• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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• pp.73-73
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• 2000

안티퓨즈 소자는 프로그램 가능한 절연층의 상하 각각에 금속층이나 다결정 실리콘 등의 전도 가능한 전극으로 구성된다. 프로그램은 상하 전극간에 임계전압을 가했을 때 일어나게 되며 이때 절연층이 파괴되므로 비가역적이어서 재사용은 불가능하게 된다. 안티퓨즈 소자는 이러한 프로그램 특성으로 인하여 메모리 소자를 이용한 스위치 보다 속도나 집적도 면에서 우수하다. FPGAsdp 사용되는 안티퓨즈 소자는 집적도의 향상과 적정 절열파괴전압 구현을 위해 절연막의 두께를 감소시키는 것이 바람직하다. 그러나 두께나 감소될 경우 바닥전극의 hillock에 큰 영향을 받게 되며, 그로 인해 절연막의 두께를 감소시키는 것는 한계가 있는 것으로 보고되어 있다. 본 논문에서는 낮은 구동 전압에서 동작하고 안정된 on/pff 상태를 갖는 Al/TiO2-SiO2/Mo 형태의 안티퓨즈 소자를 제안하였다. 만들어진 antifuse cell은 0.6cm2 크기로 약 300개의 샘플을 제작하여 측정하였다. 비저항이 6-9 $\Omega$-cm인 P형의 실리콘 웨이퍼에 RF 마그네트론 스퍼터링(RF magnetron sputtering) 방법으로 하부전극인 Mo를 3000 증착하였다. SiO2는 안티퓨즈에서 완충막의 역할을 하며 구조적으로 antifuse cell을 완전히 감싸고 있는 형태로 제작되었다. 완충막 구조를 만들기 dln해 일반적인 포토리소그라피(Photo-lithography)작업을 거처 형성하였다. 형성된 hole의 크기는 5$mu extrm{m}$$\times$5$\mu\textrm{m}$ 이었다. 완충막이 형성된 기판위에 안티퓨즈 절연체인 SiO2를 PECVD 방식으로 100 증착하였다. 그 후 이중 절연막을 형성시키기 위해 LPCVD를 이용하여 TiO2를 150 증착시켰다. 상부 전극은 thermal evaporation 방식으로 Al을 250nm 증착하여Tejk. 하부전극으로 사용된 Mo 금속은 표면상태가 부드럽고 녹는점이 높은 매우 안정된 금속으로, 표면위에 제조된 SiO2의 특성을 매우 안정되게 유지시켰다. 제안된 안티푸즈는 이중절연막을 증착함으로서 전체적인 절연막의 두께를 증가시켜 바닥전극의 hillock의 영향을 적게 받아 안정성을 유지할 수 있도록 하였다. 또한, 두 절연막 사이의 계면 반응에 의해 SiO2 막을 약화시켜 절연막의 두께가 두꺼워졌음에도 기존의 SiO2 절연막의 절연 파괴 전압 및 누설 전류오 비교되는 특성을 가졌다. 이중막을 구성하고 있는 안티퓨즈의 ON-저항이 단일막과 비교해 비슷한 것을 볼 수 잇는데, 그 이유는 TiO2에 포함된 Ti가 필라멘트에 포함되어 있어 필라멘트의 저항을 감소시켰기 때문으로 사료된다. 결국 이중막을 구성시 ON-저항 증가에 의한 속도 저하 요인은 없다고 할 수 있다. 5V의 절연파괴 시간을 측정한느 TDDB 테스트 결과 1.1$\times$103 year로 기대수치인 수십 년보다 높아 제안된 안티퓨즈의 신뢰성을 확보 할 수 있었다. 제안된 안티퓨즈의 이중 절연막의 두께는 250 이고 프로그래밍 전압은 9.0V이고, 약 65$\Omega$의 on 저항을 얻을수 있었다.

• 한국잡초학회지
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• 제12권4호
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• pp.317-334
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• 1992

