• Title/Summary/Keyword: 적층 두께

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Si3N4/ZrO2 엔지니어드 터널베리어의 메모리 특성에 관한 연구

  • 유희욱;조원주
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.155-155
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    • 2012
  • 기존의 플로팅 타입의 비휘발성 메모리 소자는 스케일 법칙에 따른 인접 셀 간의 간섭현상과 높은 동작 전압에 의한 누설전류가 증가하는 문제가 발생을 하게 된다. 이를 해결하고자 SONOS (Si/SiO2/Si3N4/SiO2/Si) 구조를 가지는 전하트랩 타입의 비휘발성 메모리 소자가 제안되었다. 하지만 터널링 베리어의 두께에 따라서 쓰기/지우기 특성은 향상이 되지만 전하 보존특성은 열화가 되는 trad-off 특성을 가지며, 또한 쓰기/지우기 반복 특성에 따라 누설전류가 증가하게 되는 현상을 보인다. 이러한 특성을 향상 시키고자 많은 연구가 진행이 되고 있으며, 특히 엔지니어드 터널베리어에 대한 연구가 주목을 받고 있다. 비휘발성 메모리에 대한 엔지니어드 기술은 각 베리어; 터널, 트랩 그리고 블로킹 층에 대해서 단일 층이 아닌 다층의 베리어를 적층을 하여 유전율, 밴드갭 그리고 두께를 고려하여 말 그대로 엔지니어링 하는 것을 뜻한다. 그 결과 보다 효과적으로 기판으로부터 전자와 홀이 트랩 층으로 주입이 되고, 동시에 다층을 적층하므로 물리적인 두께를 두껍게 형성할 수가 있고 그 결과 전하 보전 특성 또한 우수하게 된다. 본 연구는 터널링 베리어에 대한 엔지니어드 기술로써, Si3N4를 기반으로 하고 높은 유전율과 낮은 뉴설전류 특성을 보이는 ZrO2을 두 번째 층으로 하는 엔지니어드 터널베리어 메모리 소자를 제작 하여 메모리 특성을 확인 하였으며, 또한 Si3N4/ZrO2의 터널베리어의 터널링 특성과 전하 트랩특성을 온도에 따라서 특성 분석을 하였다.

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금속이 코팅된 PET필름의 수분침투 특성 평가

  • 황빈;최영준;박기정;김회봉;조영래
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.351-351
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    • 2010
  • OLED(organic light emitting diode)는 액정디스플레이를 대체할 차세대 평판디스플레이로 많은 주목을 받고 있다. 현재 많이 사용되고 있는 OLED의 기판재료는 Glass기판이지만 차세대 Flexible한 display에서의 적용을 위해서는 가볍고 유연한 plastic을 기판 재료로 사용 할 것으로 보인다. 하지만 plastic이 기판재료로 된 OLED의 가장 큰 단점중의 하나가 수분과 산소에 민감하여 열화를 초래한다는 것이다. 이런 수분침투와 열화 과정으로 인해 OLED의 발광효과가 약해져 OLED의 수명과 직접적으로 연결된다. 하여 외부에서 OLED내부로 유입되는 산소, 수분으로 부터 발광재료와 전극의 산화를 방지하며 외부의 충격으로부터 소자를 보호하기 위한 봉지기술은 반드시 필요하다. 따라서 본 연구에서는, flexible한 OLED에 적용되는 금속 코팅한 막의 적층구조 및 기판의 노출온도에 따른 금속 코팅막의 수분침투 특성에 대해 MOCON의 weight gain test (WGT)를 통해 barrier layer에 대해 평가하고 이에 대한 mechanism을 확립하는데 그 목적이 있다. 금속을 코팅한 막은 OLED의 cathode와 anode 재료로 많이 사용되는 Al과 ITO를 sputter장비를 이용해 single layer와 double-layer의 두 가지 구조로 PET기판에 증착하였다. 증착한 Al막의 두께는 각각 50 nm, 100 nm, 200 nm, 400 nm 등 4가지로 하였다. double-layer의 경우에는 총 두께를 절반씩 기판의 양쪽에 증착하였다. 적층구조에 따른 수분침투 특성 평가 결과로 보면 같은 두께일 때 double-layer는 single layer에 비해서 모든 시편에서 수분의 투습율이 낮음으로써 더 좋은 수분침투의 barrier 특성을 나타내었다. 특히 100 nm이상인 경우 투습율은 예상한 값보다 50%이상 낮게 나타났다.

