• 제목/요약/키워드: 잔존물

검색결과 464건 처리시간 0.028초

트랜치 깊이가 STI-CMP 공정 결함에 미치는 영향 (Effects of Trench Depth on the STI-CMP Process Defects)

  • 김기욱;서용진;김상용
    • 마이크로전자및패키징학회지
    • /
    • 제9권4호
    • /
    • pp.17-23
    • /
    • 2002
  • 최근 반도체 소자의 고속화 및 고집적화에 따라 배선 패턴이 미세화 되고 다층의 금속 배선 공정이 요구됨에 따라 단차를 줄이고 표면을 광역 평탄화 시킬 수 있는 STI-CMP 공정이 도입되었다. 그러나, STI-CMP 공정이 다소 복잡해짐에 따라 질화막 잔존물, 찢겨진 산화막 결함들과 같은 여러 가지 공정상의 문제점들이 심각하게 증가하고 있다. 본 논문에서는 이상과 같은 CMP 공정 결함들을 줄이고, STI-CMP 공정의 최적 조건을 확보하기 위해 트렌치 깊이와 STI-fill 산화막 두께가 리버스 모트 식각 공정 후, 트랜치 위의 예리한 산화막의 취약함과 STI-CMP공정 후의 질화막 잔존물 등과 같은 결함들에 미치는 영향에 대해 연구하였다. 실험결과, CMP 공정에서 STI-fill의 두께가 얇을수록, 트랜치 깊이가 깊을수록 찢겨진 산화막의 발생이 증가하였다. 트랜치 깊이가 낮고 CMP 두께가 높으면 질화막 잔존물이 늘어나는 반면, 트랜치 깊이가 깊어 과도한 연마가 진행되면 활성영역의 실리콘 손상을 받음을 알 수 있었다

  • PDF

화재시 고강도 콘크리트 부재의 폭렬성상에 따른 잔존강도 (Residual strength of spalled high-performance concrete members subjected to fire)

  • 최은규;신영수
    • 한국콘크리트학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국콘크리트학회 2008년도 추계 학술발표회 제20권2호
    • /
    • pp.941-944
    • /
    • 2008
  • 본 연구는 화재피해를 입은 고강도 철근 콘크리트 구조부재의 폭렬발생시 구조성능을 파악하기 위한 연구로 압축강도 55MPa의 휨 부재와 압축부재를 화재피해를 입은 시간을 주요변수로 30분, 60분 및 90분간 화재 실험을 실시하였다. 휨 부재의 경우 피복두께에 따라 폭렬의 정도와 구조성능의 감소에서 차이를 보였으며, 피복 두께가 두꺼운 경우에 폭렬 면적 및 잔존강도의 감소폭이 크게 나타났다. 압축부재의 경우 폭렬로 인해 손실된 면적의 양은 화재피해를 입은 시간에 영향을 크게 받지 않았으나, 잔존강도의 경우 콘크리트가 고온에 오래 노출될수록 큰 감소폭을 보였고, 부재강성의 감소폭은 더욱 크게 나타났다. 따라서 고강도 콘크리트구조물에 화재가 발생하였을 경우 폭렬의 양상과 화재피해를 입은 시간에 따라 구조물의 잔존강도를 예측 할 수 있으며, 이를 이용하여 구조물의 재사용 여부의 판단 및 보수 보강에 필요한 자료를 제시할 수 있다.

