• 제목/요약/키워드: 전류-전압법

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축전기의 과도 현상을 이용한 부유형 단일탐침 플라즈마 진단법 연구

  • 최익진;정진욱
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.243-243
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    • 2011
  • 현재 식각이나 증착, 이온주입 등에 반도체 공정에 플라즈마를 이용하고 있다. 이런 반도체 공정용 플라즈마 용기의 경우 플라즈마에 의한 용기의 스퍼터 등에 의해 금속 입자가 생성되어 공정중인 반도체 웨이퍼에 오염을 줄 수 있기 때문에 대부분의 공정용 용기는 아노다이징 알루미늄이나 세라믹 등을 사용한 부도체 용기를 사용하게 된다. 단일탐침법은 플라즈마내 금속 도체를 삽입한 후 바이어스 전압을 인가하여 전류-전압 특성 곡선을 해석하여 측정하는 방법이다. 하지만 플라즈마와 측정 시스템의 공통된 기준전압이 있어야만 측정이 가능하다는 단점을 가지고 있다. 따라서 일반적으로 많이 사용하는 부도체 용기내의 플라즈마는 기존의 단일탐침법으로 측정이 어렵다. 또한 높은 플라즈마 전위를 가지고 있는 플라즈마의 경우 높은 전압에서 전류-전압특성의 측정시스템을 구축하기 매우 어려운 단점을 가지고 있다. 따라서 이런 경우에도 측정이 가능하도록 축전기의 과도현상을 이용하여 탐침이 전기적으로 부유된 단일탐침법을 연구하였다. 이 방법의 타당성 확인을 위하여 금속용기에서 플라즈마를 발생시켜 기존의 단일탐침법과 부유형 단일탐침법을 비교하였다. 기존의 단일탐침법과 비교 결과는 공정조건에 관계없이 상당히 유사하였다. 따라서 이 방법으로 기존 단일탐침법을 사용할 수 없는 높은 플라즈마 전위의 플라즈마나 부도체용기내의 플라즈마의 측정에 사용할 수 있을 것으로 기대된다.

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미리스트산과 스테아르산 혼합 LB막의 안정성에 관한 연구 (A Study on the Stability of Langmuir-Blodgett Films Mixed with Myristic Acid and Stearic Acid)

  • 박근호
    • 한국응용과학기술학회지
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    • 제34권2호
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    • pp.376-381
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    • 2017
  • 지방산 혼합물 단분자층 LB막의 전기화학적 특성을 통하여 그 안정성을 순환전압전류법으로 조사하였다. 지방산혼합물 LB막은 ITO glass에 LB법을 사용하여 제막하였다. 전기화학적 특성은 0.01N $KClO_4$ 용액에서 3 전극 시스템으로 순환전압전류법에 의해 측정하였다. 측정범위는 연속적으로 1650 mV로 산화시키고, 초기 전위인 -1350 mV로 환원시켰다. 주사속도는 각각 50, 100, 150, 200 및 250 mV/s로 설정하였다. 그 결과 지방산혼합물 LB막은 순환전압전류곡선으로부터 산화전류로 인한 비가역 공정으로 나타났다. 지방산혼합물 LB막은 전해질농도가 0.01 N $NaClO_4$ 용액에서 확산계수(D)는 각각 $7.9{\times}10^{-2}cm^2s^{-1}$을 얻었다.

네모파 흡착 벗김 전압전류법에 의한 플루오로퀴놀론 계 항생제의 검출 (Determination of Fluoroquinolone Antibacterial Agents by Square Wave Adsorptive Stripping Voltammetry)

  • 부한길;송연주;박세진;정택동
    • 전기화학회지
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    • 제13권1호
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    • pp.63-69
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    • 2010
  • 플루오로퀴놀론 계 항생제들의 전기화학적 거동을 카본 페이스트 전극 (carbon paste electrode ; CPE)을 사용하여 순환 전압전류법 (cyclic voltammetry)과 네모파 흡착 벗김 전압전류법 (square wave adsorptive stripping voltammetry)으로 연구하였다. Enrofloxacin (ENR), Norfloxacin (NOR), Ciprofloxacin (CIP), Ofloxacin (OFL), Levofloxacin (LEV) 등 5가지 플루오로퀴놀론 계 항생제에 대한 전기화학적 분석을 수행하였다. pH 4.5인 아세트산 완충 용액 (acetate buffer) 에서 플루오로퀴놀론 계 항생제의 산화 전위는 Ag/AgCl 기준 전극에 대하여 각각 ENR : 0.952V, NOR : 1.052 V, CIP : 1.055 V, OFL : 0.983 V, LEV : 0.990 V 의 값을 나타내었으며, 네모파 흡착 벗김 전압전류법에 의한 산화 전류는 $0.2\;{\mu}M$에서 $1\;{\mu}M$ 사이의 농도영역에서 각 항생제의 농도와 선형을 나타내었다.

