• Title/Summary/Keyword: 작동 공정

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저진공, 고진공, 초고진공 영역에서의 잔류가스질량분석기 설계특성

  • Park, Chang-Jun;An, Jong-Rok;Jo, Bok-Rae;Han, Cheol-Su;An, Sang-Jeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.108.2-108.2
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    • 2014
  • 잔류가스측정 질량분석기(RGA)는 진공챔버 내부의 진공상태 이상유무, 공정상태 확인 및 주입가스 농도제어 등 여러 종류의 작업에 응용되고 있다. 반도체용 박막 제조공정(PVD, CVD)에서 챔버 내의 수분 혹은 불순물 가스의 정확한 모니터링은 반도체 품질향상에 매우 중요하다. 1 Pascal 진공도의 증착용 챔버에 RGA를 직접 장착하여 작동시키기 위해서는 저진공용 RGA가 사용되어야 한다. 10-3 Pascal에서 6m 자유운동거리를 갖는 질소분자는 1 Pascal에서는 6 mm로 짧은 자유운동거리를 갖는다. 따라서 1 Pascal 저진공영역에서 이온을 생성시키고 mass filter를 사용하여 질량분석을 하기 위해서는 이온원과 mass filter 길이가 자유운동거리 수준으로 작아져야한다. 저 진공영역에서는 검출기와 전자방출용 필라멘트가 저진공에서 작동되도록 일반고진공용 RGA와는 완전히 다르게 소형으로 설계 제작되어야 한다. 10-7 Pascal 이상의 초고진공에서 사용되는 RGA는 이온원이 작동할 때 발생하는 outgassing을 낮추도록 설계가 되어야 초고진공의 유지가 가능하다. 한국표준과학연구원에서 현재 개발 중인 일반고진공용 RGA를 소개하고 저진공용과 초고진공용 RGA의 설계특성을 발표한다.

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Condition Monitoring of an LCD Glass Transfer Robot Based on Wavelet Packet Transform and Artificial Neural Network for Abnormal Sound (LCD 라인의 음향 특성신호에 웨이브렛 변환과 인경신경망회로를 적용한 공정로봇의 건정성 감시 연구)

  • Kim, Eui-Youl;Lee, Sang-Kwon;Jang, Ji-Uk
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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    • v.36 no.7
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    • pp.813-822
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    • 2012
  • Abnormal operating sounds radiated from a moving transfer robot in LCD (liquid crystal display) product lines have been used for the fault detection line of a robot instead of other source signals such as vibrations, acoustic emissions, and electrical signals. Its advantage as a source signal makes it possible to monitor the status of multiple faults by using only a microphone, despite a relatively low sensitivity. The wavelet packet transform for feature extraction and the artificial neural network for fault classification are employed. It can be observed that the abnormal operating sound is sufficiently useful as a source signal for the fault diagnosis of mechanical components as well as other source signals.

Smart control of the surface treatment Using the SW and IT fusion technology (SW융합과 IT기술을 이용한 표면처리의 스마트 제어)

  • U, Ji-Hun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2015.11a
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    • pp.194-194
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    • 2015
  • 국내 3,000여개의 표면처리 사업장에서 사용되어지는 표면처리 생산라인에서 정상품을 생산하기 까지 16여개의 다른 공정이 있으며, 이를 작동시키는 SENSOR, MOTOR,HEATER,PUMP등의 수많은 기기들의 연결로 생산품이 생산되어집니다. 이 공정들을 관리 하기 위하여 약품업체, 설비제작업체, 전기전문업체들의 지속적 연결이 생산성의 저하 및 불량을 야기하지 않도록 스마트 공정 제어에 대하여 필요합니다.

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PRIDE 3D Simulator for Virtual Verification of Remote Handling Procedures in Processing Cell (PRIDE 3D 시뮬레이터를 통한 공정셀 내부의 원격작업 가상검증)

  • Ryu, Dongseok;Han, Jonghui;Kim, Sunghyun;Kim, Kiho;Lee, Jong Kwang
    • Journal of Nuclear Fuel Cycle and Waste Technology(JNFCWT)
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    • v.15 no.4
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    • pp.333-341
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    • 2017
  • The Korea Atomic Energy Research Institute (KAERI) constructed the PyRoprocessing Integrated inactive Demonstration facility (PRIDE) to carry out experiments on engineering scale pyroprocessing. PRIDE has a large processing cell that human workers are not allowed to access, and thus the equipment inside is operated from outside using remote handling systems. It is therefore essential to examine the operability and maintainability of the equipment in view of remote handling systems, and the equipment is thoroughly examined in a mockup cell before it is installed in the processing cell. If the equipment is tested in a virtual mockup rather than in a mockup cell, the development cost can be significantly reduced. The PRIDE 3D simulator was integrated for virtual verification of equipment that will be installed in the processing cell. All remote handling devices in the actual PRIDE were also virtually installed in the PRIDE 3D simulator. The 3D model of the equipment was loaded and located in the exact position in the virtual processing cell. A scenario to replace an actual electrode was implemented in the PRIDE 3D simulator. The design of the equipment and the working procedures in the scenario were successfully evaluated. The results demonstrated that the PRIDE 3D simulator can be used successfully as an alternative to actual mockup testing.