우리나라 농경지(農耕地)에 발생(發生)되는 주요(主要) 잡초분포현황(雜草分布現況)과 변화(變化) 양상(樣相)을 구명(究明)하기 위해 최근(最近)에 보고(報告)된 연구결과(硏究結果)를 토대(土臺)로 논과 밭을 중심(中心)으로 분석(分析)하였다. 1. 논의 경우 1971년(年), 1981년(年), 1991년(年), 3 회(回)에 걸쳐 잡초분포양상(雜草分布樣相)을 조사(調査)한 결과(結果) 주요(主要) 문제(問題) 잡초(雜草)의 종류(種類)는 18과(科)29종(種)으로 연차간(年次間)에 큰 차이(差異)를 보이지 않았으나, 우점초종(優占草種)의 구성양상(構成樣相)은 연차간(年次間)에 큰 차이(差異)를 보였다. 1971년(年)에는 일년생잡초(一年生雜草)의 구위비율(構威比率)은 79%였고 우점초종(優占草種)은 마디꽃(41%), 쇠털골(12%), 물달개비(11%), 알방동사니(8%), 피(7%), 등(等)이었다. 1981년(年)에는 다년생잡초(多年生雜草)의 발생비율(發生比率)이 53%로 크게 증가(增加)하였고 이때의 주요(主要) 우점초종(優占草種)은 물달개비(22%), 올미(18%), 벗풀(9%), 가래(9%), 너도방동사니(9%), 마디꽃(6%), 등(等)이었으며 피의 우점도(優占度)는 2.3%로 매우 낮아졌다. 1991년(年)에는 다년생잡초(多年生雜草)가 58%이었고 주요(主要) 문제잡초(問題雜草)는 올방개(20%), 올미(16%), 벗풀(13%), 피(12%), 물달개비(11%), 올챙고랭이(6%) 등(等)으로 올방개와 피의 발생(發生)이 급속도(急速度)로 증가(增加)하였다. 2. 주요우점초종(主要優占草種)의 구성내용(構成內容)은 지역적(地域的)으로도 차이(差異)를 보였는데 호남지방(湖南地方)에서는 1991년(年) 현재(現在)까지 올미가 전체(全體) 발생량(發生量)의 30% 이상(以上)을 차지하는 가장 중요(重要)한 잡초(雜草)인데 반(反)해 중부지방(中部地方)과 영남지방(嶺南地方)에서는 1991년(年) 현재(現在) 올방개, 벗풀, 피가 가장 문제잡초(問題雜草)로 인식(認識)되었다. 3. 1981년(年) 발생(發生) 비율(比率)이 2.3% 이였던 피가 최근(最近)에 급속도(急速度)로 발생량(發生量)이 증가(增加)하고 있는데 이는 최근(最近)의 경운정지(耕耘整地) 작업(作業)의 성략화(省略化) 및 성력화(省力化)와, 물관리(管理) 불철저(不撤底)의 재배(栽培) 환경변화(環境變化)와 아울러 제초제(除草劑) 푸마시 이후(以後)의 일발처리제(一發處理劑) 사용면적(使用面積) 확대(擴大)와 밀접(密接)한 관계(關係)가 있었다. 4. 밭 작물재배지(作物栽培地)에 발생(發生)되는 잡초(雜草)는 46과(科) 216종(種)이었는데, 동작물(冬作物) 보다 하작물(夏作物) 지대(地帶)에 24종(種)이 더 많이 발생(發生)되었다. 작물종류별(作物種類別)로는 과수원(果樹園)과 마늘 재배지(栽培地)가 약(約) 85종(種)의 잡초(雜草)가 분포(分布)되어 가장 많은 잡초(雜草)가 자라는 작물(作物)이었고 참깨, 감자 및 풋고추 재배지(栽培地)는 45~56종(種)의 잡초가 발생(發生)되어 비교적(比較的) 적은 작물재배지(作物栽培地)였다. 주요(主要) 우점(優占) 초종(草種)으로는 동작물(冬作物) 재배지(栽培地)의 경우 둑새풀, 명아주, 벼룩나물, 별꽃, 갈퀴덩굴, 속속이풀, 냉이, 방동사니 등(等)이었고 하작물(夏作物) 재배지(栽培地)는 바랭이, 쇠비름, 깨풀, 강아지풀, 방동사니, 명아주, 망초, 쑥 등(等)이었다.

• 조형예술학연구
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• 제5권
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• pp.175-216
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• 2003