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강화변형률 솔리드 요소를 사용한 사각형태 층간분리를 갖는 복합적층판의 탄성좌굴해석 (Elastic Buckling Analysis of Laminated Composite Plates with Embedded Square Delamination Using an Enhanced Assumed Strain Solid Element)

  • 박대용;장석윤
    • 복합신소재구조학회 논문집
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    • 제1권2호
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    • pp.1-13
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    • 2010
  • 복합적층구조의 층간분리현상은 탄성좌굴하중을 감소시키며 설계값보다 낮은 수준에서 전체구조물의 파괴를 유발한다. 따라서 복합적층구조의 층간분리 현상은 매우 중요한 문제이며 많은 이론과 실험적인 연구가 진행되어왔다. 본 연구에서는 3차원 이론을 사용한 효과적인 유한요소법에 기초하여 임베디드된 사각형 층간분리 현상을 갖는 복합적층판의 탄성좌굴 거동을 분석하였다. 해석을 위해 개발된 3차원 유한요소는 EAS-SOLID8이라고 이름 붙여졌으며 강화된 대체 변형률 방법을 사용하였다. 임베디드된 사각형 층간분리를 갖는 복합적층판의 탄성좌굴거동 분석을 위해 경계조건, 폭-두께비 변화에 대하여 매개변수 해석을 수행하였다. 본 연구의 그래프와 좌굴모드는 임베디드된 사각형 층간분리를 갖는 복합적층판의 설계에 매우 유용한 자료가 될 것으로 사료된다.

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다목적 소형 승합차 복합재 판 스프링의 적층 최적화 기법 (Optimal Methodology of a Composite Leaf Spring with a Multipurpose Small Commercial Vans)

  • 안상호
    • 한국전산구조공학회논문집
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    • 제31권5호
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    • pp.243-250
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    • 2018
  • 본 논문에서는 복합재 판 스프링의 설계 최적화를 위해 유전자 알고리즘을 사용한 적층 최적화 과정을 제시하였다. 다목적 소형 승합 자동차 판 스프링을 유한요소모델로 구성하여 초기 설계를 검증한 이후, 유전자 알고리즘을 통해 복합재료의 적층수와 적층각도를 최적화하는 과정을 기술하였다. 최적화 과정을 통해 판 스프링의 하중 감소과정, 반복수에 따라 강 구조의 해석 결과와 비교하였다. 더불어 유전자 알고리즘을 통해 최적화된 적층 시퀀스를 구조에 적용하여 구조의 건전성을 검증하기 위해 유한요소 모델로 구성하여 안전여유를 계산하였다. GA를 적용할 때, 복합재료 판 스프링의 적층 두께와 적층 각을 획득하였으며, 이는 적절한 강도와 강성으로 최소 무게를 달성하는데 기여한다. 동일한 설계 매개 변수 및 최적화 조건에서 강철된 판 스프링을 복합재 판 스프링으로 교체하면 65.6%의 중량이 감소한다.

적층각도에 따른 단방향 CFRP에서의 중앙 크랙의 파괴 거동에 관한 연구 (A Study on Fracture Behavior of Center Crack at Unidirectional CFRP due to Stacking Angle)

  • 박재웅;전성식;조재웅
    • Composites Research
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    • 제29권6호
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    • pp.342-346
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    • 2016
  • 경량화 소재 중 CFRP(Carbon Fiber Reinforced Plastic)는 카본 섬유를 이용한 섬유구조물이다. 카본과 플라스틱의 특성을 갖는 복합소재이다. 섬유구조는 섬유방향으로 큰 강도를 갖는다. 이러한 경량 소재인 CFRP로 가장 많이 사용되는 것은 직조된 CFRP이다. 직조된 CFRP는 단방향 CFRP에 비하여 구조가 안정적이기 때문이다. 단직조된 CFRP는 고가이다. 따라서 본 연구는 단방향 CFRP의 섬유 구조 특성을 파악하고자 하였다. 본 연구에서는 적층각도 [0/X/-X/0]로 X를 변수로 갖는다. X의 각도 위상이 반전되어 적층된 단방향 CFRP이다. 이러한 단방향 CFRP를 이용하여 중앙 크랙을 갖는 두께 2 mm 판재 형태의 해석 모델을 이용하였다. 해석에서는 핀으로 연결된 상부와 하부에서 하중이 가해지고 있으며 중앙 크랙부분에서 파단을 연구한다. 해석 모델은 CATIA를 이용한 3D Surface 모델로 설계하였다. CFRP 적층을 위해, ANSYS프로그램에서 ACP를 이용한 적층 방향을 결정하여 2개의 적층들을 갖는 해석 모델을 만들었다. 이후 구조해석을 진행하였다.