Fabrication of planar anode-supported SOFC by Tape casting methode (테입캐스팅법을 이용한 평판형 지지체식 연료전지 제조)

  • 유승호;김종희;손희정;송락현;정두환;백동현;신동열
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2003.03a
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    • pp.241-241
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    • 2003
  • 고체산화물 연료전지(Solid oxide fuel cell : SOFC)는 연료기체가 소유하고 있는 화학에너지를 전기화학반응에 의해 직접 전기에너지로 변화시키는 에너지 변환 장치이다. 고체산화물 연료전지의 특성은 인산형, 용융탄산염형 및 고분자연료전지 둥 다른 연료전지에 비해 효율이 높고 공해가 적으며, 연료개질기가 필요 없고 복합발전이 가능하다. 그러나 작동온도가 고온(100$0^{\circ}C$)이어서 연결재 및 전지의 구성요소가 고가이고 전류집전 및 밀봉 둥 문제점을 가지고 있다. 전극 지지체식 연료전지의 개발은 얇고 치밀한 전해질 제조를 가능하게 하여 낮은 저항을 가지기 때문에 저온에서 작동을 용이하게 하여 고온작동시의 문제점을 해결하기 위한 방안으로 박막제조공정에 대한 연구가 많이 이루어지고 있다. 또한 전지성능을 향상시키기 위해 전기화학적 반응면적과 가스 확산층을 넓게 하기 위한 기공률이 높고 전기전도도가 우수한 지지체 제작에도 많이 연구가 이루어지고 있다.

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마이크로볼로미터 센서용 진공패키지 조립공정 특성평가

  • Park, Chang-Mo;Han, Myeong-Su;Sin, Gwang-Su;Go, Hang-Ju;Kim, Seon-Hun;Gi, Hyeon-Cheol;Kim, Hyo-Jin
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.252-252
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    • 2010
  • 적외선 센서는 빛의 유무에 관계없이 주 야간 전방의 물체에서 발산하는 미약한 적외선(열선)을 감지하여 영상으로 재현하는 열상시스템은 자동차 야간 운전자 보조용 나이트 비젼, 핵심 시설의 감시 관리, 군수 등의 분야에 적용되어지고 있는 최첨단, 고부가가치를 지니고 있는 기술이다. 양자형은 센서 특성은 좋으나 냉각기(작동온도: $-196^{\circ}C$) 및 고진공 패키지인 dewar를 사용하는 반면에, 열형은 대부분 상온에서 동작되는 온도안정화를 위한 전자냉각모듈만을 구비하면 되므로 저가형으로 제작이 가능한 비냉각형 적외선 센서이다. 본 연구에서는 적외선 센서용 진공패키지 조립공정 및 패키지된 센서의 측정기술을 개발하였다. 금속 메탈패키지를 제작하였으며, 금속 진공패키지는 소자냉각용 TE Cooler와 장수명 진공유지를 위한 getter, 그리고 센서칩, 온도센서를. 장착하여 칩을 조립하였다. Cap ass'y와 base envelop의 솔더링 공정을 수행하였으며, 진공패키지의 진공유지를 위해 TMP를 이용하여 진공을 유지하고, 약 5일동안 패키지 bake-out을 수행하였다. 진공압력은 $10^{-7}\;torr$ 이하를 유지하였으며, getter를 활성화시키고, pinch-off 공정으로 조립 ass'y를 완성하였다. 진공 패키지의 기밀성은 He leak tester를 이용하여 측정하였으며, ${\sim}10^{-9}\;std.cm^3/sec$로 기밀성을 유지하였다. TE cooler를 작동한 온도안정성은 0.05 K 이하였다. 볼로미터 센서의 반응도는 $10^2\;V/W$ 이상을 나타내었으며, 탐지도는 $2{\times}10^8cm-Hz^{1/2}/W$를 나타내었다. 본 연구를 통하여 얻어진 결과는 향후 2차원 열영상용 어레이 검출기 및 웨이퍼수준의 패키징 공정에 유용하게 응용될 것으로 판단된다.

