• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.115-115
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• 2010

고휘도 고효율 백색 LED (lighting emitting diode)가 차세대 조명광원으로 급부상하고 있다. 백색 LED를 생산하기 위한 공정에서 MOCVD (유기금속화학증착)장비를 이용한 에피웨이퍼공정은 에피층과 기판의 격자상수 차이와 열팽창계수차이로 인하여 생성되는 에피결함의 문제로 기판과 GaN 박막층 사이에 완충작용을 해줄 수 있는 버퍼층 (Buffer layer)을 만든다. 그 위에 InGaN/GaN MQW (Multi Quantum Well)공정을 하여 고휘도 고효율 백색 LED를 구현 할 수 있다. 이 공정에서 기판의 온도가 불균일해지면 wafer 파장 균일도가 나빠지므로 백색 LED의 yield가 떨어진다. 균일한 기판 온도를 갖기 위한 조건으로 기판과 induction heater의 간격, 가스의 흐름, 기판의 회전, 유도가열코일의 디자인 등이 장비의 설계 요소이다. 본 연구에서는 유도가열방식의 유도가열히터를 이용하여 기판과 히터의 간격에 차이에 따른 기판 균일도 측정했고, 회전에 의한 기판의 온도분포와 자기장분포의 실험적 결과를 상용화 유체역학 코드인 CFD-ACE+의 모델링 결과와 비교 했다. 또한 가스의 inlet위치에 따른 기판의 온도 균일도를 측정하였다. 본 연구에서 사용된 가열원은 유도가열히터 (Viewtong, VT-180C2)를 사용했고, 가열된 흑연판 표면의 온도를 2차원적으로 평가하기 위하여 적외선 열화상 카메라 (Fluke, Ti-10)를 이용하여 온도를 측정했다. 와전류에 의한 흑연판의 가열 현상을 누출 전계의 분포로 확인하기 위하여 Tektronix사의 A6302 probe와 TM502A amplifier를 사용했다. 흑연판 위에 1 cm2 간격으로 211곳에서 유도 전류를 측정했다. 유도전류는 벡터양이므로 $E{\theta}$를 측정했으며, 이때의 측정 방향은 흑연판의 원주방향이다. 또한 자기장에 의한 유도전류의 분포를 확인하기 위하여 KANETEC사의 TM-501을 이용하여 흑연판 중심으로부터 10 mm 간격으로 자기장을 측정 했다. 저항 가열 히터를 통하여 대류에 의한 온도 균일도를 평가한 결과 gap이 3 mm일때, 평균 온도 $166.5^{\circ}C$에서 불균일도 6.5%를 얻었으며, 회전에 의한 온도 균일도 측정 결과는 2.5 RPM일 때 평균온도 $163^{\circ}C$에서 5.5%의 불균일도를 확인했다. 또한 CFD-ACE+를 이용한 모델링 결과 자기장의 분포는 중심이 높은 분포를 나타냄을 확인했고, 기판의 온도분포는 중심으로부터 55 mm되는 곳에서 300 W/m3로 가장 높은 분포를 나타냈다. 가스 inlet 위치를 흑연판 중심으로 수직, 수평 방향으로 흘려주었을 때의 불균일도는 각각 10.5%, 8.0%로 수평 방향으로 가스를 흘려주었을 때 2.5% 온도 균일도 향상을 확인했다.

• Economic and Environmental Geology
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• v.37 no.4
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• pp.401-411
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• 2004

The Earth's total magnetic field was calculated from on board TAM(Three-Axis Magnetometer) observations of KOMPSAT-1 satellite between June 19th and 21st, 2000. The TAM's telemetry data were transformed from ECI(Earth-Centered Inertial Frame) to ECEF(Earth-Centered Earth-Fixed Frame) and then to spherical coordination. Self-induced field from the satellite bus were removed by the symmetric nature of the magnetic field. The 2-D wavenumber correlation filtering and quadrant-swapping method were applied to eliminate the dynamic components and track-line noise. To test the validity of the TAM's geomagnetic field, ${\phi}$rsted satellite's magnetic model and IGRF2000 model were used for statistical comparison. The correlation coefficients between KOMPSAT-1/${\phi}$rsted and KOMPSAT-1/IGRF2000 models are 0.97 and 0.96, respectively. The global spherical harmonic coeffi-cient was then calculated from the KOMPSAT-1 data degree and order of up to 19 and compared with those from IGRF2000, $\phi$rsted, and CHAMP models. The KOMPSAT-1 model was found to be stable to degree & order of up to 5 and it can give new information for the low frequency components of the global geomagtic field.

