자성박막에 존재하는 자기구역의 형상 및 동력학은, 자성박막의 학문적 연구와 응용기술 개발의 핵심을 제공하는 매우 중요한 분야의 하나로서, 최근 크게 관심이 고조되고 있다. 본 연구에서는 차세대 광자기 재질로 각광받고 있는 Co/Pd 다층박막에서의 자기구역 형상 및 자기구역 동력학을 연구하였다. 전자빔 진공증착 시스템을 사용하여, Co 층의 두께와 Pd층의 두께, 그리고 전체 층수가 변화하는 일련의 Co/Pd 다층박막 시료를 제작하였다. 제작된 모든 시료가 명목두께에 대하여 4%의 정밀도로 제작되었음을 확인하였고, 제작된 시료의 자기 및 광자기 성질은 자기이력곡선 등을 측정하였다. 또한 고성능 광자기 Kerr 현미경 시스템을 이용하여 자성박막에 존재하는 자기구역의 형상 및 자기구역 동력학을 관찰하였다. 이 장비는 1,000배의 배율에서 0.3$\mu\textrm{m}$의 공간분해능을 가지며 실시간 자기구역 영상을 CCD 카메라를 통해 컴퓨터에 저장함으로써, 자지구역 거동현상을 관찰할 수 있다. 자성다층박막에 존재하는 자기구역의 형상을 이론적으로 예측하기 위하여, 다층박막 구조에서의 정자기 에너지를 일반적으로 계산할 수 있는 이론을 유도하였다. 이 이론을 통해 다층박막의 자성층의 두께가 두꺼워짐에 따라, 자기구역의 형상이 단일 자기구역 형상에서 줄무늬 자기구역 형상으로 천이함을 예측할 수 있었고, 이러한 지구구역 천이현상을 Co-Pd 다층박막의 자화역전현상을 연구하였고, 새로운 자구동력학 정량분석기술을 개발하여 Co/Pd 다층박막에 적용함으로써 자화역전의 자구벽 이동속도와 핵형성 확률을 각각 정량적으로 구하였다. 이러한 관찰 및 분석기술을 통하여, Co/Pd 다층박막의 층구조에 따라 대조적인 자화역전현상이 존재함을 관찰하였다. 이러한 대조적인 자화역전현상을 결정짓는 요인을 연구하기 위해서 나노자성학이온을 이용한 자화역전현상을 결정짓는 요인을 연구하기 위해서 나노자성학이온을 이용한 자화역전모델을 개발하였으며, 이를 통하여 자성박막의 거시적 자기성질에 의해 이러한 대조적인 자화역전모델을 개발하였으며, 이를 통하여 자성박막의 거시적 자기성지에 의해 이러한 대조적인 자화역전현상이 결정될 수 있음을 설명하였다. 또한, 미시적 자기이력곡선 측정을 통하여 자성박막구조에 따른 국소적인 구조불균일성을 관찰하였고, 이러한 구조불균일성 또한 대조적인 자화역전현상을 결정하는 큰 요인임을 논의하였다.
본연구에서는 서로 직교하는 yoke 장치와 4-채널 과도기록장치를 사용하여 회전하는 자기장을 발생시키고, 회전자화에 의한 자기적 손실을 측정할 수 있는 측정시스템을 구성하였다. 개발된 측정장치를 사용하여 무방향규소강의 회전자화에 의한 자기적특성을 측정하였으며, 회전자화에 의한 손실의 측정에서 자기유도성분의 측정방향과 자화력성분의 측정방향이 일치하지 않아, 시계방향 및 반시계방향으로 측정한 값이 차이를 나타내었다. 그러나 시계방향 및 반시계방향으로 측정한 회전자화에 의한 손실값의 평균은 일정함을 알 수 있었으며, 이를 이용할 경우 회전자화의 폭정오차를 줄일 수 있었다.
현재 고온 2세대 YBCO CC(Coated Conductor) 초전도 선재를 사용하여 초전도 전력기기를 제작하게 되면 BSCCO 선재보다 많은 전류를 인가할 수 있지만, 자화 손실도 더 많이 발생하게 된다. 본 논문에서는 폭 12 mm YBCO CC선재를 이용하여 자화 손실을 줄일 수 있는 몇 개의 샘플을 제작하고, 먼저 각 샘플에 대해 외부에서 수직으로 (${\theta}=90^{\circ}$) 가해지는 자장 값에 대한 자화 손실을 측정하였다. 그 후에 측정값을 이용하여 임의 방향으로 가해지는 자장 값들에 대한 자화 손실을 계산하고, 측정한 값과 비교하여 자화 손실의 패턴을 확인하였다.