  • PDF

지속하중을 받은 FRP 외부부착 보강 철근콘크리트 보의 거동 특성에 관한 실험적 연구 (An Experimental Study on the Behavior of RC Beams Externally Bonded with FRPs Under Sustained Loads)

  • 심재중;오광진;김연태;박선규
    • 한국구조물진단유지관리공학회 논문집
    • /
    • 제14권1호
    • /
    • pp.125-132
    • /
    • 2010
  • 최근 건설 사업에서 FRP를 단순 부착하여 구조물을 보강하는 공법은 현재 가장 널리 사용되고 있는 보수보강법이다. 본 논문에서는 FRP로 보강된 철근콘크리트 구조물은 지속하중을 받고 있기 때문에 크리프와 건조수축의 영향을 받는다. 이로 인하여 FRP의 보강효과도 달라지며, 처짐 및 변형의 회복성능, 잔존 내력 역시 크게 달라진다. 따라서 CFRP, GFRP가 휨성능에 영향을 미치는 보강 성능을 파악하고, 일정 시간이 흐른 후 하중을 제거하여 장기 변형 및 처짐의 회복성능을 파악하고, 잔존하는 내력을 알아보고자 정적 재하 실험을 수행하였다. 실험한 결과, FRP 보강 실험체는 즉시 처짐을 제어하는 측면은 매우 효율적이고, 즉시변형 회복량 또한 즉시 변형량보다 큰 결과를 보였다. 잔존강도 실험을 통하여 CFRP로 보강된 실험체가 가장 큰 내력을 가지는 것으로 나타났다. FRP로 보강된 보는 지속하중에 의한 부착성능 및 잔존내력에는 영향이 없었던 것으로 판단된다.

소수 잔존 치근에 Locator Root Attachment를 활용한 상악 가철성 국소의치 증례 (Maxillary removable partial overdenture within Locator Root Attachment in a retained root: a case report)

  • 신진호
    • 구강회복응용과학지
    • /
    • 제33권3호
    • /
    • pp.199-206
    • /
    • 2017
  • 최종 수복물을 가철성 국소의치로 계획하였을 때 구강내 소수 잔존 치근을 유지하고 활용한다면, 기능적으로 좀더 나은 결과를 얻을 수 있다. 이번 증례는 소수 치아와 잔존 치근을 갖고 있는 환자에서 'Locator Root Attachment'를 활용하여 상악 가철성 피개의치로 최종 수복한 증례이다. 잔존 치근에 대한 정확한 임상적, 방사선학적 평가 후 어태치먼트를 적용하여 기능적으로 우수한 결과를 얻을 수 있었기에 이에 보고하고자 한다.

쑥과 솔잎 추출물을 첨가한 유화형 소시지의 냉장 저장 중 소시지의 저장성에 미치는 영향 (Effects of Addition of Mugwort and Pine Needle Extracts on Shelf-life in Emulsified Sausage during Cold Storage)

  • 김영직;황보순
    • Journal of Animal Science and Technology
    • /
    • 제53권5호
    • /
    • pp.461-467
    • /
    • 2011
  • 쑥과 솔잎 분말을 물과 에탄올로 각각 추출하여 유화형 소시지 제조 시 첨가한 후 냉장온도($4{\pm}1^{\circ}C$)에서 30일간 저장하면서 pH, TBARS, 아질산염잔존량, 총 미생물수 및 육색을 조사하였다. 시험구는 쑥과 솔잎 추출물을 첨가하지 않은 대조구, 쑥 물 추출물첨가구는 T1, 쑥 에탄올 추출물 첨가구는 T2, 솔잎 물 추출물 첨가구를 T3, 솔잎 에탄올 추출물 첨가구를 T4 등 5개 처리구로 나누어 실험하였다. pH는 저장기간이 경과하면서 모든 처리구에서 감소하는 경향으로 대조구보다 쑥과 솔잎 추출물 첨가구에서 다소 낮았다(P<0.05). TBARS는 저장기간 동안 증가하였으며, 쑥과 솔잎 분말 추출물을 첨가한 유화형 소시지는 대조구보다 낮아 쑥과 솔잎의 첨가는 지방산화를 지연시켰고, 특히 솔잎 에탄올 추출물 첨가구인 T4에서 TBARS 값은 다소 낮았다(p<005). 아질산염잔존량은 저장기간이 경과하면서 감소하였고, 쑥 보다는 솔잎 첨가구가, 물 추출물보다 에탄올 추출물 첨가구에서 유의하게 감소하였다. 총 미생물수는 저장기간이 지나면서 모든 처리구에서 증가하였고, 저장 0일과 10일에는 처리구간 유의성이 없었으며, 처리구간에는 대조구보다 쑥과 솔잎 추출물 첨가구에서 유의하게 낮은 미생물수를 나타내었다. 육색은 저장기간이 지나면서 CIE $L^*$ 값과 $b^*$ 값은 감소하였고, CIE $a^*$ 값은 증가하였다. 처리구간 CIE $L^*$값은 쑥과 솔잎 분말 추출물 첨가구에서 낮아 쑥과 솔잎 분말 추출물의 첨가는 소시지 색을 어둡게 하는 경향이었다. 이상의 결과를 종합적으로 고찰해 보면 솔잎 분말 에탄올 추출물 첨가는 지방의 산화와 미생물 성장 억제 및 아질산염잔존량 감소에 효과적인 첨가방법이라 생각된다.