• The Proceeding of the Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.15 no.4
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• pp.79-85
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• 2004

• Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
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• 2010.06a
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• pp.182-183
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• 2010

• The Proceeding of the Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.9 no.2
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• pp.17-25
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• 1998

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.245.2-245.2
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• 2014

홀 방식 이온빔 소스는 방전 채널 내부에 중성기체 및 전자를 주입하여 플라즈마를 생성하며, 생성된 이온들은 자기장에 의해 구속된 전자들과 양극이 만드는 전기장에 의해 가속되어 이온 빔을 발생시킨다. 홀 방식 이온빔 소스에는 고리형 소스와 원통형 소스가 있으며, 기하학적 구조 및 자기장 구조가 달라 발생되는 이온전류, 가속효율, 연료효율, 이온화 비율 등 플라즈마 특성이 다르다. 특히, 플라즈마의 이온화 비율은 이온빔 소스의 방전 전류 및 연료효율에 영향을 미치며, 다중전하를 띤 이온의 높은 에너지는 채널벽의 침식 문제를 야기하는 등 이온빔의 전하량 분석 연구는 물리적 연구측면 뿐만 아니라 실용적인 측면에서도 매우 중요하다. 원통형 소스의 경우 연료효율이 100% 이상으로, 이온화 효율이 매우 높아 발생되는 이온의 가속효율도 높게 나타난다. 본 연구에서는, 이를 통해 다중이온을 진단할 수 있는 ExB 탐침을 개발하여, 다중이온의 생성 비율과 연료 효율과의 관계를 살펴보았다. 이온전위지연 탐침과 패러데이 탐침을 이용하여 채널 및 자기장 구조에 따른 전류 분포 및 이온에너지분포를 측정하였으며, 이온 빔의 효율 및 플라즈마 특성을 분석하였다.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.8 no.1
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• pp.13-20
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• 1998

The crystallographic and high frequency characteristics of $Fe_{73.9}Cu_{1.0}Nb_{3.5}Si_{14.0}B_{7.6}$ soft magnetic alloys were investigated under the magnetic field annealing. As-cast ribbon with which already imbedded nanocrystalline Fe-Si phase on the surface have a preferred orientation with (400) plane to surface and also with the [011] direction parallel to the ribbon length. The extra nanocrystalline Fe-Si phase appeared throughout at 45$0^{\circ}C$ in samples with or without the longitudinal magnetic field. However the formation of nanocrystalline phase does not appear on the suface layer until 50$0^{\circ}C$ annealing temperature under the transverse field. The cryststallization fraction of annealed samples with longitudinal magnetic field is higher than that of samples without magnetic field. When the transverse magnetic field is applied, the crystallization fraction does not increases but decreases until 50$0^{\circ}C$. However the crystallization of internal regions can be confirmed by X-ray diffraction measurement via tilting the sample. It was found that for all samples, the saturation induction were all same with 1.3 T. The coercive field of as-cast sample was 1.06 A/cm, but in annealed samples it decrease from 0.56 to 0.1 A/cm with increasing annealing temperature from 400 and 55$0^{\circ}C$, respectively. The squareness of annealed samples under transverse magnetic field has a small value than that of both without field and with longitudinal field annealing.

• Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
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• 1993.11a
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• pp.22-23
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• 1993

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.24 no.6
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• pp.165-170
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• 2014

We analyzed the ferromagnetic and spin wave resonance signals measured in amorphous CoFeB thin films with different thickness. The ferromagnetic resonance field ($H_{FMR}$) was not depend on the thickness of CoFeB films, but the spin wave resonance field ($H_{SWR}$) was well fitted with the theoretical prediction depending on the thickness. The uniaxial anisotropy field of $H_k$ = 37 Oe was obtained from the angular dependent $H_{FMR}$ in CoFeB films. The $H_{SWR}$ showed same angular behaviors with $H_{FMR}$, however, the amplitude of spin wave resonance signals showed 5.7 times higher than that of ferromagnetic resonance signals in CoFeB film with t = 100 nm. The higher signals were due to the two reasons; one was the small damping for the spin wave propagation without degradation, the other was uniform magnetization for the ideal standing wave modes.

• Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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• v.15 no.10
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• pp.2087-2092
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• 2011

In this paper, we use the earth's magnetic field is measured by the MR device. By analyzing the measured data to determine the direction to implement the system. The construction of the system to determine the direction of neural networks, using input data based on an analysis of the relationship between pattern formation and characteristics of study and related information through a pattern when it is remembered that the output feedback input to associative networks and proves its feasibility for implementation. The entire detection system with regional changes in the Earth's magnetic field to adapt to the environment should aim to build a system.