• Title/Summary/Keyword: 자기 이상

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반도체 공정 신호의 이상탐지 및 분류를 위한 자기구상지도 기반 기법에 관한 연구

  • Yun, Jae-Jun;Park, Jeong-Sul;Baek, Jun-Geol
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.36-36
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    • 2011
  • 반도체 공정 신호는 주기 신호와 비주기 신호로 구분된다. 특정 패턴을 가지는 주기 신호는 해당 파라미터(parameter)에 대해서 패턴 매칭을 수행하여 관리하는 연구가 진행되고 있다. 반면 비주기 신호 데이터의 경우에는 패턴 매칭 방법을 수행할 수 없다. 또한 반도체 공정에서 얻을 수 있는 두 개 타입의 데이터는 그 파라미터가 방대하기 때문에 현재 실제 공정에 적용되고 있는 방식인 각각 하나의 파라미터에 대해 관리도(control chart)를 구성해 관리하는 것은 많은 비용과 시간의 낭비를 초래한다. 따라서 두 타입 데이터의 여러 개의 파라미터를 동시에 관측할 수 있고 파라미터간의 내재된 상관관계를 고려할 수 있는 장점을 가진 분석 기법에 대한 연구가 필요하다. 주기 신호의 이상탐지를 위한 기존 연구는 신호를 구간으로 나누어 구간별로 SPC 차트적용 시키는 방법, 각 시점 마다 측정되는 값을 하나의 변수로 고려하여 Hotelling's T square, PCA, PLS 등과 같은 다변량 통계 분석을 적용 시키는 방법들이 제시되어 왔다. 이러한 방법들은 다양한 특성을 가지는 주기신호를 분석하고 이상을 탐지 하는데 많은 한계점을 가진다. 이에 본 논문은 다양한 형태를 가지는 신호의 특성을 반영하여 자기구상지도를 기반으로 신호의 분류와 공정의 이상을 탐지하는 기법을 제안한다. 제안하는 기법은 자기구상지도를 이용하여 복잡한(고차원, 시계열) 신호를 2차원 상의 노드로 맵핑시킴으로써 신호의 특질(feature)을 추출하고 새로 표현된 신호의 특질을 기반으로 Logistic regression을 적용시켜 이상을 탐지 한다. 다양한 이상 상황을 가진 반도체 공정 신호를 사용하여 제안한 이상탐지 성능을 평가하였다.

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Giant Magnetoresistance and Applications (거대자기저항 및 응용)

  • Lee, Seong-Rae
    • Ceramist
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    • v.2 no.4
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    • pp.35-46
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    • 1999
  • GMR 재료의 응용은 매우 광범위하며 크게 세 분야로 대별할 수 있다. 첫째는 자기 재생 헤드로서 $10Gbit/in^2$ 이상의 고밀도 자기기록 기술에서는 필수 불가결한 재료이다. 둘째는 다양한 분야에 응용될 고감도 자기센서 분야이며, 셋째는 집접화된 자기저항메모리(MRAM) 분야이다. GMR 센서를 사용한 자기헤드는 이미 시판되고 있고 기존의 AMR 재료인 퍼멀로이에 비하여 3~20배 이상으로 신호준위가 크고 사용온도 범위에서 선형성 및 열적안정성도 우수한 것으로 보고되고 있다. MRAM의 경우에는 스핀밸브 GMR 및 TMR 소자를 사용한 연구가 한창 진행중이다. GMR 현상은 발견 된지 고작 10년 밖에 되지 않았으나 GMR 자기센서는 이미 상업적으로 개발되어 응용되고 있다. 이러한 실질적인 응용에 유리한 고지를 선점하고 있는 것은 이방성결합형 스핀밸브 다층박막 구조로서 그 내구성과 특성 향상을 위한 연구가 다양하게 시도되고 있다. GMR현상의 발견은 자성재료분야 연구 및 응용에 있어 새로운 전기를 마련하였으며 특히 자성과 이동현상이 연계된 분야로서 소위 "Magneto-electronics" 또는 "Spintronics" 라는 [51] 새로운 미래기술의 장이 열리고 있다. 현재의 반도체 중심의 "Microelectronics" 기술에서는 전자와 전자공공을 이용하는 기술이라면 "Magneto-electronics" 기술에서는 스핀${\uparrow}$ 및 스핀${\downarrow}$의 두 종류의 전자를 이용하게 된다. 자성체와 도체를 접목한 스핀 트랜지스터 또는 자성체와 반도체를 접목한 스핀-polarized FET(field effect transistor) 등의 새로운 개념의 magnetoelectronics 소자가 창출되고 있다. 따라서 자기이동 현상의 기초 연구, 재료 측면의 연구 및 헤드, MRAM, 센서 등의 응용기술연구가 국내에서 활발하게 이루어져 21세기 새로운 자성전자(magneto-electronics)소자 응용에 경쟁력을 키워야 할 것이다.