콘크리트 코어 분석을 통한 복합열화 평가와 잔존수명 예측 연구 (A Study on Evaluation of Complex Deterioration evaluation and Prediction of Residual Life through Concrete Core)

  • Shim, Jaeyoung
    • 한국재난정보학회 논문집
    • /
    • 제13권3호
    • /
    • pp.332-339
    • /
    • 2017
  • 노후화된 구조물의 경우 준공 후 시간이 지나 구조물의 정보가 유실되는 경우가 많으며, 시공관련 자료에 대한 정보 부족으로 인해 구조물의 잔존수명을 예측하는데 큰 어려움이 있다. 본 연구에서는 현장에서 채취한 코어 시험체를 기반으로 각종 현장 및 실내시험법을 통한 내구성을 평가하고 이를 토대로 FEM 해석기법을 활용하여 콘크리트 구조물의 내구수명을 예측하였다. 그 결과, 중성화 속도계수는 $5.38E-6(cm^2/day)$로 매우 진행 속도가 낮은 것으로 나타났으며, 탄산화 및 염해에 의한 복합열화의 발생 가능성은 매우 낮은 것으로 확인되었다

표준화재곡선을 이용한 잔존부착강도 평가 간략방법 제안 (Simplified Evaluation Method for Residual Bond Strength of Reinforced Concrete Using Standard Fire Curve)

  • 문도영
    • 한국방재학회 논문집
    • /
    • 제10권5호
    • /
    • pp.41-47
    • /
    • 2010
  • 화해를 입은 구조물의 안전성 확보에는 초기대응이 매우 중요기 때문에 신속한 의사결정이 필요하다. 본 논문에서는 화해를 입은 구조물의 이형철근과 콘크리트 간 잔존부착강도를 평가할 수 있는 간략화된 방법을 제시하였다. 제안된 방법은 화재강도 즉, 화재 중 최고노출 온도 뿐 아니라 화재지속시간도 고려할 수 있도록 하였다. 제안된 방법의 검증 및 비교를 위하여 화해를 입은 대구지하철 역사의 현장조사 결과를 인용하였으며, 해석결과 그 효용성을 확인하였다.

태안 마도3호선 잔존과 퇴적물 물성의 연계성 (The relationship between the residual of Taean Mado shipwreck No.3 and physical properties of sediments)