Cinchonidine으로 변성된 Carbon Paste 전극을 사용한 은이온의 정량 (Determination of Ag(Ⅰ) Ion with a Chemically Modified Carbon Paste Electrode Containing Cinchonidine)

  • 김신희;원미숙;심윤보
    • 대한화학회지
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    • 제38권10호
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    • pp.734-740
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    • 1994
  • Ag(I) 이온의 정량을 위해 cinchonidine으로 변성된 탄소 반죽전극(carbon paste electrode : CPE)을 제작하여 순환 전압-전류법 및 시차펄스 전압-전류법(differential pulse voltammetry:DPV)을 사용하여 정량하였다. Ag(Ⅰ)이온의 검출한계는 순환 전압-전류법으로는 $1.0 {\times}10^{-6}$ M, 시차펄스 전압-전류법에서는 $8.0{\times}10^{-9}$ M (${\pm}$0.6%)이었다. Ag(I)이온의 최적 분석조건은 pH 7, 담그는 시간은 20분, 그리고 탄소 분말에 대한 cinchonidine의 함량은 50% (w/w)였다. 방해 작용이 예상되는 다른 여러 종류의 금속 이온에 대하여 실험한 결과 Hg(II)이온을 제외한 다른 금속 이온 용액에서는 25% Ag(I) 이온 전류 크기가 감소하였다. 또한 Mn(II)이온이 존재할 때 pH 9에서 큰 방해 작용을 나타내었다.

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Indium-Morin 착물에 관한 흡착벗김전압전류법적 연구 (Adsorptive Stripping Voltammetry of Indium-Morin Complex)

  • 손세철;엄태윤;하영경;정기석
    • 대한화학회지
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    • 제35권5호
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    • pp.506-511
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    • 1991
  • In-Morin 착물에 대한 흡착벗김전압전류법적 연구를 HMDE를 사용하여 pH 3.20의 0.1M 아세테이트 완충용액에서 수행하였다. 흡착 현상들을 미분펄스전압전류법으로 관찰하였으며, HMDE의 표면에 흡착된 착물의 환원 전류에 미치는 여러 분석 조건들에 과하여 논의하였다. 또한 여러 다른 금속이온들과 계면활성제의 방해효과에 관해서도 검토하였다. 본 연구에서의 검출한계는 90초의 흡착시간을 적용하였을 때 2.6nM이었으며, 4${\mu}g$/l의 In을 7회 분석하였을 때 상대표준편차는 2.0%이었다.

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Glassy Carbon 전극에서의 벗김 전압-전류법을 이용한 2-Amino-1-cyclopentene-1-dithiocarboxylate 의 분석과 전극 반응 메카니즘의 연구 (Analysis and Mechanistic Investigation of Redox Process of 2-Amino-1-cyclopentene-1-dithiocarboxylate by Adsorptive Stripping Voltammetry on Glassy Carbon Electrode)

  • 심윤보;박덕수;최성락;원미숙
    • 대한화학회지
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    • 제32권1호
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    • pp.37-47
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    • 1988
  • 많은 금속이온들에 대한 킬레이트시약으로 알려진 2-Amino-1-cyclopentene-1-dithiocarboxylate (acdc) 음이온의 전기화학적 거동을 직류 폴라로 그래피, 순환 전압전류법 및 양극 벗김 전압 전류법을 사용하여 수용액 및 아세톤 용액에서 각각 조사하였다. 수용액에서 glassy carbon 전극을 사용하였을 때 +0.25V vs. SCE에서 1전자 산화반응을 거쳐 acdc의 이합체가 생성됨을 확인하였으며 이 이합체는 glassy carbon 전극 표면에 석출되어 흡착이 일어남을 알 수 있었다. 이 흡착된 이합체가 +0.80V에서 2전자 산화반응을 거쳐 S가 한원자 유리된 고리를 형성하는 반응이 일어남을 알았다. 이러한 이합체 생성반응을 이용하여 이 화합물의 흡착성 양극 벗김 전압전류법에 의한 분석법을 조사하였다. 직류폴라로그래피를 사용한 벗김 전압-전류법에 의해 검량선을 얻은 결과 3${\times}10^{-5}{\sim}1.0{\times}10^{-6}$M 사이에서 좋은 직선성을 얻을 수 있었으며 확산 전류를 사용한 분석법에 비해 약 100배 가량 분석감도가 증진됨을 알 수 있었다. 이 때 검출한계는 $2.5{\times}10^{-7}$M 이었으며 $5.0{\times}10^{-6}$M 에서의 상대표준편차는 ${\pm}$4.1 % 이었다.