시각이 아닌 오감체계에 관계하는 때문에 현대미술은 외관만으로 이루어지지 않는다. 곧 예술 작품들은 하나의 장소를 관객에게 제공하여, 심리적, 물리적, 또는 예술이 존재여부에 관한 갖가지 질문들을 제기한다. 모든 예술 작품은 메시지를 담고 있다. 이러한 관점에서 개념 또는 아이디어에 우선하는 현대미술은 그들의 메시지를 전달하기 위해 우리의 사회적 배경과 보편성을 간과할 수 없다. 우리의 물체 인식은 결국 우리의 경험체계를 통해서 이루어진다고 간주하면, 현대미술의 새로운 형태는 보편적 특질들이 그 특질들 이상의 상태로 보여지도록 유도한다. 이러한 창조 행위의 시작은 현대인간의 문화 읽기이며 문화는 인간과 자연의 긴밀한 관계 속에서 이루어진다. 역사는 지나간 시간을 기록한 것이며, 이 또한 우리의 지식과 정보 체계에 속한다. 회화가 평면에 입체감을 표현하는 것과는 달리 조각은 자연 속, 즉 실재공간 속에 있는 모든 것을 표현하기 때문에 시각(visible) 이외에도 촉각(tangible)이 관여하게 된다. 조각의 특수성은 촉각(tangible)이 우선하는 것이다. 그러나 시각과 촉각은 매우 적극적으로 미학적 경험에 참여하는 감각으로 이들을 서로 분리하여 생각하기가 무척 힘들다. 왜냐하면 어떤 경험에 있어서 기억연합 또는 감각 연합에 의해 하나의 감각이 다른 여러 감각을 촉발하여 연쇄반응 혹은 '형태 Gestalt'를 이루기 때문이다. 대부분의 근대 조각 작품들은 조각대 위에 고정되어 있는 구상 형태를 지녔기 때문에 조각작품 자체가 지닌 외적 형태와 그 자체내의 공간이 더욱 중요한 역할을 하게 된다. 말하자면 미로의 비너스 조각은 대리석과 비너스 형태의 결합이다. 때문에 관객은 그 주변을 돌면서 우리 신체의 내적 공간과 시각에 의존하면서 그 작품의 중량감, 양감, 형태 등의 특질과 만나게 된다. 그러나 현대 추상조각과 개념조각은 이보다 좀 더 확장된 공간을 제시한다. 이것은 현대조각이 건축개념을 수용한 때문이며, 그것이 때로는 안 쪽에서 때로는 바깥 쪽에서 그 형태를 결정하며, 보고 듣고 느끼고 만져지고 왕래하는 등의 인식 영역인 관객의 오감체계에 직접적으로 관계하기 때문이다. 우리는 건축 공간에서, 시각 외에도 청각이나 촉각을 통해 지각한다. 대강 요약하자면 공간은 객관적 상태이기보다는 인식영역의 주관성을 통해 받아들여진 우리가 지나쳐온 것들이나 체험된 공간이다. 여기서 '받아들여지는' 일은 과거 경험들의 주체들, 언어와 문화에 의해서 이루어져야 한다. 건물, 즉 둘러싸고 있는 공간은 중앙이 아니다. 중앙은 바로 나, 둘러싸여진 나이다 나는 나의 동작에 따라 그 공간의 시스템을 변화시킬 수 있는 유동적인 중심이다 (이때의 나는 위치의 축을 변화시키는 것이 아니라, 그들을 탐색하는 것이다). 작품이 대형화되면서 이러한 건축공간개념이 현대 조각가들의 작품개념에 이용되었다고 본다. 현대미술에서 In situ작업과 특정한 장소를 위한 기획되어진 최근의 프로젝트 작업들은 대형화되어있으며, 건축에서처럼 특정한 장소를 만들어낸다. 로잘린드 크라우스(Rosalind Krauss)는 또한 '조각영역의 확장 (La sculpture dans le champ elargi)'에서 현대조각이 건축과 환경의 영역을 침범하고 있음을 지적한다. 그녀에 의하면, 1960년대 이후의 현대조각은 이러한 탈 귀속성과 조각의 자율성을 획득함으로써 조각은 건축물이 아니면서 건축물 주변에 위치하거나 풍경이 아니면서 풍경 안에 자리잡게 되었다. 이와 같이 현대의 대형조각 작품들 - 예를 들어 대형화된 미니별 조각이나 개념미술, 또는 대지예술 등 -은 풍경의 실재가 아니기 때문에 환경으로부터 구분된다고 언급하고 있다. 이들 조각은 더 이상 만져지는 실체이거나 점유하는 공간의 상징언어를 지닌 조각의 범주에 한정되지 않게 된다. 조각과 건축의 공간인식을 인체의 크기와 관련하여 보면, 메를로 퐁티(Merleau-Ponty)의 '지각의 현상학' 은 우리가 논하는 작품의 공간체계를 분석하는데 지침표가 되어준다. 메를로 퐁티가 말하는 지각은 정신에 의해서만 이루어지는 것이 아니며, 몸과 함께 이루어지는 현상이다. 지각은 우리가 부단히 눈을 움직이고 만지고 냄새를 맡고 주변을 돌아 다니면서 세계와의 직접적인 접촉을 통해 이루어 진다. 몸의 움직임을 통하여 나타나는 신체적 표현은 몸 자체가 원천적으로 지향적 활동의 주체로서 파악되는 한 이미 항상(恒常, constant) 의미 현상을 지니다. 우리의 지각이 움직이는 몸의 지향 활동을 통해 이루어진다는 것은 우리의 몸의 지향활동이 의식에 선행함을 의미한다. 몸의 움직임은 의식의 의도를 표현할 때에만 의미를 나타내는 기호가 되는 것이 아니라, 이미 그 자체가 살아있는 표현이다. 우리의 몸짓, 표정은 우리 의식이 의도하기 전에 이미 의미가 담겨있다. 몸은 그 자체가 기호(Signe)적이다. 결국. 메를로 퐁티에게서 세상(le monde entier)은 그 자신이 주체가 되어 인식한다, 그리고 이 인식 구조에는 우리의 몸이 구심점(le point centripete)이 된다. 만약 우리가 이러한 메를로 퐁티의 개념을 염두에 둔다면, 예술작품의 특성에 매우 중요한 역할을 하고 있는 재료와 크기를 이해할 수 있을 것이다.