  • 이상희;정용화;이영현;김진후
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
    • /
    • 제41권3호
    • /
    • pp.269-275
    • /
    • 2017
  • 해저 아래에 난파선이 잔존하고 있다면, 해류와 조류의 유수의 작용뿐만 아니라 해저를 구성하는 퇴적물의 물성 및 퇴적환경에 영향을 받는다. 특히 우리나라 대부분의 난파선은 갯벌에 묻혀 있는 상태로 발견되었는데, 이는 퇴적물에 많은 영향을 받는다는 것을 알 수 있다. 본 연구에서는 그랩 채취기와 진동식 시추기를 이용해 퇴적물 시료를 채취하여 태안 마도3호선의 주변지역의 퇴적물의 다양한 물성을 파악했으며, 이를 통해 태안 마도 지역의 퇴적물 물성이 태안 마도3호선이 잔존하는데 미치는 영향에 대해 알아보고자 하였다. 주상시료의 퇴적물 분석 결과 깊이에 따른 밀도와 초음파 속도변화, 전단강도는 대체로 깊어질수록 측정값이 커지는 경향을 나타냈으며, 함수비와 공극률은 깊어질수록 값이 낮아지는 경향을 보였다. 입도분석의 경우 Folk's 분류법으로 결과를 도시하였다. 태안 마도3호선 지역의 깊이 3.5 m 주상시료의 입도는 주로 점토와 모래질 점토로 구성되어있으며, 표층 퇴적물의 입도는 점토질 모래로 구성되어 있었다. 퇴적률분석 결과 퇴적률은 2.84 cm/year로 나타났으며, 깊이 150 cm 조개시료의 탄소연대측정 결과 신석기 시대로 나타났다. 이러한 퇴적물 분석을 통해 태안 마도3호선의 잔존과 퇴적물 물성의 연계성에 대해 연구했다.

유기잔존물 분석을 활용한 천연 수지 특성 분석 - 의정부 신곡동 유적 출토 목관 부착 유기물을 중심으로 - (Analysis of characteristics of natural resins using organic residue analysis organic materials attached on wooden coffins from Singok-dong Site, Uijeongbu)

  • 윤은영
    • 헤리티지:역사와 과학
    • /
    • 제54권4호
    • /
    • pp.78-89
    • /
    • 2021
  • 유기잔존물 분석(organic residues analysis)은 동식물의 종에 따라 물질을 구성하고 있는 주요 성분이 다르다는 특성을 이용하여 유기물 시료의 종류를 밝혀내는 분석 방법이다. 본 연구에서는 의정부 신곡동 유적에서 출토된 조선시대 회묘 내 목관 부착 유기잔존물과 현대 재료에 대한 과학적 분석을 적용하여 유기잔존물의 주성분을 확인하고 유기물의 용도를 추정하여 과거 생활 모습을 밝힐 수 있는 자료를 확보하고자 하였다. 목관 부착 유기물과 현대 재료는 적외선 분광 분석(FT-IR)과 기체 크로마토그래피-질량 분석(GC-MS)을 수행하였다. 목관 내부에 부착된 유기물의 FT-IR 분석 결과 식물성 천연 수지 물질로 확인되었다. 또한 천연 수지의 특성 인자를 확인하기 위해 GC-MS 분석 결과 디하이드로아비트산(dehydroabietic acid), 피마릭산(pimaric acid) 등 아비탄(abietane)과 피마란(pimarane)의 디터페노이드(diterpenoid) 화합물과 포화·불포화지방산 성분이 함께 검출되었다. 디터페노이드 화합물은 주로 소나무과 수지에서 나타나는 성분이다. 소나무과 수지에서 기인하는 송진은 문헌에 접착제 재료로 사용된 기록이 있으며, 유기물 시료가 목관 이음새 부분에 잔존하고 있었던 점을 고려한다면 목관에 부착되어 있던 유기물은 소나무과 수지로 만들어진 접착 물질로 추정된다. 또한 디터페노이드 화합물과 함께 검출된 지방산은 식물성 기름에서 유래된 성분으로, 문헌의 기록처럼 송진과 기름을 혼합하여 만든 것으로 추정할 수 있다. 본 연구를 통해 고고자료에 남아 있는 유기물이 매장 환경에서도 그 특성이 남아 있는 것을 확인할 수 있었고, 당시 사용되었던 천연 수지의 종류와 용도를 밝힘으로써 과거 생활 모습 복원에 중요한 정보를 확보하였다는 점에서 큰 의미가 있다고 본다.