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Magnetic Characteristics of TA19-1 and TA19-2 Seamounts in the Lau Basin, the South Western Pacific (남서태평양 라우분지 TA19-1 해산과 TA19-2 해산의 지자기 특성 연구)

  • Kim, Chang Hwan
    • Economic and Environmental Geology
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    • v.47 no.4
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    • pp.395-404
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    • 2014
  • We conducted the geophysical survey of possible hydrothermal vent sites at 2009, in the Lau Basin, the south western Pacific and analyzed the magnetic characteristics of TA19-1 and TA19-2 seamounts. TA19-1 is a cone-shaped seamount with a caldera summit. TA19-2 seamount is bigger and shows more complicated topography than TA19-1 seamount. TA19-2 has a large caldera, a summit in the west side of the caldera and several crests. Simple dipole anomalies with a high over the north and a low over the south occur in TA19-1 seamount. High magnetic anomalies are located in the northern flank and the summit of TA19-2 seamount and low anomalies around the summit and the caldera. The results of bathymetry and magnetic data suggest that TA19-2 seamount might have more complicated magmatic process than TA19-1. Low magnetization zones are located over the summit, the calderas and the caldera rims. The magnetization lows indicate that submarine hydrothermal vents, along faults and fracture zones, could have caused an alteration of magnetic minerals. The magnetization highs over the summit and the calderas might have been related with later magmatisms like volcanic sills, intrusions.

Geomagnetic Field Properties and Magnetic Interpretation in the Southern Part of the Ulleung Basin (鬱陵盆地 남단해역의 地磁場 特性 및 磁氣異常 解析)

  • 박찬홍;석봉출
    • 한국해양학회지
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    • v.26 no.2
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    • pp.117-132
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    • 1991
  • Marine total magnetic intensity over the southern part of the Ulleung Basin and geomagnetic data measured at a land base station are analyzed. Fourteen days observation of geomagnetic field at a fixed on-land base station showed how the geomagnetic field around the study area behaves. geomagnetic data at the base station can also be used as correction data for a diurnal variation. Magnetic anomalies in the study area do not reflect an effect of sea bottom topography but mainly subsurface basement. The southern part of the Ulleung Basin can be devided into two zones according to a different anomaly pattern; along the coastal shelves the isolated anomalies with a short wave and a strong amplitude are dominant, and toward the open sea the anomalies become much more subdued. The high anomaly zone adjoined to land is interpreted to be caused by granitic intrusives or volcanic rocks, and the weak anomaly zone to the outer sea to be arisen from an existence of deep basement. A spectrum analysis is applied to estimate magnetic basement depths from three anomaly profiles with a long period and a weak amplitude toward the outer sea. The calculated depths are 7.0km, 5.0km, and 2.6km respectively from outer profile. The basement might be correlated with the mixed layer of tuff, basalt, and sediment, which had been defined as L-2 layer in the Yamato basin and the Japan Basin.

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Relationship of Oral Health Behavior to Self-Efficacy among the Elderly (노인의 구강보건행동과 자기효능감의 관련성)

  • Noh, Eun-Mi;Jeon, Eun-Suk;Ko, Su-Youn
    • Journal of dental hygiene science
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    • v.14 no.2
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    • pp.167-175
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    • 2014
  • The purpose of this study is to identify general, physical, and social self-efficacy according to oral health behavior among the elderly and examine the factors affecting them. For this purpose, a survey was conducted in 500 persons aged 60 years or older residing in Daegu and North Gyeongsang Province from June 1 to August 30, 2013. With the exception of 73 questionnaires that were not completed or contained insincere responses, 427 copies (recovery rate: 85.4%) were analyzed, thus obtaining the following results: 1) In terms of the respondents' socio-demographic characteristics, those who were younger, who were more highly educated, who were married, and who got a larger amount of monthly pocket money showed higher general, physical, and social self-efficacy, with statistically significant differences (p<0.001). 2) The group with good oral health behavior showed higher general and social self-efficacy and that with an average level of oral health behavior showed higher physical self-efficacy, with significant differences (p<0.001). 3) The factor most influential on oral health behavior was general self-efficacy (${\beta}=0.184$), followed by social self-efficacy (${\beta}=0.162$), physical self-efficacy (${\beta}=0.101$).

Magnetic Suspension Effect of BiPbSrCaCuO Superconductor (Bi계 초전도체의 자기부양효과)

  • 이상헌;이창용
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2000.11a
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    • pp.500-502
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    • 2000
  • BiPbSrCaCuO 계 초전도체에서 관측되는 자기부양효과에 대하여 연구를 수행하였다. BiPbSrCaCuO 계 초전도체에 산화은을 첨가한 시료와 첨가하지 않은 시료의 자기적 특성을 측정하여 자기부양효과의 메카니즘에 대하여 고찰하였다. toroidal자석에서 관측되는 자기부양 효과는 자석의 중심부분에서만 발생하며, 자석의 ring 부분에서는 관측되지 않았다. 이 결과는 본 연구의 자기 부양효과의 발생에는 자석의 형상 및 자속의 분포 형태와 밀접한 관련이 있음을 의미한다.

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