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제2세대 초전도선 개발

  • Ko, Rak-Gil;Park, Chan
    • Superconductivity and Cryogenics
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    • v.6 no.2
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    • pp.42-46
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    • 2004
  • 금속 테이프 위에 초전도층을 박막형태로 증착시켜서 제조되는 고온초전도 선재인 coated conductor (CC)는 powder-in-tube 공정으로 제조되는 1세대 고온초전도 선재에 비해 액체 질소 온도에서 높은 임계 전류 밀도와 우수한 자장 특성을 가지면서 더 경제적으로 제조 가능하기 때문에 액체질소온도에서 작동 가능한 초전도전력기기 개발에 반드시 필요한 부분으로 인식되고 있다. 최근 국내외적으로 다양한 증착 방법을 사용하여 전력기기 응용이 가능한 장선의 CC 제조공정을 개발하려는 연구가 활발히 진행되고 있다. 특히 외국의 경우 이미 CC 선재의 상업화를 위해 기업체가 중심이 되어 집중적인 연구 개발이 이루어지고 있다.(중략)

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공정거래법상 대기업정책의 평가 및 과제-경제력집중억제를 중심으로

  • 조성욱
    • Journal of Korea Fair Competition Federation
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    • no.91
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    • pp.15-19
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    • 2003
  • 경제력 집중에 따른 부작용을 원천적으로 치유하거나 시장규율을 통하여 치유하기에는 오랜 시간이 필요하고 그 효과가 매우 더디다는 점이 인정된다. 또한, 계열사간 출자, 지급보증, 그리고 상호주는 이론상 어느 정도 긍정적인 측면을 갖는 것도 인정되므로, 원천적 치유가 가능한 시기까지 존재하는 경제적 부작용을 필요악으로 인정하고 그대로 둘 것이 아니라 한시적이나마 정부가 일정한 역할을 할 필요가 있다고 할 때, 그리고 현 자본시장의 감시 및 견제기능이 제대로 작동하지 않는다고 파악할 때 경제력 집중을 억제하기 위한 정책수단인 출자총액제한, 지금보증, 그리고 상호주에 대한 규제는 어느 정도 설득력을 갖는다.

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회전링의 동적 안정성을 고려한 링 형상 최적화 연구

  • Jang, Jae-Jun;Jang, Seung-Ho;Heo, Yu
    • Proceedings of the Korean Fiber Society Conference
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    • 1998.04a
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    • pp.173-178
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    • 1998
  • 섬유산업의 발달로 정방공정이 자동화, 고속화되고 있으며 국제적 경쟁이 치열하게 전개됨에 따라 방적공정에서의 생산성이 매우 중요해 졌다. 링 정방법은 링위를 회전하는 traveller에 의한 꼬임부여와 중앙에 위치한 spindle의 회전에 의하여 권취가 이루어진다는 간단한 작동 원리를 바탕으로 하고 있으며 현재 개발된 정방공법중 생산 유연성이 가장 크고 제품의 물성이 우수하여 널리 이용되고 있는 공법이다.(중략)

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Development of Cryogenic Oxygen Line Manufacturing Process for Liquid Rocket Engine (액체로켓엔진 극저온 산화제 배관 제작공정 개발)

  • Kim, Jin-Hyung;Cho, Hwang-Rae;Bang, Jeong-Suk;Rhee, Byung-Ho;Yoo, Jae-Han;Moon, Il-Yoon;Lee, Soo-Yong
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2011.11a
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    • pp.62-65
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    • 2011
  • 액체로켓엔진용 극저온 산화제 고압 배관 기술 개발을 위해 시제품을 제작하였다. 기술 개발 시제품은 체결용 플랜지, 직관, 곡관, 벨로우즈, 분기구로 구성하였다. 액체로켓엔진용 극저온 산화제 고압 배관은 터보펌프에서 토출된 고압의 극저온 산화제를 연소기로 공급하는 경로이므로 극저온, 고압의 작동환경에서 구조적 안정성을 가져야 한다. 따라서 본 제작공정 개발에서는 극저온을 고려한 구조해석을 수행하여 적합한 소재를 선정하였으며, 공정개발과 특수공정을 적용하여 시제품을 제작한 후 구조강도 시험을 수행하였다. 본 개발을 통해 액체로켓엔진에 적용되는 극저온 산화재 고압배관을 위한 기술적 기반과 소재 응용기술, 향후 고성능 대형 액체로켓엔진에 적용하기 위한 공정개발을 완료하였다.

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