적층형 탄소섬유 복합재료의 기계적 성질에 미치는 수분환경의 영향 (Effect of the Moisture Environment on the Mechanical Properties of Carbon Fiber Laminates)

  • 김원근;문창권
    • 한국해양공학회지
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    • 제13권4호통권35호
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    • pp.63-74
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    • 1999
  • This study has been investigated about the influence of moisture environment on the mechanical properties in the carbon fiber cross laminates. And it has been also investigated the effect of unit ply thickness of the carbon fiber cross laminates on the mechanical properties in distilled water of $80^{\circ}C$ for a certain period of time. As a results, it was found that the weight gain of water was increased with the immersion time and the bending strength and fracture toughness were decreased with the weight gain of water. And it was also shown that the bending strength and fracture toughness were decreased with the increasing of the unit ply thickness of carbon fiber cross laminates through the immersion time.

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Probe로 급전되는 적층형 원형 마이크로스트립 2소자 배열 안테나의 임피던스 및 상호 결합 특성 (Impedance and Mutual Coupling Characteristics of a Probe-Fed Stacked Circular Microstrip Two-Element Array Antenna)

  • 이면주;남상욱
    • 한국통신학회논문지
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    • 제18권11호
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    • pp.1767-1773
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    • 1993
  • 본 논문에서는 probe로 급전되는 적층형 마이로스트립 2소자 배열 안테나의 임피던스 및 결합특성을 제시하였다. 안테나 구조의 해석에는 벡터 한켈 변환을 이용한 스팩트럴 영역법을 적용하였다. 또한 이 안테나의 임피던스 및 결합특성, 그리고 두 소자 안테나간의 거리에 따른 결합특성 변화등을 측정하여 그 결과를 제시한다. 끝으로, 해석을 통해 계산된 결과와 측정된 결과를 비교하여 두 결과가 잘 일치함을 보였다.

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열벽적층성장에 의하여 제작된 ZnS/ZnSe 초격자의 X-선 회절분석 (X-ray diffraction analysis of ZnS/ZnSe superlattices prepared by hot wall epitaxy)

  • Yong Dae Choi;A. Ishida;Fujiyasu, H.
    • 한국결정성장학회지
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    • 제6권3호
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    • pp.377-385
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    • 1996
  • ZnS/ZnSe 초격자가 열벽적층성장에 의하여 GaAs(100) 기판 위에 성장되었으며 그 구조가 x-선 회절에 의하여 분석되었다. 변형된 초격자의 x-선 회절은 각 층의 두께, 변형, 상호확산 그리고 초격자 주기의 변동에 대한 유용한 정보를 제공한다. S와 Se의 상호확산의 길이는 $2\;{\AA}$ 이하인 것으로 추정된다.

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SL 광조형 공정에서 고전적층이론을 적용한 곡률 변형 예측 (Prediction of Curl Distortion using Classical Lamination Theory in Stereolithography)

  • 김기대;이재곤
    • 한국정밀공학회지
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    • 제22권11호
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    • pp.210-217
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    • 2005
  • A curl distortion induced by shrinkage during stereolithography polymerization process is analyzed with the classical lamination theory. Test parts of different layer thickness and part thickness are manufactured and their deformations are measured with CMM. Curl distortion is generated by the differential shrinkage of the layers, where the total shrinkage includes the shrinkages due to solidification and the change of temperature. It is shown that the curl distortion increases exponentially with decreasing the total thickness of the part, whose smaller layer thickness induces larger curl distortion. It is verified that only a part of the total shrinkage plays a role in generating the curl distortion.

ZnO와 나노결정 다이아몬드 적층 박막의 SAW 필터 응용

  • 정두영;김우현;강찬형
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2008년도 추계학술대회 초록집
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    • pp.43-44
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    • 2008
  • 실리콘 웨이퍼 위에 마이크로웨이브 플라즈마 화학증착법으로 나노결정질 다이아몬드 박막을 형성하고 그 위에 RF 마그네트론 스퍼터로 ZnO 박막을 적층한 후 SAW(Surface Acoustic Wave) 필터를 제작하여 평가하였다. 기판온도, 작업압력, Ar/$CH_4$ 비율을 변화시켜 최적공정 조건에서 30nm 수준의 결정립을 갖는 $4{\mu}m$ 두께의 다이아몬드 박막을 얻었고, RF 인가전력, 기판온도, Ar/$O_2$ 비율을 조정하여 결정성이 우수하고, 표면 거칠기가 좋으며, 높은 비저항을 갖는 $2.2{\mu}m$ 두께의 ZnO 박막을 얻었다. 박막의 특성은 FESEM과 XRD로 평가하였다. Lift-off 식각공정을 이용하여 일정한 선폭과 간격(Line/Space : 1.5/$1.5{\mu}m$)을 갖는 구리 전극 패턴을 형성하였다. Network Analyzer를 이용하여 측정한 SAW 필터의 중심주파수는 1.67GHz이었다.

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