가스관의 비파괴검사로 가장 널리 사용되고 있는 자속누설탈사에서 가스배관의 잔류자화(residual magnetization, $M_{res}$)와 탐사횟수가 누설자속에 미치는 영향을 정량적으로 간편하게 실험실에서 해석할 수 있도록 배관대신에 소형의 모의장치를 제작하여 조사하였다. 제작된 장치는 나사에 의한 결함까지도 측정할 수 있고 또 원형 링을 완벽히 탈자시킬 수 있어 탐사가 진행됨에 따라 잔류자화의 영향, 배관의 자화상태변화와 누설자속 등을 효과적으로 모사할 수 있었다. 탐사횟수가 증가할수록 잔류자화, 최대자속밀도 그리고 검출전압은 감소하다가 일정해지지만 초기잔류자화(initial $M_{res}$)가 커지면 최종잔류자화(final $M_{res}$)도 커졌다. 탐사조건이 일정할 경우 검출전압은 배관의 최대자속밀도보다는 직전의 잔류자화의 크기에 직선적으로 비례하였으며 이것은 탄소강으로 만들어진 원형 링의 자기이력현상, 즉 자구구조의 변화 때문에 생기는 것으로 정확한 탐사신호를 해석하기 위해서는 이력현상을 고찰할 필요가 있다. 또 잔류자화가 크면 첫 번째 탐사에서 높은 검출전압을 얻을 수 있다는 것을 착안하여 두 번째 탐사에서는 착자기의 자화방향을 바꾸면 높은 검출을 얻을 수 있음을 제안하였다.
본 시험은 기존의 급수기에 수질개선을 위하여 자화수 발생장치를 장착 시 수질향상 효과가 있는지를 알아보기 위하여 시험한 결과, 기존 급수기에 자화수 발생장치를 추가하여 기존 급수기의 수질과 비교한 결과, 총 박테리아수가 크게 감소하였으며, 철 성분도 검출되지 않아 일부 항목에서 수질개선 효과가 있었다. 결론적으로 기존의 급수기에 자화수 발생장치를 추가 장착할 경우 수질개선 효과가 있을 것으로 생각되었으며, 수질개선에 따른 생산성 증가 효과는 추후 더 많은 연구가 이루어져야 할 것으로 사료된다.
본 논문에서는, 결합 인덕터 정류단을 갖는 위상천이 풀브릿지 컨버터에 적용할 수 있는 새로운 동기정류기 제어 기법을 제안한다. 결합 인덕터 정류단을 활용하면 1차측 환류 전류를 감소 시켜 도통 손실을 줄일 수 있지만, 동시에 줄어든 전류로 인하여 레깅-레그 스위치의 영전압 스위칭을 달성하기 어려워진다. 이를 해결하기 위하여 변압기의 자화 전류를 이용할 수 있지만, 컨버터가 넓은 출력 전압 범위로 설계되는 경우 낮은 시비율을 기준으로 작게 설계된 자화 인덕턴스로 인하여, 높은 시비율로 구동 시 과도한 자화 전류로 인한 불필요한 도통 손실이 증가하는 문제점을 갖는다. 제안하는 제어 기법은 기존 동기정류기 제어와 달리 동기정류기를 기존보다 먼저 구동시켜 1차측에 환류 전류를 순간적으로 재생성할 수 있고, 이를 이용하여 레깅-레그 스위치의 영전압 스위칭을 달성할 수 있다. 따라서, 작은 자화 전류로 영전압 스위칭을 달성할 수 있으므로 1차측의 도통 손실을 줄여 높은 효율을 얻을 수 있다. 제안하는 동기정류기 제어 기법의 효용성을 증명하기 위하여, 400V 입력, 27-54V/13A 출력에서 실험 검증을 진행하였다.
