• 2009

콘덴서는 유도성 부하의 늦은 역률 보상으로도 사용되며, 비선형 부하에서 발생하는 고조파를 저감하기 위해 리액터에 직렬로 연결하여 사용되기도 한다. 콘덴서는 전압이 증가할 경우 전류도 함께 증가하고, 주파수가 증가할 경우 콘덴서에 흐르는 전류가 증가하기 때문에 전류의 증가는 바로 열의 증가로 콘덴서 절연에 스트레스로 작용하여 고장의 원인을 제공할 수 있다. 본 연구에서는 콘덴서에 인가되는 전압의 크기와 주파수를 변화시킬 경우 콘덴서에서 발생하는 열을 열화상 카메라로 측정하여 외부 및 내부에서의 온도분포를 분석하였다. 측정결과 전압과 주파수가 증가할 경우 콘덴서에서 열이 매우 높게 분포함을 확인할 수 있었다.