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네모파 전압전류법에 의한 텔루륨(Ⅳ) 정량

  • 서무열;서무열;엄태윤;최인규
    • 대한화학회지
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    • 제38권7호
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    • pp.496-501
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    • 1994
  • Tellurium(Ⅳ)에 대한 네모파 전압전류법적 연구를 HMDE를 사용하여 염산 용액에서 수행하였다. 염산 용액중에서 Tellurium(Ⅳ)의 환원반응은 산에 의한 촉매반응의 특징을 나타내는 비가역적인 과정으로 진행됨을 알 수 있었다. 본 연구에서는 또한 네모파 전압전류법에 의한 Tellurium(Ⅳ)의 분석 조건 및 방해이온들에 대하여 검토하였다. 이 방법에 의한 Tellurium(Ⅳ)의 검출한계는 $4.2\;ppb (3.3{\tiems}10^{-8}M)$이었으며, 전극표면에서의 4.2 Tellurium(Ⅳ)의 양은 ${\Gamma}=(7.2{\pm}1.4){\times}10^{-11}\;mol\;cm^{-2}$이었다.

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밀폐박스 상태의 가상 라우드스피커 매개변수 규명법 및 개선된 밀폐박스 모델링 (Parameters Estimation for Pseudo Loudspeaker attached to Closed-Box and Enhanced Closed-Box Modeling)

  • 박석태
    • 한국소음진동공학회논문집
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    • 제17권10호
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    • pp.983-992
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    • 2007
  • It was proposed to identify Thiele Small Parameters for loudspeaker attached to closed-box using known dynamic mass of moving parts. Also, enhanced PSPICE circuit model for closed-box loudspeaker system was proposed to more accurately simulate real closed-box loudspeaker system. Frequency dependent parameters were used to model voice coil inductor. Acoustic pressure response curves and electrical impedance curves were simulated and investigated by PSPICE circuit model according to compensation filter's parameters. Finally, proposed method is expected to be utilized for identification of pseudo Thiele Small parameters of microspeaker.

와 전류 측정을 위한 탐심법의 적용 및 실험적 검토 (Application and Experimental Investigation of the Search Needle Method for the Measurement of the Eddy Current)

  • 엄용수;에비하라다이키
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2003년도 춘계학술대회 논문집 전기기기 및 에너지변환시스템부문
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    • pp.3-8
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    • 2003
  • 일반적으로 와 전류를 포함하는 자계의 특성 해명은 실험적으로 검증하는 것이 곤란한 이유로 유한 요소 법 또는 경계 요소 법등의 수치 해석 법에 의존하고 있다. 본 연구에서는 그러한 실험적 검증의 어려움을 극복하기 위해 전압 강하의 원리를 이용한 탐심 법을 이용, 와 전류의 계측을 수행하고 있다.

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Vanadate와 N-Benzyliminodiacetate 리간드의 상호작용에 대한 $^{51}V$ 핵자기공명분광법과 순환전압 - 전류법 연구 ($^{51}V$ NMR and Cyclic Voltammetry Studies on the Interaction of Vanadate and N-Benzyliminodiacetate in Aqueous Solution)

  • 박철진;박삼수;이만호
    • 분석과학
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    • 제12권3호
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    • pp.184-189
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    • 1999
  • 수용액에서 vanadate와 N-benzyliminodiacetate (Bz-IDA) 리간드의 상호작용을 $^{51}V$ 핵자기공명분광법과 순환전압-전류법을 이용하여 조사하였다. $^{51}V$ 핵자기공명분광법 결과 바나듐(V)-Bz-IDA착물생성에 의한 두 개의 특정 피크(-515.5 ppm 및 -500.1 ppm)를 관찰할 수 있었다. 순환전압-전류법을 이용하여 얻어진 결과 바나듐(V)-Bz-IDA착물의 산화-환원파의 전위값은 각각 -0.05 V 및 -0.13 V에서 관찰하였다. 이로써 산화-환원반응은 가역적 일전자반응으로 추정되었다.

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