본 논문은 세정기의 세척수를 인체에 유익한 자화육각수로 변환시켜주는 기술로서, 세정기로 세척수가 공급되는 유입 관에 자화기를 설치하여 세척수를 인체에 유익한 자화육각수로 변환시켜 사용함에 따라 비데와 변기를 위생적으로 유지 관리하게 해주는 자화육각수 제조 기술에 관련하여 특허를 시계열분석을 통하여 출원이 많은 대표적인 국가별 출원을 분석하였다. 자화육각수 제조 기술 분야의 특허 출원 동향을 살펴보면 대부분 한국과 일본에 의한 특허 출원임을 알 수 있으며, 일본특허는 특허건수와 출원인수가 모두 증가하는 발전기에서 특허건수와 출원인수가 모두 감소하는 퇴조기 단계에 있는 것으로 나타나고 있으며, 미국 및 유럽특허에서는 대체적으로 출원인수와 특허건수가 감소하는 퇴조기 양상으로. 분석 되었다. 따라서 자화육각수를 활용하는 사업에서는 특허 권리차원에서 한국과 일본특허의 출원 동향을 지속적으로 관찰 할 필요가 있으며, 그리고 현재 자화육각수기술은 사업전략구상과 산업지원정책수립이 필요한 단계에 있다. 따라서 향후 자화육각수관련 제품의 연구개발이 다수 예상됨에 따라 관련제조업체나 연구기관에서는 사업화와 특허연구에 유용하게 활용될 수 있을 것이다.
자성체의 자화 특성을 해석하기 위해서는 자성체가 가지고 있는 포화 현상과 Hysteresis 현상을 고려해 주어야 한다. 하지만 현재 자화 특성 해석에서는 Hysteresis 현상을 무시하고 포화 현상만을 고려한 해석을 진행하거나 Hysteresis의 메이저 루프 특성만을 고려한 비선형 문제 해석만을 사용하고 있다. 하지만 자성체의 Hysteresis 특성은 메이저 루프적 특성 뿐만이 아닌 마이너 루프적인 특성을 가지고 있어 이 두 특성에 따라 많은 자화량적 변화를 가지게 된다. 또한 같은 재료적 특성을 가진 자성체라고 해도 그 형상에 따라 다른 자화 특성 분포를 가지고 있다. 이러한 두가지 특성을 전부 고려한 해석이 되어야 만이 정확한 자화 특성 해석 방법이라고 할 수 있다. 본 논문에서는 이와 같은 멀티브렌치적 특성과 자성체 형상에 따른 특성을 해석하기 위하여 Preisach 모델링을 이용하여 자성체의 형상에 따른 자화적 특성을 해석하는 연구를 진행하였다.
Cavity mode Whistler wave를 사용하는 자화유도결합플라즈마 (Magnetized Inductively Coupled Plasma, MICP)의 제반 특성을 비등방성 수송계수를 가지는 Drift-Diffusion 근사, 에너지 보존 방정식 및 유도전자계를 self-consistent 하게 고려하여 계산하였다. 이러한 접근법은 비충돌성 전자가열현상을 고려하지 못하는 단점에도 불구하고, 반도체 장비설계에 필수적인 전자온도, 밀도, 플라즈마 전위, 시스템의 임피던스 특성에 대한 경향성 파악에 매우 유용하다. 뿐만 아니라 전자밀도분포가 공간내에 형성되는 R-wave mode에 미치는 영향을 분석할 수 있다. 직경 320 mm를 가지는 작은 반응기에서 시뮬레이션과 실험결과를 비교하여 본 모델링 방법의 타당성을 검증한 후, 450 mm wafer가공에 적합한 대면적 플라즈마 반응기에서 플라즈마 특성을 연구하였다. 수 mTorr의 공정압력에서 약 10 Gauss전후의 약한 자장이 인가됨으로서 반경방향의 전자밀도 균일성이 대폭 향상되었다. 플라즈마 및 안테나의 대면적화에 수반되는 높은 Q값이 자장의 인가로 큰 폭으로 감소함으로서 임피던스메칭의 안정성이 비약적으로 개선되었고 전력전달 효율 또한 크게 증가함을 알 수 있었다. 본 연구 결과는 차세대 450 mm 반도체 공정장비의 개발에 있어 자화유도결합플라즈마가 매우 유용하게 사용될 수 있음을 보여준다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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